Электронный каталог


 

База данных: Статьи

Страница 4, Результатов: 39

Отмеченные записи: 0

24
L58

Łęska , B.
    Structure and electrochemical reactivity of si-organic compounds monolayers adsorbed on silver surface [Текст] / B. Łęska , A. Tukibayeva, N. Kalieva // Известия национальной академии наук Республики Казахстан. - 2018. - №3. - С. 20-27. - (Серия Химии и технологии)
ББК 24

Рубрики: Химические наука

Кл.слова (ненормированные):
самоорганизующиеся монослои -- кремнийорганические соединения -- поверхность серебряного электрода -- адсорбция -- электрохимическая активность
Аннотация: В данной статье даны результаты по исследованию структуры и электрохимической реакционной способности монослоев кремнийорганических соединений, адсорбированных на поверхности серебра. Компактные силоксановые пленки, вызывающие ингибирующее воздействие на электровосстановление пропиленкарбоната, а также осаждение Li на серебряном электроде, были получены с 3- [Трис (2-метоксиэтокси) силил] пропантиолом (SICC). Нами также получены4,7-диазагептил-триметоксисилан (SINN) и винилтрикоксисилана (SIDD), которые могут быть интересны с точки зрения предотвращения коррозии. В работе представлены результаты исследовании электрохимического поведения этих соединений на поверхности серебра. Были рассчитаны и визуализированы структуры SICC, SINN и SIDD и их комплексы с катионами на поверхности серебра полуэмпирическим методом AM1d. Обсуждены структуры молекул SiCC, SINN и SIDD и их комплексов в растворе и после процесса адсорбции на Ag. Некоторые из полуэмпирических вычисленных величин HOF (теплоты образования) для некомплексных и комплексных видов и различий между ними (ΔHOF) расчитаны PM5 методом. Эти значения показывают образования 1: 1 комплексов SiDD с катионом Li+ и 1: 7-8 SiNN с катионами Li+ .Соответствующие расчеты ΔHOF в предположении, что эти молекулы связаны посредством координационных взаимодействий между поверхностью Ag и электронно-одиночной парой на атоме ωN SiDD или π-электронами виниловой группы SiNN, привели к отрицательным значениям ΔHOF и показали, что этот вид взаимодействия весьма вероятен.Рассчитанные расстояния между атомами Ag с поверхности и соответствующей координирующий N атомом или винильной группой в SiDDи SiNN молекулах составляют 2,35 и 2,50 Å, соответственно. Погружение серебра в растворыSiCC, SiNN и SiDD в пропиленкарбонате приводит к образованию хорошо упорядоченных и электрохимически неактивных самоорганизующихся монослоев. Расчеты AM1d показывают, что молекулы SiCC, SiNN и SiDD физически адсорбируются атомами серебра поверхности.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Tukibayeva, A.
Kalieva, N.

Łęska , B. Structure and electrochemical reactivity of si-organic compounds monolayers adsorbed on silver surface [Текст] / B. Łęska , A. Tukibayeva, N. Kalieva // Известия национальной академии наук Республики Казахстан. - 2018. - №3.- С.20-27

31.

Łęska , B. Structure and electrochemical reactivity of si-organic compounds monolayers adsorbed on silver surface [Текст] / B. Łęska , A. Tukibayeva, N. Kalieva // Известия национальной академии наук Республики Казахстан. - 2018. - №3.- С.20-27


24
L58

Łęska , B.
    Structure and electrochemical reactivity of si-organic compounds monolayers adsorbed on silver surface [Текст] / B. Łęska , A. Tukibayeva, N. Kalieva // Известия национальной академии наук Республики Казахстан. - 2018. - №3. - С. 20-27. - (Серия Химии и технологии)
ББК 24

