Электронный каталог


 

Choice of metadata Статьи

Page 10, Results: 172

Report on unfulfilled requests: 0

24
В 54

Витрик, О. Б.
    Морфологические особенности и смачиваемость поверхности политетрафторэтилена , текстурированной методом лазерной абляции [Текст] / О. Б. Витрик // Известия высших учебных заведений. Серия " Химия и химическая технология ". - 2019. - Т.62(11). - С. 126-137. - (статья на английском языке)
ББК 24

Рубрики: Химические науки

Кл.слова (ненормированные):
Лазерная абляция -- текстурирование -- смачиваемость -- политетрафторэтилен -- супергидрофобность -- морфология -- многомодальная шероховатость
Аннотация: В работе исследованы морфологические особенности текстур с неоднородной смачиваемостью, создаваемых с применением фемтосекундной лазерной абляции подложек из политетрафторэтилена. Покрывая поверхность политетрафторэтилена микрократерами в соответствии с заданным дизайном , можно добиться создания текстуры в виде периодически расположенных микростолбов. Период расположения столбиков одинаков по всей поверхности и выбирается в диапазоне от 15 до 100 мкм.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Кульчин, Ю.Н.
Егоркин, В.С.
Синебрюхов, С.Л.
Гнеденков, С.В.

Витрик, О.Б. Морфологические особенности и смачиваемость поверхности политетрафторэтилена , текстурированной методом лазерной абляции [Текст] / О. Б. Витрик // Известия высших учебных заведений. Серия " Химия и химическая технология ". - 2019. - Т.62(11).- С.126-137

91.

Витрик, О.Б. Морфологические особенности и смачиваемость поверхности политетрафторэтилена , текстурированной методом лазерной абляции [Текст] / О. Б. Витрик // Известия высших учебных заведений. Серия " Химия и химическая технология ". - 2019. - Т.62(11).- С.126-137


24
В 54

Витрик, О. Б.
    Морфологические особенности и смачиваемость поверхности политетрафторэтилена , текстурированной методом лазерной абляции [Текст] / О. Б. Витрик // Известия высших учебных заведений. Серия " Химия и химическая технология ". - 2019. - Т.62(11). - С. 126-137. - (статья на английском языке)
ББК 24

Рубрики: Химические науки

Кл.слова (ненормированные):
Лазерная абляция -- текстурирование -- смачиваемость -- политетрафторэтилен -- супергидрофобность -- морфология -- многомодальная шероховатость
Аннотация: В работе исследованы морфологические особенности текстур с неоднородной смачиваемостью, создаваемых с применением фемтосекундной лазерной абляции подложек из политетрафторэтилена. Покрывая поверхность политетрафторэтилена микрократерами в соответствии с заданным дизайном , можно добиться создания текстуры в виде периодически расположенных микростолбов. Период расположения столбиков одинаков по всей поверхности и выбирается в диапазоне от 15 до 100 мкм.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Кульчин, Ю.Н.
Егоркин, В.С.
Синебрюхов, С.Л.
Гнеденков, С.В.

24
Е 64

Енцепова, А. А.
    Реакция диэтилоксалата и ацетона с последующим взаимодействием с замещенными 7-аминоиндолами [Текст] / А. А. Енцепова, Н. В. Жукова // Известия высших учебных заведений cерия Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62 (12). - С. 4-8
ББК 24

Рубрики: Химические науки

Кл.слова (ненормированные):
аминоиндол -- диэтилоксалат -- пирролохинолин -- пирролохиноксалин -- конденсация
Аннотация: Исследование, описанное в статье, является продолжением научных изысканий по проблеме поиска удобных методов синтеза азотсодержащих гетероциклических соединений, обладающих биологической активностью. В данной статье описывается опыт синтеза трициклических азотсодержащих веществ на основе взаимодействия диэтилового эфира щавелевой кислоты, ацетона и натрия с последующим введением с реакционную систему с 2,3-диметил-или 1,2,3, - триметил-7-аминоиндолами в присутствии уксусной кислоты.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Жукова, Н.В.

