Электронный каталог


 

Choice of metadata Статьи

Page 1, Results: 15

Report on unfulfilled requests: 0

74.265.7
М 92

Мұхатаева, Н.
    Қызығушылықты ояту [Текст] / Н.Мұхатаева // Химия мектепте. - 2015. - №2.- наурыз- сәуір. - Б. 15-18
ББК 74.265.7

Рубрики: Химияны оқыту әдістемесі

Кл.слова (ненормированные):
қызығушылықты ояту -- электролиттердің қасиеттері -- химия сабағы -- электролиттік диссоциациялану -- қышқылдар
Аннотация: Сабақтың жаңа әдіс- тәсілдерін қолдана отырып, оқушылардың ойлау, көру, есте сақтау қабілеттерін дамыту.
Держатели документа:
М.Өтемісов атындағы БҚМУ

Мұхатаева, Н. Қызығушылықты ояту [Текст] / Н.Мұхатаева // Химия мектепте. - 2015. - №2.- наурыз- сәуір.- Б.15-18

1.

Мұхатаева, Н. Қызығушылықты ояту [Текст] / Н.Мұхатаева // Химия мектепте. - 2015. - №2.- наурыз- сәуір.- Б.15-18


74.265.7
М 92

Мұхатаева, Н.
    Қызығушылықты ояту [Текст] / Н.Мұхатаева // Химия мектепте. - 2015. - №2.- наурыз- сәуір. - Б. 15-18
ББК 74.265.7

Рубрики: Химияны оқыту әдістемесі

Кл.слова (ненормированные):
қызығушылықты ояту -- электролиттердің қасиеттері -- химия сабағы -- электролиттік диссоциациялану -- қышқылдар
Аннотация: Сабақтың жаңа әдіс- тәсілдерін қолдана отырып, оқушылардың ойлау, көру, есте сақтау қабілеттерін дамыту.
Держатели документа:
М.Өтемісов атындағы БҚМУ

24
Т 49

Тлебалиева, Т.
    Бірлескен ізденіс сабақ. (Күкірт, оның қасиеттері). [Текст] / Т. Тлебалиева // Химия мектепте. - 2016. - №6. - Б. 35-39
ББК 24

Рубрики: Химия

Кл.слова (ненормированные):
сократ -- диссоциациялану -- күкірт -- химиялық -- элемент -- есеп -- реакция
Аннотация: Мақала күкірттің периодтық желідегі орны, физикалық және химиялық қасиеттері, табиғатта таралуы туралы.
Держатели документа:
БҚМУ

Тлебалиева, Т. Бірлескен ізденіс сабақ. (Күкірт, оның қасиеттері). [Текст] / Т. Тлебалиева // Химия мектепте. - Алматы, 2016. - №6.- Б.35-39

2.

Тлебалиева, Т. Бірлескен ізденіс сабақ. (Күкірт, оның қасиеттері). [Текст] / Т. Тлебалиева // Химия мектепте. - Алматы, 2016. - №6.- Б.35-39


24
Т 49

Тлебалиева, Т.
    Бірлескен ізденіс сабақ. (Күкірт, оның қасиеттері). [Текст] / Т. Тлебалиева // Химия мектепте. - 2016. - №6. - Б. 35-39
ББК 24

Рубрики: Химия

Кл.слова (ненормированные):
сократ -- диссоциациялану -- күкірт -- химиялық -- элемент -- есеп -- реакция
Аннотация: Мақала күкірттің периодтық желідегі орны, физикалық және химиялық қасиеттері, табиғатта таралуы туралы.
Держатели документа:
БҚМУ

74.262.4
Г 93

Губчук, Д. П.
    Электролитическая диссоциация. [Текст] / Д. П. Губчук // Химия в школе: научно-методический журнал. - 2017. - №4. - С. 24-25
ББК 74.262.4

Рубрики: Методика преподавания химии

Кл.слова (ненормированные):
Основная задача -- ключевая ситуация -- уравнение состояния
Аннотация: В статье рассматривается понятие как об электролитах и неэлектролитах и их поведения в водных растворах.
Держатели документа:
ЗКГУ

Губчук, Д.П. Электролитическая диссоциация. [Текст] / Д. П. Губчук // Химия в школе: научно-методический журнал. - 2017. - №4.- С24-25

3.

