QR code of document
6П2.1
Т 57
Тонкие неорганические пленки в микроэлектронике [Текст]. - Л. : [б. и.], 1972. - 114 с. - (АН СССР. Ин-т химии силикатов им. И.В. Гребенщикова). - 47 к.
| УДК | 6П2.1 |
Рубрики: Технические науки
Кл.слова (ненормированные):
ин-т химии силикатов им. и.в. гребенщикова -- неорганические пленки -- микроэлектронике
Держатели документа:
ЗКГУ
Экземпляры всего: 1
а (1)
Свободны: а (1)