Choice of metadata Статьи
Page 3, Results: 28
Report on unfulfilled requests: 0
21.
Подробнее
22.33
Е 92
Ефремов , А. М.
О механизмах влияния кислорода на параметры газовой фазы и кинетику реактивно-ионного травления кремния в плазме НВr+Ch+O3 [Текст] / А. М. Ефремов // Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62. - №10. - С. 76-83
ББК 22.33
Рубрики: Электричество
Кл.слова (ненормированные):
ионизация -- диссоциация -- поток атомов галогенов -- поток атомов кислорода -- поток энергии ионов -- скорость травления -- эффективная вероятность взаимодействия
Аннотация: Проведено исследование влияния соотношений компонентов HBr/O2 и Cl2/O2 в плазмообразующей смеси HBr+Cl2+O2 на параметры плазмы, стационарные концентрации активных частиц и кинетику травления Si в условиях, характерных для процессов реактивно-ионного травления: давление плазмообразующего газа (p = 10 мтор), вкладываемая мощность (W = 500 Вт) и мощность смещения (Wdc = 200 Вт). Данные по внутренним параметрам плазмы и кинетике плазмохимических процессов были получены при совместном использовании диагностики плазмы зондами Лангмюра и 0-мерной (глобальной) модели плазмы. Было найдено, что варьирование соотношения HBr/O2 при постоянном содержании Cl2 в газовой смеси характеризуется более сильным влиянием на стационарный состав плазмы через реакции под действием электронного удара и процессы атомно-молекулярного взаимодействия, а также обеспечивает более широкое изменение суммарной концентрации атомов галогенов в газовой фазе. Было показано также, что варьирование соотношений HBr/O2 и Cl2/O2 в сторону увеличения концентрации кислорода сопровождается снижением скорости травления кремния, которое не коррелирует с изменениями плотностей потоков атомов галогенов и энергии ионов. Модельный анализ кинетики травления позволил заключить, что эффективная вероятность гетерогенной реакции Si + Cl/Br зависит от плотности потока окислительных частиц – атомов кислорода и радикалов OH. Причинами такой зависимости могут являть : 1) окисление кремния, приводящее к увеличению пороговой энергии взаимодействия; и 2) окисление галогенидов кремния в менее летучие соединения вида SiBrxOy и SiClxOy, которое обуславливает снижение скорости ионно-стимулированной десорбции продуктов и доли свободных центров адсорбции для атомов Cl/Br.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Рыбкин , В.В.
Бетелин, В.Б.
Кwon, K.H.
Е 92
Ефремов , А. М.
О механизмах влияния кислорода на параметры газовой фазы и кинетику реактивно-ионного травления кремния в плазме НВr+Ch+O3 [Текст] / А. М. Ефремов // Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62. - №10. - С. 76-83
Рубрики: Электричество
Кл.слова (ненормированные):
ионизация -- диссоциация -- поток атомов галогенов -- поток атомов кислорода -- поток энергии ионов -- скорость травления -- эффективная вероятность взаимодействия
Аннотация: Проведено исследование влияния соотношений компонентов HBr/O2 и Cl2/O2 в плазмообразующей смеси HBr+Cl2+O2 на параметры плазмы, стационарные концентрации активных частиц и кинетику травления Si в условиях, характерных для процессов реактивно-ионного травления: давление плазмообразующего газа (p = 10 мтор), вкладываемая мощность (W = 500 Вт) и мощность смещения (Wdc = 200 Вт). Данные по внутренним параметрам плазмы и кинетике плазмохимических процессов были получены при совместном использовании диагностики плазмы зондами Лангмюра и 0-мерной (глобальной) модели плазмы. Было найдено, что варьирование соотношения HBr/O2 при постоянном содержании Cl2 в газовой смеси характеризуется более сильным влиянием на стационарный состав плазмы через реакции под действием электронного удара и процессы атомно-молекулярного взаимодействия, а также обеспечивает более широкое изменение суммарной концентрации атомов галогенов в газовой фазе. Было показано также, что варьирование соотношений HBr/O2 и Cl2/O2 в сторону увеличения концентрации кислорода сопровождается снижением скорости травления кремния, которое не коррелирует с изменениями плотностей потоков атомов галогенов и энергии ионов. Модельный анализ кинетики травления позволил заключить, что эффективная вероятность гетерогенной реакции Si + Cl/Br зависит от плотности потока окислительных частиц – атомов кислорода и радикалов OH. Причинами такой зависимости могут являть : 1) окисление кремния, приводящее к увеличению пороговой энергии взаимодействия; и 2) окисление галогенидов кремния в менее летучие соединения вида SiBrxOy и SiClxOy, которое обуславливает снижение скорости ионно-стимулированной десорбции продуктов и доли свободных центров адсорбции для атомов Cl/Br.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Рыбкин , В.В.