Губчук, Д.П. Электролитическая диссоциация. [Текст] / Д. П. Губчук // Химия в школе: научно-методический журнал. - 2017. - №4.- С24-25


74.262.4
Г 93

Губчук, Д. П.
    Электролитическая диссоциация. [Текст] / Д. П. Губчук // Химия в школе: научно-методический журнал. - 2017. - №4. - С. 24-25
ББК 74.262.4

Рубрики: Методика преподавания химии

Кл.слова (ненормированные):
Основная задача -- ключевая ситуация -- уравнение состояния
Аннотация: В статье рассматривается понятие как об электролитах и неэлектролитах и их поведения в водных растворах.
Держатели документа:
ЗКГУ

74
И 50

Имангалиева , Б
    "Электролиттік диссоциациялану теориясы" тақырыбын оқытудың қысқа мерзімді сабақ жоспары [Текст] / Б Имангалиева // Химия мектепте. - 2018. - №2. - Б. 5-6
ББК 74

Рубрики: білім беру

Кл.слова (ненормированные):
химия -- сабақтың тақырыбы -- сабақ жоспары -- қышқылдардың ортақ химиялық қасиеттерін ашу
Аннотация: "Электролиттік диссоциациялану теориясы" тақырыбын оқытудың қысқа мерзімді сабақ жоспары
Держатели документа:
М.Өтемісов атындағы БҚМУ

Имангалиева , Б "Электролиттік диссоциациялану теориясы" тақырыбын оқытудың қысқа мерзімді сабақ жоспары [Текст] / Б Имангалиева // Химия мектепте. - 2018. - №2.- Б.5-6

4.

Имангалиева , Б "Электролиттік диссоциациялану теориясы" тақырыбын оқытудың қысқа мерзімді сабақ жоспары [Текст] / Б Имангалиева // Химия мектепте. - 2018. - №2.- Б.5-6


74
И 50

Имангалиева , Б
    "Электролиттік диссоциациялану теориясы" тақырыбын оқытудың қысқа мерзімді сабақ жоспары [Текст] / Б Имангалиева // Химия мектепте. - 2018. - №2. - Б. 5-6
ББК 74

Рубрики: білім беру

Кл.слова (ненормированные):
химия -- сабақтың тақырыбы -- сабақ жоспары -- қышқылдардың ортақ химиялық қасиеттерін ашу
Аннотация: "Электролиттік диссоциациялану теориясы" тақырыбын оқытудың қысқа мерзімді сабақ жоспары
Держатели документа:
М.Өтемісов атындағы БҚМУ

74
Ж 12

Жақсылық, М.
    "Электролиттік диссоциация теориясы"тақырыбы бойынша білімді қорытындылау сабағы [Текст] / М Жақсылық // Химия мектепте. - 2018. - №2. - Б. 9-11
ББК 74

Рубрики: білім беру

Кл.слова (ненормированные):
Сабақ жоспары -- химия -- иондық реакция
Аннотация: Диссоциациялану дәрежесі ертіндідегі диссоциацияланған молекулалар санының жалпы молекулалара санына қатынасын көрсетеді
Держатели документа:
М.Өтемісов атындағы БҚМУ

Жақсылық, М. "Электролиттік диссоциация теориясы"тақырыбы бойынша білімді қорытындылау сабағы [Текст] / М Жақсылық // Химия мектепте. - 2018. - №2.- Б.9-11

5.

Жақсылық, М. "Электролиттік диссоциация теориясы"тақырыбы бойынша білімді қорытындылау сабағы [Текст] / М Жақсылық // Химия мектепте. - 2018. - №2.- Б.9-11


74
Ж 12

Жақсылық, М.
    "Электролиттік диссоциация теориясы"тақырыбы бойынша білімді қорытындылау сабағы [Текст] / М Жақсылық // Химия мектепте. - 2018. - №2. - Б. 9-11
ББК 74

Рубрики: білім беру

Кл.слова (ненормированные):
Сабақ жоспары -- химия -- иондық реакция
Аннотация: Диссоциациялану дәрежесі ертіндідегі диссоциацияланған молекулалар санының жалпы молекулалара санына қатынасын көрсетеді
Держатели документа:
М.Өтемісов атындағы БҚМУ