Рубрики: Химические наука

Кл.слова (ненормированные):
самоорганизующиеся монослои -- кремнийорганические соединения -- поверхность серебряного электрода -- адсорбция -- электрохимическая активность
Аннотация: В данной статье даны результаты по исследованию структуры и электрохимической реакционной способности монослоев кремнийорганических соединений, адсорбированных на поверхности серебра. Компактные силоксановые пленки, вызывающие ингибирующее воздействие на электровосстановление пропиленкарбоната, а также осаждение Li на серебряном электроде, были получены с 3- [Трис (2-метоксиэтокси) силил] пропантиолом (SICC). Нами также получены4,7-диазагептил-триметоксисилан (SINN) и винилтрикоксисилана (SIDD), которые могут быть интересны с точки зрения предотвращения коррозии. В работе представлены результаты исследовании электрохимического поведения этих соединений на поверхности серебра. Были рассчитаны и визуализированы структуры SICC, SINN и SIDD и их комплексы с катионами на поверхности серебра полуэмпирическим методом AM1d. Обсуждены структуры молекул SiCC, SINN и SIDD и их комплексов в растворе и после процесса адсорбции на Ag. Некоторые из полуэмпирических вычисленных величин HOF (теплоты образования) для некомплексных и комплексных видов и различий между ними (ΔHOF) расчитаны PM5 методом. Эти значения показывают образования 1: 1 комплексов SiDD с катионом Li+ и 1: 7-8 SiNN с катионами Li+ .Соответствующие расчеты ΔHOF в предположении, что эти молекулы связаны посредством координационных взаимодействий между поверхностью Ag и электронно-одиночной парой на атоме ωN SiDD или π-электронами виниловой группы SiNN, привели к отрицательным значениям ΔHOF и показали, что этот вид взаимодействия весьма вероятен.Рассчитанные расстояния между атомами Ag с поверхности и соответствующей координирующий N атомом или винильной группой в SiDDи SiNN молекулах составляют 2,35 и 2,50 Å, соответственно. Погружение серебра в растворыSiCC, SiNN и SiDD в пропиленкарбонате приводит к образованию хорошо упорядоченных и электрохимически неактивных самоорганизующихся монослоев. Расчеты AM1d показывают, что молекулы SiCC, SiNN и SiDD физически адсорбируются атомами серебра поверхности.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Tukibayeva, A.
Kalieva, N.


Яр-Мухамедова, Г.
    Влияние трения на фазовые прревращения в поверхностных слоях композиционных пленок / Г. Яр-Мухамедова // "НАЙНАР" УНИВЕРСИТЕТIНI_ ХАБАРШЫСЫ. - 2001. - #1.-С.85-88.

Рубрики: Физическая химия.Химическая физика--РК

Кл.слова (ненормированные):
РК -- Композиционные пленки -- Трение

Яр-Мухамедова, Г. Влияние трения на фазовые прревращения в поверхностных слоях композиционных пленок [Текст] / Г. Яр-Мухамедова // "НАЙНАР" УНИВЕРСИТЕТIНI_ ХАБАРШЫСЫ. - 2001. - #1.-С.85-88.

32.

Яр-Мухамедова, Г. Влияние трения на фазовые прревращения в поверхностных слоях композиционных пленок [Текст] / Г. Яр-Мухамедова // "НАЙНАР" УНИВЕРСИТЕТIНI_ ХАБАРШЫСЫ. - 2001. - #1.-С.85-88.



Яр-Мухамедова, Г.
    Влияние трения на фазовые прревращения в поверхностных слоях композиционных пленок / Г. Яр-Мухамедова // "НАЙНАР" УНИВЕРСИТЕТIНI_ ХАБАРШЫСЫ. - 2001. - #1.-С.85-88.

Рубрики: Физическая химия.Химическая физика--РК

Кл.слова (ненормированные):
РК -- Композиционные пленки -- Трение

36.86
К 88

Куанышбеков, Н. Г.
    Исследование влияния биоупаковок на качество и сроки хранения продуктов питания [Текст] / Н. Г. Куанышбеков, Э. Б. Аскарбеков // Ізденіс. - 2020. - №4. - С. 221-227
ББК 36.86

Рубрики: Кондитерское производство

Кл.слова (ненормированные):
биоупаковки -- экологические упаковки -- пленки -- хранения сырья -- упаковочные материалы -- экологические проекты -- экологические технологии -- биопластики
Аннотация: В статье рассматриваются информации о биоразлагаемых упаковок, их применения, разложения и безопасность для окружающей среды.
Держатели документа:
ЗКУ
Доп.точки доступа:
Аскарбеков, Э.Б.