Бетелин, В.Б.
Кwon, K.H.
22.
Подробнее
24
Е 92
Ефремов, А. М.
Параметры и состав плазмы CF4 + O2 + Ar И CHF3 + O2 +Ar в процессах реактивно-ионного травления [Текст] / А. М. Ефремов // Известия высших учебных заведений серия Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62 (12). - С. 108-118
ББК 24
Рубрики: Химические науки
Кл.слова (ненормированные):
реактивно-ионное травление -- плазма -- ионизациядиссоциация -- полимеризация -- кинетика -- механизм
Аннотация: Проведен сравнительный анализ плазменных систем CF4+O2+Ar и CHF3+O2+Ar в условиях, характерных для процессов реактивно-ионного травления кремния и его соединений. Данные по внутренним параметрам плазмы, кинетике плазмохимических процессов и стационарному составу газовой фазы были получены при анализе описания диагностики плазмы зондами Лангмюра и 0-мерной (глобальной) модели плазмы. Как описано в литературе, условия эксперимента и моделирования соответствовали постоянным значениям общего давления плазмообразующего газа, вкладываемой мощности и мощности смещения. В результате выполнения работы: 1) установлены механизмы влияния кислорода на стационарные концентрации активных частиц через кинетику процессов при электронном ударе и реакции атомно-молекулярного взаимодействия; 2) выявлены особенности кинетики атомов фтора и фторуглеродных радикалов, формирующих химическую активность и полимеризационную нагрузку плазмы на контактирующие с ней поверхности и 3) проведен модельный анализ кинетики гетерогенных процессов (травление, полимеризация, деструкция полимерной пленки), определяющих режим травления и его выходные характеристики. Установлено, что замещение аргона на кислород в обеих смесях: 1) приводит к монотонному росту концентрации атомов фтора; 2) сопровождается снижением полимеризационной нагрузки газовой фазы на контактирующие с ней поверхности и 3) вызывает резкое (до двух порядков величины при ~ 20% О2) уменьшение толщины фторуглеродной полимерной пленки при сохранении более высоких значений для системы CHF3+O2+Ar.
Держатели документа:
ЗКГУ
Е 92
Ефремов, А. М.
Параметры и состав плазмы CF4 + O2 + Ar И CHF3 + O2 +Ar в процессах реактивно-ионного травления [Текст] / А. М. Ефремов // Известия высших учебных заведений серия Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62 (12). - С. 108-118
Рубрики: Химические науки
Кл.слова (ненормированные):
реактивно-ионное травление -- плазма -- ионизациядиссоциация -- полимеризация -- кинетика -- механизм
Аннотация: Проведен сравнительный анализ плазменных систем CF4+O2+Ar и CHF3+O2+Ar в условиях, характерных для процессов реактивно-ионного травления кремния и его соединений. Данные по внутренним параметрам плазмы, кинетике плазмохимических процессов и стационарному составу газовой фазы были получены при анализе описания диагностики плазмы зондами Лангмюра и 0-мерной (глобальной) модели плазмы. Как описано в литературе, условия эксперимента и моделирования соответствовали постоянным значениям общего давления плазмообразующего газа, вкладываемой мощности и мощности смещения. В результате выполнения работы: 1) установлены механизмы влияния кислорода на стационарные концентрации активных частиц через кинетику процессов при электронном ударе и реакции атомно-молекулярного взаимодействия; 2) выявлены особенности кинетики атомов фтора и фторуглеродных радикалов, формирующих химическую активность и полимеризационную нагрузку плазмы на контактирующие с ней поверхности и 3) проведен модельный анализ кинетики гетерогенных процессов (травление, полимеризация, деструкция полимерной пленки), определяющих режим травления и его выходные характеристики. Установлено, что замещение аргона на кислород в обеих смесях: 1) приводит к монотонному росту концентрации атомов фтора; 2) сопровождается снижением полимеризационной нагрузки газовой фазы на контактирующие с ней поверхности и 3) вызывает резкое (до двух порядков величины при ~ 20% О2) уменьшение толщины фторуглеродной полимерной пленки при сохранении более высоких значений для системы CHF3+O2+Ar.