24
Ж 88

Жумалиева , Г.
    Химиялық білім берудің маңызды концепциялары [Текст] / Г. Жумалиева , К. Арынова // Информатика негіздері. - 2020. - №1. - Б. 35 - 37
ББК 24

Рубрики: Химия

Кл.слова (ненормированные):
химиялық білім берудің маңызды концепциялары -- атом - молекулалық ілім -- электролиттік диссоциация теориясы -- химиялық реакциялардың жүру механизмі және шарттары -- Д.И. Менделеевтің химиялық элементтердің периодтық жүйесі және периодтық заңы -- А.М. Бутлеровтың органикалық қосылыстарының құрылыс теориясы
Аннотация: Мақалада химиялық білім берудің маңызды концепциялары туралы мағлұматтар берілген.Химияны оқыту үдерісінің негізгі компоненттеріне жатады: оқытудың мақсаты, пән мазмұны, әдістері және тәсілдері, мұғалім мен оқушы әрекеті және осының негізінде жеткен нәтижелер.
Держатели документа:
БҚУ
Доп.точки доступа:
Арынова , К.

Жумалиева , Г. Химиялық білім берудің маңызды концепциялары [Текст] / Г. Жумалиева , К. Арынова // Информатика негіздері. - 2020. - №1.- Б.35 - 37

6.

Жумалиева , Г. Химиялық білім берудің маңызды концепциялары [Текст] / Г. Жумалиева , К. Арынова // Информатика негіздері. - 2020. - №1.- Б.35 - 37


24
Ж 88

Жумалиева , Г.
    Химиялық білім берудің маңызды концепциялары [Текст] / Г. Жумалиева , К. Арынова // Информатика негіздері. - 2020. - №1. - Б. 35 - 37
ББК 24

Рубрики: Химия

Кл.слова (ненормированные):
химиялық білім берудің маңызды концепциялары -- атом - молекулалық ілім -- электролиттік диссоциация теориясы -- химиялық реакциялардың жүру механизмі және шарттары -- Д.И. Менделеевтің химиялық элементтердің периодтық жүйесі және периодтық заңы -- А.М. Бутлеровтың органикалық қосылыстарының құрылыс теориясы
Аннотация: Мақалада химиялық білім берудің маңызды концепциялары туралы мағлұматтар берілген.Химияны оқыту үдерісінің негізгі компоненттеріне жатады: оқытудың мақсаты, пән мазмұны, әдістері және тәсілдері, мұғалім мен оқушы әрекеті және осының негізінде жеткен нәтижелер.
Держатели документа:
БҚУ
Доп.точки доступа:
Арынова , К.

24.123
В 58


    Влияние набухшего гидрогеля полиметакриловой кислоты и поли-4винилпиридина на сорбционную способность к ионам лантана [Текст] / Т. К. Джумадилов [и др.] // Вестник Национальной инженерной академии Республики Казахстан. - Алматы, 2018. - №1(67). - С. 31-38
ББК 24.123

Рубрики: Химия

Кл.слова (ненормированные):
интергелевая система -- сорбция -- исходное состояние -- гидрогель -- полиметакриловая кислота -- ионизация -- ионы -- полимеры -- лантан -- гидратация -- диссоциация -- ассоциация -- удельная электропроводность -- Оптическая плотность -- поликислота
Аннотация: Процесс дистанционного взаимодействия предварительно набухших гидрогелей полиметакриловой кислоты (гПМАК) и поли-4-винилпиридина (гП4ВП) исследован различными методами. Установлено, что наибольшая степень ионизации гПМАК наблюдается при соотношении гПМАК:гП4ВП=1:5, а гП4ВП – при соотношении 5:1. Установлено, что наибольшая сорбция ионов лантана происходит при соотношении гПМАК:гП4ВП=1:5 при 4 ч дистанционного взаимодействия полимеров (извлекается 86% лантана)
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Джумадилов, Т.К.
Кондауров, Р.Г.
Хакимжанов, С.А.
Химерсен, Х.
Ескалиева, Г.К.

Влияние набухшего гидрогеля полиметакриловой кислоты и поли-4винилпиридина на сорбционную способность к ионам лантана [Текст] / Т. К. Джумадилов [и др.] // Вестник Национальной инженерной академии Республики Казахстан. - Алматы, 2018. - №1(67).- С.31-38

7.

