Электронный каталог

63
А 23
Агелеуова, С.
    Хиросима, Нагасаки, Семипалатинск... [Текст] / С. Агелеуова // Достық=Дружба. - 2014. - №3. - С. 8-13
ББК 63

Рубрики: История

Кл.слова (ненормированные):
хиросима -- нагасаки -- семипалатинск -- национальный мемориальный комплекс мира -- атомная бомбардировка -- ядерное оружие -- сулейменов
Аннотация: Выставка в Центральном государственном музее Республики Казахстан "Память о Хиросиме и Нагасаки" посвящена 69-ой годовщине одного из самых страшных событий в истории человечества- атомной бомбардировки японских городов Хиросима и Нагасаки.
Держатели документа:
ЗКГУ им.М.Утемисова

24.5
Е 92
Ефремов , А. М.
    Параметры плазмы и кинетика активных частиц в смеси CF4+C4F8+Ar [Текст] / А. М. Ефремов , Д. Б. Мурин, К. Х. Квон // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2018. - Т.61(4-5). - С. 31-36
ББК 24.5

Рубрики: Физическая химия. Химическая физика

Кл.слова (ненормированные):
CF4 -- C4F8 -- скорость реакции -- энергия ионов -- концентрация -- поток -- травление -- полимеризация
Аннотация: В данной работе обсуждаются взаимосвязи между начальным составом смеси CF4 + C4F8 + Ar, характеристиками газовой фазы и кинетикой гетерогенных процессов в условиях плазмы индукционного разряда пониженного давления. Целью работы являлось исследование зависимостей внутренних параметров плазмы (температура электронов, концентрация электронов, энергия ионной бомбардировки) и кинетики активных частиц от соотношения компонентов CF4/C4F8 в плазмообразующей смеси, а также выявление механизмов влияния указанных параметров на такие характеристики «сухого» травления, как скорость травления и селективность. Исследования проводились методами диагностики плазмы двойным зондом Лангмюра и моделирования плазмы в условиях планарного индукционного плазмохимического реактора. Эксперименты и расчеты проводились при постоянном давлении газа (10 мтор), вкладываемой мощности (800 Вт) и мощности смещения (150 Вт), при этом отношение CF4/C4F8 варьировалось изменением парциальных скоростей потока этих газов. Было найдено, что замещение CF4 на C4F8 в плазмообразующем газе CF4 + C4F8 + Ar приводит к снижению скорости генерации атомов фтора и плотности их потока на обрабатываемую поверхность из-за снижения концентрации в объеме плазмы. Предположено, что рост концентрации и плотности потока ненасыщенных радикалов CFx (x=1,2) в смесях с большим содержанием C4F8 при близких к постоянным значениях плотности потока энергии ионов (т.е. близкой к постоянной эффективности ионной бомбардировки) способствует снижению эффективной вероятности взаимодействия атомов фтора за счет увеличения толщины фторуглеродной полимерной пленки на обрабатываемой поверхности.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Мурин, Д.Б.
Квон , К.Х.

63
А 93
Ауэзов, М.
    Времен связующая нить [Текст] / М. Ауэзов // Мысль. - 2021. - №1. - С. 82-5.
ББК 63

Рубрики: История.

Кл.слова (ненормированные):
Нагасаки -- бомбоубежища -- взрыв -- Япония -- Хиросима -- интеграция -- бомбардировки -- репрессии
Аннотация: Статья о Нагасаки.
Держатели документа:
ЗКУ им.М.Утемисова.

24
Е 92
Ефремов, А. М.
    Параметры плазмы и концентрации активных частиц в смесях фторуглеродных газов с аргоном и кислородом. [Текст] / А. М. Ефремов, В. Б. Бетелин, К. А. Медников, К. Н. Kwon // Известия высших учебных заведений . - 2021. - Т.64. Вып.7. - С. 46-53
ББК 24

Рубрики: Химия

Кл.слова (ненормированные):
фторуглеродные газы -- плазма -- параметры -- активные частицы -- ионизация -- диссоциация -- травление -- полимеризация
Аннотация: Проведено сравнительное исследование электрофизических параметров плазмы и стационарного состава газовой фазы в плазме индукционного ВЧ 13б56 МГц разряда в смесях CF4 + O2 + Ar, CHF3 + O2 + Ar и C4F8 + O2 + Ar. В качестве постоянных внешних параметров выступали доля фторуглеродного компонента (50%), общее давление газа (6 мтор), вкладываемая мощность (700 Вт) и мощность смещения (200 Вт). Схема исследования включала диагностику плазмы зондами Лангмюра и 0-мерное (глобальное) моделирование кинетики плазмохимических процессов. Найдено, что полимеризационная способность бескислородных (50% Ar) и кислородсодержащих (50% O2) смесей согласуется с отношением z/x в исходной молекуле CxHyFz. Замещение аргона на кислород приводит к однотипным изменениям параметров электронной и ионной компонент плазмы (температуры электронов, концентраций заряженных частиц и энергии ионной бомбардировки), всегда снижает концентрации полимеробразующих радикалов и толщину полимерной пленки, но оказывает различное влияние на кинетику атомов фтора. Увеличение доли кислорода в смесях 50% CF4 + O2 + Ar и 50% CHF3 + O2 + Ar приводит к монотонному росту концентрации атомов фтора. Механизмы этих явлений связаны с увеличением скорости генерации атомов и снижением частоты их гибели, соответственно. Добавление кислорода в системе 50% C4F8 + O2 + Ar снижает скорость генерации атомов фтора, но не приводит к заметным изменениям частот их гибели. Это соответствует монотонному снижению концентрации атомов фтора при увеличении содержания кислорода в смеси. В результате, стационарная концентрация атомов фтора в условиях 50% O2 увеличивается в ряду C4F8 - CHF3 - CF4.
Держатели документа:
ЗКУ
Доп.точки доступа:
Бетелин, В.Б.
Медников, К.А.
Kwon, К.Н.