Енцепова, А.А. Реакция диэтилоксалата и ацетона с последующим взаимодействием с замещенными 7-аминоиндолами [Текст] / А. А. Енцепова, Н. В. Жукова // Известия высших учебных заведений cерия Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62 (12).- С.4-8

92.

Енцепова, А.А. Реакция диэтилоксалата и ацетона с последующим взаимодействием с замещенными 7-аминоиндолами [Текст] / А. А. Енцепова, Н. В. Жукова // Известия высших учебных заведений cерия Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62 (12).- С.4-8


24
Е 64

Енцепова, А. А.
    Реакция диэтилоксалата и ацетона с последующим взаимодействием с замещенными 7-аминоиндолами [Текст] / А. А. Енцепова, Н. В. Жукова // Известия высших учебных заведений cерия Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62 (12). - С. 4-8
ББК 24

Рубрики: Химические науки

Кл.слова (ненормированные):
аминоиндол -- диэтилоксалат -- пирролохинолин -- пирролохиноксалин -- конденсация
Аннотация: Исследование, описанное в статье, является продолжением научных изысканий по проблеме поиска удобных методов синтеза азотсодержащих гетероциклических соединений, обладающих биологической активностью. В данной статье описывается опыт синтеза трициклических азотсодержащих веществ на основе взаимодействия диэтилового эфира щавелевой кислоты, ацетона и натрия с последующим введением с реакционную систему с 2,3-диметил-или 1,2,3, - триметил-7-аминоиндолами в присутствии уксусной кислоты.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Жукова, Н.В.

24
П 58

Попова, В. А.
    Вольтамперометрическое определение этилнитрита [Текст] / В. А. Попова, А. А. Кривошеина, Е. И. Короткова // Известия высших учебных заведений серия Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62 (12). - С. 9-12
ББК 24

Рубрики: Химические науки

Кл.слова (ненормированные):
вольтамперометрия -- этилнитрит -- углеродные чернила -- оксид азота -- определение -- экспериментальная часть
Аннотация: В работе была и описана возможность вольтамперометрического определения этилнитрита на графитовом электроде, модифицированном углеродными чернилами. Изучены физико-химические характеристики процесса окисления анализируемого вещества
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Кривошеина, А.А.
Короткова, Е.И.

Попова, В.А. Вольтамперометрическое определение этилнитрита [Текст] / В. А. Попова, А. А. Кривошеина, Е. И. Короткова // Известия высших учебных заведений серия Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62 (12).- С.9-12

93.

Попова, В.А. Вольтамперометрическое определение этилнитрита [Текст] / В. А. Попова, А. А. Кривошеина, Е. И. Короткова // Известия высших учебных заведений серия Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62 (12).- С.9-12


24
П 58

Попова, В. А.
    Вольтамперометрическое определение этилнитрита [Текст] / В. А. Попова, А. А. Кривошеина, Е. И. Короткова // Известия высших учебных заведений серия Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62 (12). - С. 9-12
ББК 24

Рубрики: Химические науки

Кл.слова (ненормированные):
вольтамперометрия -- этилнитрит -- углеродные чернила -- оксид азота -- определение -- экспериментальная часть
Аннотация: В работе была и описана возможность вольтамперометрического определения этилнитрита на графитовом электроде, модифицированном углеродными чернилами. Изучены физико-химические характеристики процесса окисления анализируемого вещества
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Кривошеина, А.А.
Короткова, Е.И.

24
Б 73

Богданов, Д. Г.
    Десорбция примесей детонационного наноалмаза в ходе синтеза интерметаллических соединений системы Ni - AL [Текст] / Д. Г. Богданов, В. А. Плотников [и др.] // Известия высших учебных заведений серия Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62 (12). - С. 25-32
ББК 24

Рубрики: Химические науки

Кл.слова (ненормированные):
детонационный наноалмаз -- примесная подсистема -- примесные атомы -- масс-спектроскопия десорбитованных веществ
Аннотация: В работе представлены результаты целенаправленного воздействия на примесную подсистему детонационных наноалмазов (ДНА) (ФНПЦ "Алтай")активными металлами и смесями металлов никеля и алюминия.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Плотников, В.А.
Макаров, С.В.
Богданов, А.С.
Чепуров, А.А.