Влияние набухшего гидрогеля полиметакриловой кислоты и поли-4винилпиридина на сорбционную способность к ионам лантана [Текст] / Т. К. Джумадилов [и др.] // Вестник Национальной инженерной академии Республики Казахстан. - Алматы, 2018. - №1(67).- С.31-38


24.123
В 58


    Влияние набухшего гидрогеля полиметакриловой кислоты и поли-4винилпиридина на сорбционную способность к ионам лантана [Текст] / Т. К. Джумадилов [и др.] // Вестник Национальной инженерной академии Республики Казахстан. - Алматы, 2018. - №1(67). - С. 31-38
ББК 24.123

Рубрики: Химия

Кл.слова (ненормированные):
интергелевая система -- сорбция -- исходное состояние -- гидрогель -- полиметакриловая кислота -- ионизация -- ионы -- полимеры -- лантан -- гидратация -- диссоциация -- ассоциация -- удельная электропроводность -- Оптическая плотность -- поликислота
Аннотация: Процесс дистанционного взаимодействия предварительно набухших гидрогелей полиметакриловой кислоты (гПМАК) и поли-4-винилпиридина (гП4ВП) исследован различными методами. Установлено, что наибольшая степень ионизации гПМАК наблюдается при соотношении гПМАК:гП4ВП=1:5, а гП4ВП – при соотношении 5:1. Установлено, что наибольшая сорбция ионов лантана происходит при соотношении гПМАК:гП4ВП=1:5 при 4 ч дистанционного взаимодействия полимеров (извлекается 86% лантана)
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Джумадилов, Т.К.
Кондауров, Р.Г.
Хакимжанов, С.А.
Химерсен, Х.
Ескалиева, Г.К.

35.514
К 88

Кудряшов , С. В.
    Окисление пропан-бутановой смеси в диэлектрическом барьерном разряде в присутствии жидкого октана [Текст] / С. В. Кудряшов , А. Ю. Рябов , А.Н. Очередько // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2018. - Т.61(3). - С. 88-92
ББК 35.514

Рубрики: Переработка нефти и нефтяных газов. Производство нефтепродуктов

Кл.слова (ненормированные):
барьерный разряд -- окисление -- пропан-бутановая смесь -- оксигенаты -- механизм реакции -- гидроксильные соединения -- карбонильные соединения -- химия
Аннотация: Представлены результаты окисления пропан-бутановой смеси в плазме барьерного разряда в присутствии жидкого октана. Наличие жидкого углеводорода на стенках плазмохимического реактора создает условия эффективного вывода продуктов окисления из разрядной зоны, что позволяет предотвратить глубокое окисление газообразных углеводородов. Превращение газо-жидкостной смеси приводит к образованию оксигената, содержащего преимущественно гидроксильные и карбонильные соединения с тем же числом атомов углерода в молекуле, что и в исходных соединениях. Механизм окисления газообразных углеводородов аналогичен механизму превращения жидких углеводородов в плазме барьерного разряда. Основным первичным актом, инициирующим реакцию окисления, является образование атомарного кислорода. Диссоциация молекулы алкана может сопровождаться как отрывом атома водорода с образованием алкил радикала и атомарного водорода, так и разрывом С-С связи с появлением углеводородных фрагментов с меньшим числом атомов углерода. Изменение начальной концентрации пропан-бутановой смеси в газовой фазе с 10 до 75 об.% приводит к снижению конверсии газообразных углеводородов с 4,1 до 0,9 масс.%, а октана с 2,4 до 0,3 масс.% за один проход через реактор. Расчеты, выполненные с использованием программного комплекса Bolsig+, показывают, что снижение конверсии связано с уменьшением константы скорости диссоциации кислорода за счет снижения средней энергии электронов с 4,1 до 3,4 эВ. Предложено выражение, позволяющее оценить направление плазмохимической реакции в зависимости от начальной концентрации углеводородов в разрядном промежутке реактора, показывающее во сколько раз скорость окисления октана может быть больше или меньше скорости окисления пропан-бутановой смеси.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Рябов , А.Ю.
Очередько , А.Н.

Кудряшов , С.В. Окисление пропан-бутановой смеси в диэлектрическом барьерном разряде в присутствии жидкого октана [Текст] / С. В. Кудряшов , А. Ю. Рябов , А.Н. Очередько // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2018. Т.61(3).- С.88-92

8.