Держатели документа:
ЗКГУ
23.
Подробнее
28
О-72
Осмоловский , А. А.
Воздействие протеиназы Aspergillus fumigatus на белки плазмы крови [Текст] / А. А. Осмоловский , Л. Шмидт [и др.] // Вестник Московского университета. - 2021. - №2. - С. 90-95
ББК 28
Рубрики: биология
Кл.слова (ненормированные):
протеиназы микромицетов -- фибринолитическая активность -- ферментные препараты -- aspergillus fumigatus -- тромболизис -- изоэлектрофокусирование -- мицелиальный гриб -- секреция протеиназ -- фибриновые пластины -- инкубация фибриновых пластинок
Аннотация: В статье показано,что протеиназа в разной степени гидролизирует казеин,фибрин,фибриноген,альбумин и гемоглобин.
Держатели документа:
ЗКУ
Доп.точки доступа:
Шмидт, Л.
Орехова, А.В.
Крейер, В.Г.
Баранова, Н.А.
Егоров, Н.С.
О-72
Осмоловский , А. А.
Воздействие протеиназы Aspergillus fumigatus на белки плазмы крови [Текст] / А. А. Осмоловский , Л. Шмидт [и др.] // Вестник Московского университета. - 2021. - №2. - С. 90-95
Рубрики: биология
Кл.слова (ненормированные):
протеиназы микромицетов -- фибринолитическая активность -- ферментные препараты -- aspergillus fumigatus -- тромболизис -- изоэлектрофокусирование -- мицелиальный гриб -- секреция протеиназ -- фибриновые пластины -- инкубация фибриновых пластинок
Аннотация: В статье показано,что протеиназа в разной степени гидролизирует казеин,фибрин,фибриноген,альбумин и гемоглобин.
Держатели документа:
ЗКУ
Доп.точки доступа:
Шмидт, Л.
Орехова, А.В.
Крейер, В.Г.
Баранова, Н.А.
Егоров, Н.С.
24.
Подробнее
28.5
В 58
Влияние низкотемпературной плазмы атмосферного давления на культуру клеток Paramecium caudatum [Текст] / Г. А. Груздев, О. В. Карпухина , В. Г. Якунин [и др.] // Вестник Московского университета. - 2021. - №4. - С. 273-277
ББК 28.5
Рубрики: Ботаника
Кл.слова (ненормированные):
инфузории -- Paramecium caudatum -- свободные радикалы -- низкотемпературная плазма -- плазмотрон -- цитотоксический эффект
Аннотация: Исследовано воздействие низкотемпературной плазмы, генерируемой плазмотроном в инертном газе (аргон, гелий) и в смеси инертного газа и воздуха, на культуру клеток Paramecium caudatum. Обнаружено влияние состава плазмы на уровень кислотности водной среды и характер гибели клеток. Полученные результаты обсуждаются с учетом образуемых под действием плазменной струи активных радикалов, а также отложенной реакции клеток на плазменное воздействие.
Держатели документа:
ЗКУ
Доп.точки доступа:
Груздев, Г.А.
Карпухина , О.В.
Якунин , В.Г.
Иноземцев , А.Н.
Савинов , В.П.
Тимошенко , В.Ю.
Каменский , А.А.
В 58
Влияние низкотемпературной плазмы атмосферного давления на культуру клеток Paramecium caudatum [Текст] / Г. А. Груздев, О. В. Карпухина , В. Г. Якунин [и др.] // Вестник Московского университета. - 2021. - №4. - С. 273-277
Рубрики: Ботаника
Кл.слова (ненормированные):
инфузории -- Paramecium caudatum -- свободные радикалы -- низкотемпературная плазма -- плазмотрон -- цитотоксический эффект
Аннотация: Исследовано воздействие низкотемпературной плазмы, генерируемой плазмотроном в инертном газе (аргон, гелий) и в смеси инертного газа и воздуха, на культуру клеток Paramecium caudatum. Обнаружено влияние состава плазмы на уровень кислотности водной среды и характер гибели клеток. Полученные результаты обсуждаются с учетом образуемых под действием плазменной струи активных радикалов, а также отложенной реакции клеток на плазменное воздействие.