Богданов, Д.Г. Десорбция примесей детонационного наноалмаза в ходе синтеза интерметаллических соединений системы Ni - AL [Текст] / Д. Г. Богданов, В. А. Плотников [и др.] // Известия высших учебных заведений серия Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62 (12).- С.25-32

94.

Богданов, Д.Г. Десорбция примесей детонационного наноалмаза в ходе синтеза интерметаллических соединений системы Ni - AL [Текст] / Д. Г. Богданов, В. А. Плотников [и др.] // Известия высших учебных заведений серия Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62 (12).- С.25-32


24
Б 73

Богданов, Д. Г.
    Десорбция примесей детонационного наноалмаза в ходе синтеза интерметаллических соединений системы Ni - AL [Текст] / Д. Г. Богданов, В. А. Плотников [и др.] // Известия высших учебных заведений серия Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62 (12). - С. 25-32
ББК 24

Рубрики: Химические науки

Кл.слова (ненормированные):
детонационный наноалмаз -- примесная подсистема -- примесные атомы -- масс-спектроскопия десорбитованных веществ
Аннотация: В работе представлены результаты целенаправленного воздействия на примесную подсистему детонационных наноалмазов (ДНА) (ФНПЦ "Алтай")активными металлами и смесями металлов никеля и алюминия.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Плотников, В.А.
Макаров, С.В.
Богданов, А.С.
Чепуров, А.А.

24
В 49

Винокуров, Е. Г.
    Внутренние напряжения хромовых покрытий, электроосажденных из растворов солей хрома (Ш) [Текст] / Е. Г. Винокуров // Известия высших учебных заведений серия Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62 (12). - С. 33-38
ББК 24

Рубрики: Химические науки

Кл.слова (ненормированные):
внутренние напряжения -- износ -- твердость -- физико-механические свойства -- хорм -- хромирование -- электролиты на основе соединений
Аннотация: Получены данные о внутрених напряжениях, возникающих в покрытиях хромом, электроосажденнных из растворов на основе сульфата трехвалентного хрома. При малых толщинах (до 1- мкм) покрытия характеризуются внутренними напряжениями растяжения, величина которых составляет 250-300 МПа и мало зависят от плотности тока и рН раствора.
Держатели документа:
ЗКГУ

Винокуров, Е.Г. Внутренние напряжения хромовых покрытий, электроосажденных из растворов солей хрома (Ш) [Текст] / Е. Г. Винокуров // Известия высших учебных заведений серия Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62 (12).- С.33-38

95.

Винокуров, Е.Г. Внутренние напряжения хромовых покрытий, электроосажденных из растворов солей хрома (Ш) [Текст] / Е. Г. Винокуров // Известия высших учебных заведений серия Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62 (12).- С.33-38


24
В 49

Винокуров, Е. Г.
    Внутренние напряжения хромовых покрытий, электроосажденных из растворов солей хрома (Ш) [Текст] / Е. Г. Винокуров // Известия высших учебных заведений серия Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62 (12). - С. 33-38
ББК 24

Рубрики: Химические науки

Кл.слова (ненормированные):
внутренние напряжения -- износ -- твердость -- физико-механические свойства -- хорм -- хромирование -- электролиты на основе соединений
Аннотация: Получены данные о внутрених напряжениях, возникающих в покрытиях хромом, электроосажденнных из растворов на основе сульфата трехвалентного хрома. При малых толщинах (до 1- мкм) покрытия характеризуются внутренними напряжениями растяжения, величина которых составляет 250-300 МПа и мало зависят от плотности тока и рН раствора.
Держатели документа:
ЗКГУ