Кудряшов , С.В. Окисление пропан-бутановой смеси в диэлектрическом барьерном разряде в присутствии жидкого октана [Текст] / С. В. Кудряшов , А. Ю. Рябов , А.Н. Очередько // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2018. Т.61(3).- С.88-92


35.514
К 88

Кудряшов , С. В.
    Окисление пропан-бутановой смеси в диэлектрическом барьерном разряде в присутствии жидкого октана [Текст] / С. В. Кудряшов , А. Ю. Рябов , А.Н. Очередько // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2018. - Т.61(3). - С. 88-92
ББК 35.514

Рубрики: Переработка нефти и нефтяных газов. Производство нефтепродуктов

Кл.слова (ненормированные):
барьерный разряд -- окисление -- пропан-бутановая смесь -- оксигенаты -- механизм реакции -- гидроксильные соединения -- карбонильные соединения -- химия
Аннотация: Представлены результаты окисления пропан-бутановой смеси в плазме барьерного разряда в присутствии жидкого октана. Наличие жидкого углеводорода на стенках плазмохимического реактора создает условия эффективного вывода продуктов окисления из разрядной зоны, что позволяет предотвратить глубокое окисление газообразных углеводородов. Превращение газо-жидкостной смеси приводит к образованию оксигената, содержащего преимущественно гидроксильные и карбонильные соединения с тем же числом атомов углерода в молекуле, что и в исходных соединениях. Механизм окисления газообразных углеводородов аналогичен механизму превращения жидких углеводородов в плазме барьерного разряда. Основным первичным актом, инициирующим реакцию окисления, является образование атомарного кислорода. Диссоциация молекулы алкана может сопровождаться как отрывом атома водорода с образованием алкил радикала и атомарного водорода, так и разрывом С-С связи с появлением углеводородных фрагментов с меньшим числом атомов углерода. Изменение начальной концентрации пропан-бутановой смеси в газовой фазе с 10 до 75 об.% приводит к снижению конверсии газообразных углеводородов с 4,1 до 0,9 масс.%, а октана с 2,4 до 0,3 масс.% за один проход через реактор. Расчеты, выполненные с использованием программного комплекса Bolsig+, показывают, что снижение конверсии связано с уменьшением константы скорости диссоциации кислорода за счет снижения средней энергии электронов с 4,1 до 3,4 эВ. Предложено выражение, позволяющее оценить направление плазмохимической реакции в зависимости от начальной концентрации углеводородов в разрядном промежутке реактора, показывающее во сколько раз скорость окисления октана может быть больше или меньше скорости окисления пропан-бутановой смеси.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Рябов , А.Ю.
Очередько , А.Н.

35.71
Р 24


    Расчетно-экспериментальное исследование термического разложения природного доломита в кипящем слое [Текст] / А. В. Митрофанов [и др.] // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2018. - Т.61(3). - С. 93-99
ББК 35.71

Рубрики: Высокомолекулярные соединения (полимеры) и пластмассы

Кл.слова (ненормированные):
псевдоожижение -- доломит -- диссоциация -- кинетика реакции -- цепь Маркова -- вектор состояния -- матрица переходных вероятностей -- химия
Аннотация: Целью предлагаемой работы является совершенствование описания гидродинамики, тепло- и массопереноса при термическом разложении частиц доломита в кипящем слое. Термическое разложение образцов доломита массой 0,5-1,4 г было выполнено в лабораторной печи. Константы скорости диссоциации отдельно для кальциевой и магнезиальной составляющих были установлены в форме аррениусовских уравнений. Модель кипящего слоя была дополнена полученными кинетическими зависимостями. Сама модель построена на основе теории цепей Маркова и позволяет описывать тепло- и массоперенос в кипящем слое. Она содержит две параллельные цепи ячеек: одна для частиц доломита, другая для ожижающего газа. Сходственные ячейки цепей могут обмениваться теплотой и массой, а продольное перемещение сред описывается матрицами переходных вероятностей. В ячейках для частиц содержатся источники теплоты, вызванной протеканием реакций. Переходные матрицы поставлены в соответствие с физическими параметрами протекания процессов, что делает предлагаемую модель нелинейной. При описании витания, прогрева и диссоциации одиночной частицы было получено хорошее соответствие с экспериментальными данными. Было выполнено расчетное исследование термической переработки навески доломита массой 350 г в кипящем слое. Одной из главных особенностей процесса, влияющих на гидродинамику слоя, является его расширение с течением времени. Это происходит из-за снижения скорости витания частиц доломита в течение их термической обработки. Расчетные результаты показали пространственную и временную неоднородность скорости диссоциации. Предложенная математическая модель может быть рассмотрена как достоверная научная основа для операционного контроля и проектирования установок кипящего слоя.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Митрофанов , А.В.
Мизонов , В.Е.
Василевич , С.В.
Малько , М.В.