Держатели документа:
ЗКУ
Доп.точки доступа:
Груздев, Г.А.
Карпухина , О.В.
Якунин , В.Г.
Иноземцев , А.Н.
Савинов , В.П.
Тимошенко , В.Ю.
Каменский , А.А.
25.
Подробнее
35
Т 11
Тхао, Та Тхи
Одновременный количественный 1Н Ямр анализ метанола ,этанола и их метаболических продуктов в плазме человека: ранний дианоз и мониторинг во время лечения острого отравления метанолом во Въетнаме. [Текст] / Та Тхи Тхао, Тхи Нган Нгуен, Ан Фуонг Ву, Тран Хунг Ха [и др.] // Известия высших учебных заведений . - 2021. - Т.64. Вып.2. - С. 41-48
ББК 35
Рубрики: Химическая технология
Кл.слова (ненормированные):
метанол -- этанол -- Вьетнам -- магнитный -- протон
Аннотация: В данной работе был установлен метод ядерного магнитного резонанса (1Н-ЯМР) для одновременного количественного определения метанола, этанола и продуктов их метаболизма (муравьиная кислота и уксусная кислота) в плазме человека. Эффект белка в образце плазмы был удален 25% трихлоруксусной кислотой (TCA) с соотношением TCA и образца плазмы при 1/5 (об./об.).
Держатели документа:
ЗКУ
Доп.точки доступа:
Нгуен, Тхи Нган
Ву, Ан Фуонг
Ха, Тран Хунг
Нгуен, Ван Тхык
Фам, Куанг трунг
Т 11
Тхао, Та Тхи
Одновременный количественный 1Н Ямр анализ метанола ,этанола и их метаболических продуктов в плазме человека: ранний дианоз и мониторинг во время лечения острого отравления метанолом во Въетнаме. [Текст] / Та Тхи Тхао, Тхи Нган Нгуен, Ан Фуонг Ву, Тран Хунг Ха [и др.] // Известия высших учебных заведений . - 2021. - Т.64. Вып.2. - С. 41-48
Рубрики: Химическая технология
Кл.слова (ненормированные):
метанол -- этанол -- Вьетнам -- магнитный -- протон
Аннотация: В данной работе был установлен метод ядерного магнитного резонанса (1Н-ЯМР) для одновременного количественного определения метанола, этанола и продуктов их метаболизма (муравьиная кислота и уксусная кислота) в плазме человека. Эффект белка в образце плазмы был удален 25% трихлоруксусной кислотой (TCA) с соотношением TCA и образца плазмы при 1/5 (об./об.).
Держатели документа:
ЗКУ
Доп.точки доступа:
Нгуен, Тхи Нган
Ву, Ан Фуонг
Ха, Тран Хунг
Нгуен, Ван Тхык
Фам, Куанг трунг
26.
Подробнее
24
Е 90
Ефремов, А. М.
Параметры газовой фазы и режимы реактивно -ионного травления Si И Sio2 в бинарных смесях Ar+CF4/C4F8. [Текст] / А. М. Ефремов, В. Б. Бетелин, К. А. Медников, К. Н. Kwon // Известия высших учебных заведений . - 2021. - Т.64. Вып.6. - С. 25-34
ББК 24
Рубрики: Химия
Кл.слова (ненормированные):
Si -- SiO2 -- травление -- полимеризация -- поток атомов фтора -- поток энергии ионов -- эффективная вероятность взаимодействия
Аннотация: Проведено сравнительное исследование электрофизических параметров плазмы, стационарного состава газовой фазы и закономерностей реактивно-ионного травления Si и SiO2 в плазме бинарных смесей CF4 + Ar и C4F8 + Ar в условиях индукционного ВЧ 13,56 МГц разряда. Фиксированными параметрами процесса являлись давление плазмообразующего газа (6 мтор) и уровни мощности, подводимой от источников возбуждения плазмы (700 Вт) и смещения (200 Вт).
Держатели документа:
ЗКУ
Доп.точки доступа:
Бетелин, В.Б.
Медников, К.А.
Kwon, К.Н.
Е 90
Ефремов, А. М.