24
К 83

Кропачева, О. И.
    Особенности агрегирования молекул блок-сополимера на основе стирола и полиэтиленгликоля в растворах [Текст] / О. И. Кропачева, Д. В. Вавиолва // Известия высших учебных заведений серия Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62 (12). - С. 65-70
ББК 24

Рубрики: Химические науки

Кл.слова (ненормированные):
блок-сополимер -- полистирол -- полиэтиленгликоль -- мицеллы -- стабилизация
Аннотация: Данная статья посвящена изучению поведения молекул блок-сополимера на основе стирола и полиэтиленгликоля в среде толуола. Уникальным свойством блок-сополимеров является способность химически разнородных блоков к пространственному разделению, что выражается в микрофазовом расслоении системы
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Вавилова, Д.В.

Кропачева, О.И. Особенности агрегирования молекул блок-сополимера на основе стирола и полиэтиленгликоля в растворах [Текст] / О. И. Кропачева, Д. В. Вавиолва // Известия высших учебных заведений серия Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62 (12).- С.65-70

96.

Кропачева, О.И. Особенности агрегирования молекул блок-сополимера на основе стирола и полиэтиленгликоля в растворах [Текст] / О. И. Кропачева, Д. В. Вавиолва // Известия высших учебных заведений серия Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62 (12).- С.65-70


24
К 83

Кропачева, О. И.
    Особенности агрегирования молекул блок-сополимера на основе стирола и полиэтиленгликоля в растворах [Текст] / О. И. Кропачева, Д. В. Вавиолва // Известия высших учебных заведений серия Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62 (12). - С. 65-70
ББК 24

Рубрики: Химические науки

Кл.слова (ненормированные):
блок-сополимер -- полистирол -- полиэтиленгликоль -- мицеллы -- стабилизация
Аннотация: Данная статья посвящена изучению поведения молекул блок-сополимера на основе стирола и полиэтиленгликоля в среде толуола. Уникальным свойством блок-сополимеров является способность химически разнородных блоков к пространственному разделению, что выражается в микрофазовом расслоении системы
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Вавилова, Д.В.

24
В 67

Волкова, Г. И.
    Изменение структурных параметров асфальтенов под влиянием ультразвуковых волн [Текст] / Г. И. Волкова, Т. В. Калинина // Известия высших учебных заведений серия Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62 (12). - С. 71-77
ББК 24

Рубрики: Химические науки

Кл.слова (ненормированные):
асфальтены -- ультразвуковая обработка -- микроскопия -- структурно-групповой анализ -- агрегативная устойчивость
Аннотация: Статья посвящена исследованию влияния ультразвуковых волн на структурные характеристики асфальтенов, выделенных "холодным" способом Гольде из нефти Усинского месторождения.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Калинина, Т.В.
Морозова, А.В.

Волкова, Г.И. Изменение структурных параметров асфальтенов под влиянием ультразвуковых волн [Текст] / Г. И. Волкова, Т. В. Калинина // Известия высших учебных заведений серия Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62 (12).- С.71-77

97.

Волкова, Г.И. Изменение структурных параметров асфальтенов под влиянием ультразвуковых волн [Текст] / Г. И. Волкова, Т. В. Калинина // Известия высших учебных заведений серия Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62 (12).- С.71-77


24
В 67

Волкова, Г. И.
    Изменение структурных параметров асфальтенов под влиянием ультразвуковых волн [Текст] / Г. И. Волкова, Т. В. Калинина // Известия высших учебных заведений серия Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62 (12). - С. 71-77
ББК 24

Рубрики: Химические науки

Кл.слова (ненормированные):
асфальтены -- ультразвуковая обработка -- микроскопия -- структурно-групповой анализ -- агрегативная устойчивость
Аннотация: Статья посвящена исследованию влияния ультразвуковых волн на структурные характеристики асфальтенов, выделенных "холодным" способом Гольде из нефти Усинского месторождения.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Калинина, Т.В.
Морозова, А.В.