Расчетно-экспериментальное исследование термического разложения природного доломита в кипящем слое [Текст] / А. В. Митрофанов [и др.] // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2018. Т.61(3).- С.93-99

9.

Расчетно-экспериментальное исследование термического разложения природного доломита в кипящем слое [Текст] / А. В. Митрофанов [и др.] // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2018. Т.61(3).- С.93-99


35.71
Р 24


    Расчетно-экспериментальное исследование термического разложения природного доломита в кипящем слое [Текст] / А. В. Митрофанов [и др.] // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2018. - Т.61(3). - С. 93-99
ББК 35.71

Рубрики: Высокомолекулярные соединения (полимеры) и пластмассы

Кл.слова (ненормированные):
псевдоожижение -- доломит -- диссоциация -- кинетика реакции -- цепь Маркова -- вектор состояния -- матрица переходных вероятностей -- химия
Аннотация: Целью предлагаемой работы является совершенствование описания гидродинамики, тепло- и массопереноса при термическом разложении частиц доломита в кипящем слое. Термическое разложение образцов доломита массой 0,5-1,4 г было выполнено в лабораторной печи. Константы скорости диссоциации отдельно для кальциевой и магнезиальной составляющих были установлены в форме аррениусовских уравнений. Модель кипящего слоя была дополнена полученными кинетическими зависимостями. Сама модель построена на основе теории цепей Маркова и позволяет описывать тепло- и массоперенос в кипящем слое. Она содержит две параллельные цепи ячеек: одна для частиц доломита, другая для ожижающего газа. Сходственные ячейки цепей могут обмениваться теплотой и массой, а продольное перемещение сред описывается матрицами переходных вероятностей. В ячейках для частиц содержатся источники теплоты, вызванной протеканием реакций. Переходные матрицы поставлены в соответствие с физическими параметрами протекания процессов, что делает предлагаемую модель нелинейной. При описании витания, прогрева и диссоциации одиночной частицы было получено хорошее соответствие с экспериментальными данными. Было выполнено расчетное исследование термической переработки навески доломита массой 350 г в кипящем слое. Одной из главных особенностей процесса, влияющих на гидродинамику слоя, является его расширение с течением времени. Это происходит из-за снижения скорости витания частиц доломита в течение их термической обработки. Расчетные результаты показали пространственную и временную неоднородность скорости диссоциации. Предложенная математическая модель может быть рассмотрена как достоверная научная основа для операционного контроля и проектирования установок кипящего слоя.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Митрофанов , А.В.
Мизонов , В.Е.
Василевич , С.В.
Малько , М.В.

22.33
Е 92

Ефремов , А. М.
    О механизмах влияния кислорода на параметры газовой фазы и кинетику реактивно-ионного травления кремния в плазме НВr+Ch+O3 [Текст] / А. М. Ефремов // Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62. - №10. - С. 76-83
ББК 22.33