Параметры газовой фазы и режимы реактивно -ионного травления Si И Sio2 в бинарных смесях Ar+CF4/C4F8. [Текст] / А. М. Ефремов, В. Б. Бетелин, К. А. Медников, К. Н. Kwon // Известия высших учебных заведений . - 2021. - Т.64. Вып.6. - С. 25-34
Рубрики: Химия
Кл.слова (ненормированные):
Si -- SiO2 -- травление -- полимеризация -- поток атомов фтора -- поток энергии ионов -- эффективная вероятность взаимодействия
Аннотация: Проведено сравнительное исследование электрофизических параметров плазмы, стационарного состава газовой фазы и закономерностей реактивно-ионного травления Si и SiO2 в плазме бинарных смесей CF4 + Ar и C4F8 + Ar в условиях индукционного ВЧ 13,56 МГц разряда. Фиксированными параметрами процесса являлись давление плазмообразующего газа (6 мтор) и уровни мощности, подводимой от источников возбуждения плазмы (700 Вт) и смещения (200 Вт).
Держатели документа:
ЗКУ
Доп.точки доступа:
Бетелин, В.Б.
Медников, К.А.
Kwon, К.Н.
27.
Подробнее
24
К 78
Крюков, А. Ю.
Возможности использования композитного электрода на основе углеродных нанотрубок для определения нитрита в водных и биологических средах. [Текст] / А. Ю. Крюков, Р. Беспрозванная, И. В. Горончаровская, А. К. Евсеев [и др.] // Известия высших учебных заведений . - 2021. - Т.64. Вып.7. - С. 21-26
ББК 24
Рубрики: Химия
Кл.слова (ненормированные):
углеродные нанотрубки -- полиметиленовый голубой -- нитрит -- плазма крови -- вольтамперометрия
Аннотация: Проведены модельные исследования композитного электрода МУНТ-ПЭ/ПМГ в плазме крови в присутствии нитрита. Сравнение вольтамперных кривых, полученных в водных растворах и в плазме крови, показало, что протекание процесса окисления нитрита в плазме крови соответствует протеканию процесса в водной среде – потенциал и высота пика окисления практически совпадают. Результаты модельных исследований в плазме крови позволяют сделать вывод о том, что электрод МУНТ-ПЭ/ПМГ потенциально может быть использован для определения нитрита в образцах плазмы крови пациентов.
Держатели документа:
ЗКУ
Доп.точки доступа:
Беспрозванная, Р.
Горончаровская, И.В.
Евсеев, А.К.
Шабанов, А.К.
Петриков, С.С.
К 78
Крюков, А. Ю.
Возможности использования композитного электрода на основе углеродных нанотрубок для определения нитрита в водных и биологических средах. [Текст] / А. Ю. Крюков, Р. Беспрозванная, И. В. Горончаровская, А. К. Евсеев [и др.] // Известия высших учебных заведений . - 2021. - Т.64. Вып.7. - С. 21-26
Рубрики: Химия
Кл.слова (ненормированные):
углеродные нанотрубки -- полиметиленовый голубой -- нитрит -- плазма крови -- вольтамперометрия
Аннотация: Проведены модельные исследования композитного электрода МУНТ-ПЭ/ПМГ в плазме крови в присутствии нитрита. Сравнение вольтамперных кривых, полученных в водных растворах и в плазме крови, показало, что протекание процесса окисления нитрита в плазме крови соответствует протеканию процесса в водной среде – потенциал и высота пика окисления практически совпадают. Результаты модельных исследований в плазме крови позволяют сделать вывод о том, что электрод МУНТ-ПЭ/ПМГ потенциально может быть использован для определения нитрита в образцах плазмы крови пациентов.
Держатели документа:
ЗКУ
Доп.точки доступа:
Беспрозванная, Р.
Горончаровская, И.В.
Евсеев, А.К.
Шабанов, А.К.
Петриков, С.С.
28.
Подробнее
24
Е 92
Ефремов, А. М.