24
Д 18

Данилов, В. А.
    Модификация олигоэфирмалеинатов алкиловыми эфирами N - малеинимидобензойной кислоты [Текст] / В. А. Данилов // Известия высших учебных заведений серия Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62 (12). - С. 78-84
ББК 24

Рубрики: Химические науки

Кл.слова (ненормированные):
ненасыщенный полиэфир -- модификация -- сополимеризация -- свойства сополимеров -- малеинимиды
Аннотация: При использовании изделий из ненасыщенных полиэфирных смол (НПС) часто выдвигаются повышенные требования к термической и химической стойкости. Повышение термостойкости НПС возможно за счет модификации смол полимеризационноспособными соединениями, которые могут сополимеризоваться как с олигоэфирмалеинатом, так и состиролом
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Колямшин, О.А.
Темникова, Н.Е.
Колпакова, М.В.
Стоянов, О.В.

Данилов, В.А. Модификация олигоэфирмалеинатов алкиловыми эфирами N - малеинимидобензойной кислоты [Текст] / В. А. Данилов // Известия высших учебных заведений серия Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62 (12).- С.78-84

98.

Данилов, В.А. Модификация олигоэфирмалеинатов алкиловыми эфирами N - малеинимидобензойной кислоты [Текст] / В. А. Данилов // Известия высших учебных заведений серия Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62 (12).- С.78-84


24
Д 18

Данилов, В. А.
    Модификация олигоэфирмалеинатов алкиловыми эфирами N - малеинимидобензойной кислоты [Текст] / В. А. Данилов // Известия высших учебных заведений серия Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62 (12). - С. 78-84
ББК 24

Рубрики: Химические науки

Кл.слова (ненормированные):
ненасыщенный полиэфир -- модификация -- сополимеризация -- свойства сополимеров -- малеинимиды
Аннотация: При использовании изделий из ненасыщенных полиэфирных смол (НПС) часто выдвигаются повышенные требования к термической и химической стойкости. Повышение термостойкости НПС возможно за счет модификации смол полимеризационноспособными соединениями, которые могут сополимеризоваться как с олигоэфирмалеинатом, так и состиролом
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Колямшин, О.А.
Темникова, Н.Е.
Колпакова, М.В.
Стоянов, О.В.

24
Р 82

Рублева, Н. В.
    Получение нанокристаллической целлюлозы гидролизом в смеси соляной и азотной кислот [Текст] / Н. В. Рублева, Е. О. Лебедева [и др.] // Известия высших учебных заведений серия Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62 (12). - С. 85-94
ББК 24

Рубрики: Химические науки

Кл.слова (ненормированные):
нанокристаллы целлюлозы -- гидротермальный метод -- физико-химические -- свойства -- термическая устойчивость
Аннотация: В работе применен гидротермальный метод получения нанокристаллической целлюлозы (НКЦ) в смеси соляной и азотной кислот при молярном соотношении 8:2, 7:3, 6:4 и 5:5. Гидролиз сульфатной целлюлозы в смеси азотной и соляной кислот проводили в герметичном толстостенном сосуде из нержавеющей стали с тефлоновым вкладышем в течение 3 ч при 110 °С. Свойства НКЦ охарактеризованы с использованием различных методов: элементного анализа, термогравиметрического анализа, ИК спектроскопии, поляризационной оптической и электронной сканирующей микроскопии, метода динамического рассеяния света. Определен выход НКЦ, размер и заряд частиц, степень полимеризации, температура термодеструкции, изучена морфология образцов. Самый высокий выход (32 %) наблюдается при соотношении соляной и азотной кислот 7:3. Найдено, что частицы НКЦ имеют сферическую форму со средним размером 60-80 нм. Сделано предположение, что в присутствии сильного окислителя происходит гидролиз не только аморфных областей целлюлозы, но и частично кристаллических, что сказывается на конечной форме частиц НКЦ. Показано, что гидролиз в смеси соляной и азотной кислот вызывает окисление первичных гидроксильных групп пиранозного кольца целлюлозы и образование поверхностных карбоксильных групп. Водные суспензии НКЦ демонстрируют высокую коллоидную стабильность вследствие достаточно большого поверхностного заряда. Отмечается значительное повышение термической устойчивости НКЦ по сравнению с образцом НКЦ, полученным стандартным сернокислотным гидролизом: температура термического разложения увеличивается на 130-148 °С.
Доп.точки доступа:
Лебедева, Е.О.
Афинеевский, А.В.
Воронова, М.И.
Суров, О.В.
Захаров, А.Г.

