Электронный каталог

22.3
Н 50
Немкаева, Р. Р.
    Сравнение методик атомно-силовой микроскопии при исследовании аморфных углеродных пленок [Текст] / Р. Р. Немкаева, Е. С. Мухаметкаримов, Б. Е. Алпысбаева // әл-Фараби ат. ҚазҰУ хабаршысы = Вестник КазНУ им. аль-Фараби. - Алматы, 2017. - №1(60). - С. 88-92. - (Физика сериясы = Серия физическая )
ББК 22.3

Рубрики: Физика

Кл.слова (ненормированные):
атомно-силовая микроскопия -- полуконтактная методика -- контактная методика -- адгезия пленки -- измерение толщины -- погрешность -- аморфная углеродная пленка -- физика
Аннотация: В работе представлены результаты исследования аморфной углеродной пленки методами атомно-силовой микроскопии.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Мухаметкаримов, Е.С.
Алпысбаева, Б.Е.