Рубрики: Электричество

Кл.слова (ненормированные):
ионизация -- диссоциация -- поток атомов галогенов -- поток атомов кислорода -- поток энергии ионов -- скорость травления -- эффективная вероятность взаимодействия
Аннотация: Проведено исследование влияния соотношений компонентов HBr/O2 и Cl2/O2 в плазмообразующей смеси HBr+Cl2+O2 на параметры плазмы, стационарные концентрации активных частиц и кинетику травления Si в условиях, характерных для процессов реактивно-ионного травления: давление плазмообразующего газа (p = 10 мтор), вкладываемая мощность (W = 500 Вт) и мощность смещения (Wdc = 200 Вт). Данные по внутренним параметрам плазмы и кинетике плазмохимических процессов были получены при совместном использовании диагностики плазмы зондами Лангмюра и 0-мерной (глобальной) модели плазмы. Было найдено, что варьирование соотношения HBr/O2 при постоянном содержании Cl2 в газовой смеси характеризуется более сильным влиянием на стационарный состав плазмы через реакции под действием электронного удара и процессы атомно-молекулярного взаимодействия, а также обеспечивает более широкое изменение суммарной концентрации атомов галогенов в газовой фазе. Было показано также, что варьирование соотношений HBr/O2 и Cl2/O2 в сторону увеличения концентрации кислорода сопровождается снижением скорости травления кремния, которое не коррелирует с изменениями плотностей потоков атомов галогенов и энергии ионов. Модельный анализ кинетики травления позволил заключить, что эффективная вероятность гетерогенной реакции Si + Cl/Br зависит от плотности потока окислительных частиц – атомов кислорода и радикалов OH. Причинами такой зависимости могут являть : 1) окисление кремния, приводящее к увеличению пороговой энергии взаимодействия; и 2) окисление галогенидов кремния в менее летучие соединения вида SiBrxOy и SiClxOy, которое обуславливает снижение скорости ионно-стимулированной десорбции продуктов и доли свободных центров адсорбции для атомов Cl/Br.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Рыбкин , В.В.
Бетелин, В.Б.
Кwon, K.H.

Ефремов , А.М. О механизмах влияния кислорода на параметры газовой фазы и кинетику реактивно-ионного травления кремния в плазме НВr+Ch+O3 [Текст] / А. М. Ефремов // Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62. - №10.- С.76-83

10.

Ефремов , А.М. О механизмах влияния кислорода на параметры газовой фазы и кинетику реактивно-ионного травления кремния в плазме НВr+Ch+O3 [Текст] / А. М. Ефремов // Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62. - №10.- С.76-83


22.33
Е 92

Ефремов , А. М.
    О механизмах влияния кислорода на параметры газовой фазы и кинетику реактивно-ионного травления кремния в плазме НВr+Ch+O3 [Текст] / А. М. Ефремов // Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62. - №10. - С. 76-83
ББК 22.33

Рубрики: Электричество

Кл.слова (ненормированные):
ионизация -- диссоциация -- поток атомов галогенов -- поток атомов кислорода -- поток энергии ионов -- скорость травления -- эффективная вероятность взаимодействия
Аннотация: Проведено исследование влияния соотношений компонентов HBr/O2 и Cl2/O2 в плазмообразующей смеси HBr+Cl2+O2 на параметры плазмы, стационарные концентрации активных частиц и кинетику травления Si в условиях, характерных для процессов реактивно-ионного травления: давление плазмообразующего газа (p = 10 мтор), вкладываемая мощность (W = 500 Вт) и мощность смещения (Wdc = 200 Вт). Данные по внутренним параметрам плазмы и кинетике плазмохимических процессов были получены при совместном использовании диагностики плазмы зондами Лангмюра и 0-мерной (глобальной) модели плазмы. Было найдено, что варьирование соотношения HBr/O2 при постоянном содержании Cl2 в газовой смеси характеризуется более сильным влиянием на стационарный состав плазмы через реакции под действием электронного удара и процессы атомно-молекулярного взаимодействия, а также обеспечивает более широкое изменение суммарной концентрации атомов галогенов в газовой фазе. Было показано также, что варьирование соотношений HBr/O2 и Cl2/O2 в сторону увеличения концентрации кислорода сопровождается снижением скорости травления кремния, которое не коррелирует с изменениями плотностей потоков атомов галогенов и энергии ионов. Модельный анализ кинетики травления позволил заключить, что эффективная вероятность гетерогенной реакции Si + Cl/Br зависит от плотности потока окислительных частиц – атомов кислорода и радикалов OH. Причинами такой зависимости могут являть : 1) окисление кремния, приводящее к увеличению пороговой энергии взаимодействия; и 2) окисление галогенидов кремния в менее летучие соединения вида SiBrxOy и SiClxOy, которое обуславливает снижение скорости ионно-стимулированной десорбции продуктов и доли свободных центров адсорбции для атомов Cl/Br.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Рыбкин , В.В.
Бетелин, В.Б.
Кwon, K.H.

Page 1, Results: 15

 

All acquisitions for 
Or select a month