Рублева, Н.В. Получение нанокристаллической целлюлозы гидролизом в смеси соляной и азотной кислот [Текст] / Н. В. Рублева, Е. О. Лебедева [и др.] // Известия высших учебных заведений серия Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62 (12).- С.85-94

99.

Рублева, Н.В. Получение нанокристаллической целлюлозы гидролизом в смеси соляной и азотной кислот [Текст] / Н. В. Рублева, Е. О. Лебедева [и др.] // Известия высших учебных заведений серия Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62 (12).- С.85-94


24
Р 82

Рублева, Н. В.
    Получение нанокристаллической целлюлозы гидролизом в смеси соляной и азотной кислот [Текст] / Н. В. Рублева, Е. О. Лебедева [и др.] // Известия высших учебных заведений серия Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62 (12). - С. 85-94
ББК 24

Рубрики: Химические науки

Кл.слова (ненормированные):
нанокристаллы целлюлозы -- гидротермальный метод -- физико-химические -- свойства -- термическая устойчивость
Аннотация: В работе применен гидротермальный метод получения нанокристаллической целлюлозы (НКЦ) в смеси соляной и азотной кислот при молярном соотношении 8:2, 7:3, 6:4 и 5:5. Гидролиз сульфатной целлюлозы в смеси азотной и соляной кислот проводили в герметичном толстостенном сосуде из нержавеющей стали с тефлоновым вкладышем в течение 3 ч при 110 °С. Свойства НКЦ охарактеризованы с использованием различных методов: элементного анализа, термогравиметрического анализа, ИК спектроскопии, поляризационной оптической и электронной сканирующей микроскопии, метода динамического рассеяния света. Определен выход НКЦ, размер и заряд частиц, степень полимеризации, температура термодеструкции, изучена морфология образцов. Самый высокий выход (32 %) наблюдается при соотношении соляной и азотной кислот 7:3. Найдено, что частицы НКЦ имеют сферическую форму со средним размером 60-80 нм. Сделано предположение, что в присутствии сильного окислителя происходит гидролиз не только аморфных областей целлюлозы, но и частично кристаллических, что сказывается на конечной форме частиц НКЦ. Показано, что гидролиз в смеси соляной и азотной кислот вызывает окисление первичных гидроксильных групп пиранозного кольца целлюлозы и образование поверхностных карбоксильных групп. Водные суспензии НКЦ демонстрируют высокую коллоидную стабильность вследствие достаточно большого поверхностного заряда. Отмечается значительное повышение термической устойчивости НКЦ по сравнению с образцом НКЦ, полученным стандартным сернокислотным гидролизом: температура термического разложения увеличивается на 130-148 °С.
Доп.точки доступа:
Лебедева, Е.О.
Афинеевский, А.В.
Воронова, М.И.
Суров, О.В.
Захаров, А.Г.

24
Е 92

Ефремов, А. М.
    Параметры и состав плазмы CF4 + O2 + Ar И CHF3 + O2 +Ar в процессах реактивно-ионного травления [Текст] / А. М. Ефремов // Известия высших учебных заведений серия Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62 (12). - С. 108-118
ББК 24