Куанышбеков, Н.Г. Исследование влияния биоупаковок на качество и сроки хранения продуктов питания [Текст] / Н. Г. Куанышбеков, Э. Б. Аскарбеков // Ізденіс. - 2020. - №4.- С.221-227

33.

Куанышбеков, Н.Г. Исследование влияния биоупаковок на качество и сроки хранения продуктов питания [Текст] / Н. Г. Куанышбеков, Э. Б. Аскарбеков // Ізденіс. - 2020. - №4.- С.221-227


36.86
К 88

Куанышбеков, Н. Г.
    Исследование влияния биоупаковок на качество и сроки хранения продуктов питания [Текст] / Н. Г. Куанышбеков, Э. Б. Аскарбеков // Ізденіс. - 2020. - №4. - С. 221-227
ББК 36.86

Рубрики: Кондитерское производство

Кл.слова (ненормированные):
биоупаковки -- экологические упаковки -- пленки -- хранения сырья -- упаковочные материалы -- экологические проекты -- экологические технологии -- биопластики
Аннотация: В статье рассматриваются информации о биоразлагаемых упаковок, их применения, разложения и безопасность для окружающей среды.
Держатели документа:
ЗКУ
Доп.точки доступа:
Аскарбеков, Э.Б.

5
К 73

Котлярова, М. С.
    Фотоотверждаемые пленки на основ фиброина и желатина для регенерации кожных покровов [Текст] / М. С. Котлярова, А. С. Солдатенко [и др.] // Вестник Московского университета. - 2020. - №1 Январь-Март. - С. 23-30.
ББК 5

Рубрики: Медицина

Кл.слова (ненормированные):
Раневые покрытия -- фиброин -- метакрилированный желатин -- фотополимеризация -- кератиноциты -- фибробласты -- тканевая инженерия
Аннотация: В данной работе были созданы фотополимеризуемые пленки на основе фиброина шелка и метакрилированного желатина (Ф-МЖ). В ходе исследования in vitro было выявлено, что использование пленок в качестве субстрата для культивирования фибробластов NIH 3T3 и кераиноцитов НаСаТ приходит к изменению кинетики роста клеток. Оценка влияния полученных пленок на регенерацию кожи была произведена in vivo в модели полнослойной раны кожи мыши
Держатели документа:
ЗКУ
Доп.точки доступа:
Солдатенко, А.С.
Архипова, А.Ю.
Бессонов, И.В.
Давыдова, Л.И.

Котлярова, М.С. Фотоотверждаемые пленки на основ фиброина и желатина для регенерации кожных покровов [Текст] / М. С. Котлярова, А. С. Солдатенко [и др.] // Вестник Московского университета. - 2020. - №1 Январь-Март.- С.23-30.

34.

Котлярова, М.С. Фотоотверждаемые пленки на основ фиброина и желатина для регенерации кожных покровов [Текст] / М. С. Котлярова, А. С. Солдатенко [и др.] // Вестник Московского университета. - 2020. - №1 Январь-Март.- С.23-30.


5
К 73

Котлярова, М. С.
    Фотоотверждаемые пленки на основ фиброина и желатина для регенерации кожных покровов [Текст] / М. С. Котлярова, А. С. Солдатенко [и др.] // Вестник Московского университета. - 2020. - №1 Январь-Март. - С. 23-30.
ББК 5

Рубрики: Медицина

Кл.слова (ненормированные):
Раневые покрытия -- фиброин -- метакрилированный желатин -- фотополимеризация -- кератиноциты -- фибробласты -- тканевая инженерия
Аннотация: В данной работе были созданы фотополимеризуемые пленки на основе фиброина шелка и метакрилированного желатина (Ф-МЖ). В ходе исследования in vitro было выявлено, что использование пленок в качестве субстрата для культивирования фибробластов NIH 3T3 и кераиноцитов НаСаТ приходит к изменению кинетики роста клеток. Оценка влияния полученных пленок на регенерацию кожи была произведена in vivo в модели полнослойной раны кожи мыши
Держатели документа:
ЗКУ
Доп.точки доступа:
Солдатенко, А.С.
Архипова, А.Ю.
Бессонов, И.В.
Давыдова, Л.И.