Параметры плазмы и концентрации активных частиц в смесях фторуглеродных газов с аргоном и кислородом. [Текст] / А. М. Ефремов, В. Б. Бетелин, К. А. Медников, К. Н. Kwon // Известия высших учебных заведений . - 2021. - Т.64. Вып.7. - С. 46-53
ББК 24
Рубрики: Химия
Кл.слова (ненормированные):
фторуглеродные газы -- плазма -- параметры -- активные частицы -- ионизация -- диссоциация -- травление -- полимеризация
Аннотация: Проведено сравнительное исследование электрофизических параметров плазмы и стационарного состава газовой фазы в плазме индукционного ВЧ 13б56 МГц разряда в смесях CF4 + O2 + Ar, CHF3 + O2 + Ar и C4F8 + O2 + Ar. В качестве постоянных внешних параметров выступали доля фторуглеродного компонента (50%), общее давление газа (6 мтор), вкладываемая мощность (700 Вт) и мощность смещения (200 Вт). Схема исследования включала диагностику плазмы зондами Лангмюра и 0-мерное (глобальное) моделирование кинетики плазмохимических процессов. Найдено, что полимеризационная способность бескислородных (50% Ar) и кислородсодержащих (50% O2) смесей согласуется с отношением z/x в исходной молекуле CxHyFz. Замещение аргона на кислород приводит к однотипным изменениям параметров электронной и ионной компонент плазмы (температуры электронов, концентраций заряженных частиц и энергии ионной бомбардировки), всегда снижает концентрации полимеробразующих радикалов и толщину полимерной пленки, но оказывает различное влияние на кинетику атомов фтора. Увеличение доли кислорода в смесях 50% CF4 + O2 + Ar и 50% CHF3 + O2 + Ar приводит к монотонному росту концентрации атомов фтора. Механизмы этих явлений связаны с увеличением скорости генерации атомов и снижением частоты их гибели, соответственно. Добавление кислорода в системе 50% C4F8 + O2 + Ar снижает скорость генерации атомов фтора, но не приводит к заметным изменениям частот их гибели. Это соответствует монотонному снижению концентрации атомов фтора при увеличении содержания кислорода в смеси. В результате, стационарная концентрация атомов фтора в условиях 50% O2 увеличивается в ряду C4F8 - CHF3 - CF4.
Держатели документа:
ЗКУ
Доп.точки доступа:
Бетелин, В.Б.
Медников, К.А.
Kwon, К.Н.
Е 92
Ефремов, А. М.
Параметры плазмы и концентрации активных частиц в смесях фторуглеродных газов с аргоном и кислородом. [Текст] / А. М. Ефремов, В. Б. Бетелин, К. А. Медников, К. Н. Kwon // Известия высших учебных заведений . - 2021. - Т.64. Вып.7. - С. 46-53
Рубрики: Химия
Кл.слова (ненормированные):
фторуглеродные газы -- плазма -- параметры -- активные частицы -- ионизация -- диссоциация -- травление -- полимеризация
Аннотация: Проведено сравнительное исследование электрофизических параметров плазмы и стационарного состава газовой фазы в плазме индукционного ВЧ 13б56 МГц разряда в смесях CF4 + O2 + Ar, CHF3 + O2 + Ar и C4F8 + O2 + Ar. В качестве постоянных внешних параметров выступали доля фторуглеродного компонента (50%), общее давление газа (6 мтор), вкладываемая мощность (700 Вт) и мощность смещения (200 Вт). Схема исследования включала диагностику плазмы зондами Лангмюра и 0-мерное (глобальное) моделирование кинетики плазмохимических процессов. Найдено, что полимеризационная способность бескислородных (50% Ar) и кислородсодержащих (50% O2) смесей согласуется с отношением z/x в исходной молекуле CxHyFz. Замещение аргона на кислород приводит к однотипным изменениям параметров электронной и ионной компонент плазмы (температуры электронов, концентраций заряженных частиц и энергии ионной бомбардировки), всегда снижает концентрации полимеробразующих радикалов и толщину полимерной пленки, но оказывает различное влияние на кинетику атомов фтора. Увеличение доли кислорода в смесях 50% CF4 + O2 + Ar и 50% CHF3 + O2 + Ar приводит к монотонному росту концентрации атомов фтора. Механизмы этих явлений связаны с увеличением скорости генерации атомов и снижением частоты их гибели, соответственно. Добавление кислорода в системе 50% C4F8 + O2 + Ar снижает скорость генерации атомов фтора, но не приводит к заметным изменениям частот их гибели. Это соответствует монотонному снижению концентрации атомов фтора при увеличении содержания кислорода в смеси. В результате, стационарная концентрация атомов фтора в условиях 50% O2 увеличивается в ряду C4F8 - CHF3 - CF4.
Держатели документа:
ЗКУ
Доп.точки доступа:
Бетелин, В.Б.
Медников, К.А.
Kwon, К.Н.
Page 3, Results: 28