Рубрики: Химические науки

Кл.слова (ненормированные):
реактивно-ионное травление -- плазма -- ионизациядиссоциация -- полимеризация -- кинетика -- механизм
Аннотация: Проведен сравнительный анализ плазменных систем CF4+O2+Ar и CHF3+O2+Ar в условиях, характерных для процессов реактивно-ионного травления кремния и его соединений. Данные по внутренним параметрам плазмы, кинетике плазмохимических процессов и стационарному составу газовой фазы были получены при анализе описания диагностики плазмы зондами Лангмюра и 0-мерной (глобальной) модели плазмы. Как описано в литературе, условия эксперимента и моделирования соответствовали постоянным значениям общего давления плазмообразующего газа, вкладываемой мощности и мощности смещения. В результате выполнения работы: 1) установлены механизмы влияния кислорода на стационарные концентрации активных частиц через кинетику процессов при электронном ударе и реакции атомно-молекулярного взаимодействия; 2) выявлены особенности кинетики атомов фтора и фторуглеродных радикалов, формирующих химическую активность и полимеризационную нагрузку плазмы на контактирующие с ней поверхности и 3) проведен модельный анализ кинетики гетерогенных процессов (травление, полимеризация, деструкция полимерной пленки), определяющих режим травления и его выходные характеристики. Установлено, что замещение аргона на кислород в обеих смесях: 1) приводит к монотонному росту концентрации атомов фтора; 2) сопровождается снижением полимеризационной нагрузки газовой фазы на контактирующие с ней поверхности и 3) вызывает резкое (до двух порядков величины при ~ 20% О2) уменьшение толщины фторуглеродной полимерной пленки при сохранении более высоких значений для системы CHF3+O2+Ar.
Держатели документа:
ЗКГУ

Ефремов, А.М. Параметры и состав плазмы CF4 + O2 + Ar И CHF3 + O2 +Ar в процессах реактивно-ионного травления [Текст] / А. М. Ефремов // Известия высших учебных заведений серия Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62 (12).- С.108-118

100.

Ефремов, А.М. Параметры и состав плазмы CF4 + O2 + Ar И CHF3 + O2 +Ar в процессах реактивно-ионного травления [Текст] / А. М. Ефремов // Известия высших учебных заведений серия Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62 (12).- С.108-118


24
Е 92

Ефремов, А. М.
    Параметры и состав плазмы CF4 + O2 + Ar И CHF3 + O2 +Ar в процессах реактивно-ионного травления [Текст] / А. М. Ефремов // Известия высших учебных заведений серия Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62 (12). - С. 108-118
ББК 24

Рубрики: Химические науки

Кл.слова (ненормированные):
реактивно-ионное травление -- плазма -- ионизациядиссоциация -- полимеризация -- кинетика -- механизм
Аннотация: Проведен сравнительный анализ плазменных систем CF4+O2+Ar и CHF3+O2+Ar в условиях, характерных для процессов реактивно-ионного травления кремния и его соединений. Данные по внутренним параметрам плазмы, кинетике плазмохимических процессов и стационарному составу газовой фазы были получены при анализе описания диагностики плазмы зондами Лангмюра и 0-мерной (глобальной) модели плазмы. Как описано в литературе, условия эксперимента и моделирования соответствовали постоянным значениям общего давления плазмообразующего газа, вкладываемой мощности и мощности смещения. В результате выполнения работы: 1) установлены механизмы влияния кислорода на стационарные концентрации активных частиц через кинетику процессов при электронном ударе и реакции атомно-молекулярного взаимодействия; 2) выявлены особенности кинетики атомов фтора и фторуглеродных радикалов, формирующих химическую активность и полимеризационную нагрузку плазмы на контактирующие с ней поверхности и 3) проведен модельный анализ кинетики гетерогенных процессов (травление, полимеризация, деструкция полимерной пленки), определяющих режим травления и его выходные характеристики. Установлено, что замещение аргона на кислород в обеих смесях: 1) приводит к монотонному росту концентрации атомов фтора; 2) сопровождается снижением полимеризационной нагрузки газовой фазы на контактирующие с ней поверхности и 3) вызывает резкое (до двух порядков величины при ~ 20% О2) уменьшение толщины фторуглеродной полимерной пленки при сохранении более высоких значений для системы CHF3+O2+Ar.
Держатели документа:
ЗКГУ

Page 10, Results: 172

 

All acquisitions for 
Or select a month