24
C51


    Chemical deposition of bismuth iodide sulfide semiconductor thin films [Текст] / D. Puzikova, M. B. Dergacheva, G. M. Khusurova [и др.] // Доклады национальной академии наук Республики Казахстан. - 2021. - №5. - Р. 100-108
ББК 24

Рубрики: Химия

Кл.слова (ненормированные):
фотоэлектрохимические ячейки -- тонкие пленки -- тиоиодид висмута -- сульфид иодид висмута -- преобразование солнечной энергии
Аннотация: Полупроводниковые соединения играют важнейшую роль в приборах, преобразующих солнечную энергию в электричество. В данной статье рассмотрен метод химического осаждения полупроводниковых тонких пленок сульфид иодид висмута для применения в качестве фотоанода в фотоэлектрохимических ячейках. Исследовано влияние продолжительности процесса химического осаждения и добавки поливинилпирролидона на морфологию, элементный состав, толщину полученных плёнок. Результаты фотоэлектрохимических исследований показали, что полученный полупроводник характеризуется проводимостью n-типа. Фотоотклик подтверждает возможность дальнейшего использования n-BiSI в качестве альтернативного тонкопленочного материала в фотоэлектрохимических солнечных элементах.
Держатели документа:
ЗКУ
Доп.точки доступа:
Puzikova, D.
Dergacheva, M. B.
Khusurova, G. M.
Leontyeva, X. A.
Panchenko, P. V.

Chemical deposition of bismuth iodide sulfide semiconductor thin films [Текст] / D. Puzikova, M. B. Dergacheva, G. M. Khusurova [и др.] // Доклады национальной академии наук Республики Казахстан. - 2021. - №5.- Р.100-108

35.

Chemical deposition of bismuth iodide sulfide semiconductor thin films [Текст] / D. Puzikova, M. B. Dergacheva, G. M. Khusurova [и др.] // Доклады национальной академии наук Республики Казахстан. - 2021. - №5.- Р.100-108


24
C51


    Chemical deposition of bismuth iodide sulfide semiconductor thin films [Текст] / D. Puzikova, M. B. Dergacheva, G. M. Khusurova [и др.] // Доклады национальной академии наук Республики Казахстан. - 2021. - №5. - Р. 100-108
ББК 24

Рубрики: Химия

Кл.слова (ненормированные):
фотоэлектрохимические ячейки -- тонкие пленки -- тиоиодид висмута -- сульфид иодид висмута -- преобразование солнечной энергии
Аннотация: Полупроводниковые соединения играют важнейшую роль в приборах, преобразующих солнечную энергию в электричество. В данной статье рассмотрен метод химического осаждения полупроводниковых тонких пленок сульфид иодид висмута для применения в качестве фотоанода в фотоэлектрохимических ячейках. Исследовано влияние продолжительности процесса химического осаждения и добавки поливинилпирролидона на морфологию, элементный состав, толщину полученных плёнок. Результаты фотоэлектрохимических исследований показали, что полученный полупроводник характеризуется проводимостью n-типа. Фотоотклик подтверждает возможность дальнейшего использования n-BiSI в качестве альтернативного тонкопленочного материала в фотоэлектрохимических солнечных элементах.
Держатели документа:
ЗКУ
Доп.точки доступа:
Puzikova, D.
Dergacheva, M. B.
Khusurova, G. M.
Leontyeva, X. A.
Panchenko, P. V.

35
Р 27

Рахимова, А. К.
    Полимерные пленки PEDOT: PSS, полученные методом центрифугирования. [Текст] / А. К. Рахимова, С. Айт, К. А. Уразов // Известия НАН РК . - 2021. - №4. - С. 48-52
ББК 35

Рубрики: Химическая технология

Кл.слова (ненормированные):
проводящий полимер -- PEDOT:PSS -- тонкая пленка -- фотоэлектрохимия -- метод центрифугирования
Аннотация: получены полимерные пленки PEDOT:PSS методомцентрифугирования (spin-coating), которые обладают полупроводниковыми свойствами. Определено влияние скорости вращения на качество получаемых пленок. Методом атомно-силовой микроскопии определеныморфология поверхности и параметры шероховатости исследуемых пленок. Показано, что все пленки PEDOT:PSS, полученные при разных скоростях вращения, обладают хорошей пропускной способностью. Исследование фотоэлектрохимическим методом анализа показало, что пленки проявляют фотосвойства.
Держатели документа:
ЗКУ
Доп.точки доступа:
Айт, С.
Уразов, К.А.

Рахимова, А.К. Полимерные пленки PEDOT: PSS, полученные методом центрифугирования. [Текст] / А. К. Рахимова, С. Айт, К. А. Уразов // Известия НАН РК . - 2021. - №4.- С.48-52

36.

Рахимова, А.К. Полимерные пленки PEDOT: PSS, полученные методом центрифугирования. [Текст] / А. К. Рахимова, С. Айт, К. А. Уразов // Известия НАН РК . - 2021. - №4.- С.48-52


35
Р 27

Рахимова, А. К.
    Полимерные пленки PEDOT: PSS, полученные методом центрифугирования. [Текст] / А. К. Рахимова, С. Айт, К. А. Уразов // Известия НАН РК . - 2021. - №4. - С. 48-52
ББК 35

Рубрики: Химическая технология

Кл.слова (ненормированные):
проводящий полимер -- PEDOT:PSS -- тонкая пленка -- фотоэлектрохимия -- метод центрифугирования
Аннотация: получены полимерные пленки PEDOT:PSS методомцентрифугирования (spin-coating), которые обладают полупроводниковыми свойствами. Определено влияние скорости вращения на качество получаемых пленок. Методом атомно-силовой микроскопии определеныморфология поверхности и параметры шероховатости исследуемых пленок. Показано, что все пленки PEDOT:PSS, полученные при разных скоростях вращения, обладают хорошей пропускной способностью. Исследование фотоэлектрохимическим методом анализа показало, что пленки проявляют фотосвойства.
Держатели документа:
ЗКУ
Доп.точки доступа:
Айт, С.
Уразов, К.А.

35
С 16

Салахова, Э. А.
    Электрохимическое получение и морфология нанопокрытий сплавов в системе Re-Cu-Se. [Текст] / Э. А. Салахова, Д. Б. Тагиев, М. А. Рамазанов, З. А. Агамалиев [и др.] // Известия высших учебных заведений . - 2021. - Т.64. Вып.2. - С. 34-40
ББК 35

Рубрики: Химическая технология

Кл.слова (ненормированные):
электроосаждение -- нанопокрытия -- халькогениды рения -- тонкие пленки -- циклическая вольтамперометрия
Аннотация: Изучено электрохимическое получение нанопокрытий сплавов в системе Re-Сu-Se на платиновом электроде при вольтамперометрическом циклировании. Исследование проводилось из сернокислого раствора, содержащего селенистую кислоту, перренат калия и медь хлористую. Для получения нанопокрытий в системе Re-Cu-Se нами был использован электролит следующего состава (моль/л): 6,9·10-4 – 6,9·10-3 KReO4 + 9·10-4 – 1,8·10-2 SeO2 +
Держатели документа:
ЗКУ
Доп.точки доступа:
Тагиев, Д.Б.
Рамазанов, М.А.
Агамалиев, З.А.
Калантарова, П.Э.
Ибрагимова, К.Ф.

Салахова, Э.А. Электрохимическое получение и морфология нанопокрытий сплавов в системе Re-Cu-Se. [Текст] / Э. А. Салахова, Д. Б. Тагиев, М. А. Рамазанов, З. А. Агамалиев [и др.] // Известия высших учебных заведений . - 2021. Т.64. Вып.2.- С.34-40

37.

Салахова, Э.А. Электрохимическое получение и морфология нанопокрытий сплавов в системе Re-Cu-Se. [Текст] / Э. А. Салахова, Д. Б. Тагиев, М. А. Рамазанов, З. А. Агамалиев [и др.] // Известия высших учебных заведений . - 2021. Т.64. Вып.2.- С.34-40


35
С 16

Салахова, Э. А.
    Электрохимическое получение и морфология нанопокрытий сплавов в системе Re-Cu-Se. [Текст] / Э. А. Салахова, Д. Б. Тагиев, М. А. Рамазанов, З. А. Агамалиев [и др.] // Известия высших учебных заведений . - 2021. - Т.64. Вып.2. - С. 34-40
ББК 35

Рубрики: Химическая технология

Кл.слова (ненормированные):
электроосаждение -- нанопокрытия -- халькогениды рения -- тонкие пленки -- циклическая вольтамперометрия
Аннотация: Изучено электрохимическое получение нанопокрытий сплавов в системе Re-Сu-Se на платиновом электроде при вольтамперометрическом циклировании. Исследование проводилось из сернокислого раствора, содержащего селенистую кислоту, перренат калия и медь хлористую. Для получения нанопокрытий в системе Re-Cu-Se нами был использован электролит следующего состава (моль/л): 6,9·10-4 – 6,9·10-3 KReO4 + 9·10-4 – 1,8·10-2 SeO2 +
Держатели документа:
ЗКУ
Доп.точки доступа:
Тагиев, Д.Б.
Рамазанов, М.А.
Агамалиев, З.А.
Калантарова, П.Э.
Ибрагимова, К.Ф.

35
Ф 31

Феофанова, М. А.
    Применение вольфрамванадиевой гетерополикислоты типа Кеггина в качестве чувствительного материала для сенсора монооксида углерода. [Текст] / М. А. Феофанова, А. С. Радин, Ю. А. Малышева, А. А. Крылов, В. М. Никольская // Известия высших учебных заведений . - 2021. - Т.64. Вып.2. - С. 62-65
ББК 35

Рубрики: Химическая технология

Кл.слова (ненормированные):
полиоксометаллаты -- гетерополисоединения -- гетерополикислоты типа Кеггина -- вольфрамванадофосфорные гетерополикислоты типа Кеггина -- электрохимические сенсоры -- сенсоры монооксида углерода -- монооксид углерода
Аннотация: Рассмотрена возможность применения вольфрамванадиевой гетерополикислоты типа Кеггина с формулой H5[PW10V2O40] в качестве чувствительного материала для разработки тонкопленочных резистометрических сенсоров на монооксид углерода. С целью проверки применимости выбранной гетерополикислоты для решения поставленной задачи были получены тонкие пленки из водного раствора вышеуказанной гетерополикислоты методом полива.
Держатели документа:
ЗКУ
Доп.точки доступа:
Радин, А.С.
Малышева, Ю.А.
Крылов, А.А.
Никольская, В.М.

Феофанова, М.А. Применение вольфрамванадиевой гетерополикислоты типа Кеггина в качестве чувствительного материала для сенсора монооксида углерода. [Текст] / М. А. Феофанова, А. С. Радин, Ю. А. Малышева, А. А. Крылов, В. М. Никольская // Известия высших учебных заведений . - 2021. Т.64. Вып.2.- С.62-65

38.

Феофанова, М.А. Применение вольфрамванадиевой гетерополикислоты типа Кеггина в качестве чувствительного материала для сенсора монооксида углерода. [Текст] / М. А. Феофанова, А. С. Радин, Ю. А. Малышева, А. А. Крылов, В. М. Никольская // Известия высших учебных заведений . - 2021. Т.64. Вып.2.- С.62-65


35
Ф 31

Феофанова, М. А.
    Применение вольфрамванадиевой гетерополикислоты типа Кеггина в качестве чувствительного материала для сенсора монооксида углерода. [Текст] / М. А. Феофанова, А. С. Радин, Ю. А. Малышева, А. А. Крылов, В. М. Никольская // Известия высших учебных заведений . - 2021. - Т.64. Вып.2. - С. 62-65
ББК 35

Рубрики: Химическая технология

Кл.слова (ненормированные):
полиоксометаллаты -- гетерополисоединения -- гетерополикислоты типа Кеггина -- вольфрамванадофосфорные гетерополикислоты типа Кеггина -- электрохимические сенсоры -- сенсоры монооксида углерода -- монооксид углерода
Аннотация: Рассмотрена возможность применения вольфрамванадиевой гетерополикислоты типа Кеггина с формулой H5[PW10V2O40] в качестве чувствительного материала для разработки тонкопленочных резистометрических сенсоров на монооксид углерода. С целью проверки применимости выбранной гетерополикислоты для решения поставленной задачи были получены тонкие пленки из водного раствора вышеуказанной гетерополикислоты методом полива.
Держатели документа:
ЗКУ
Доп.точки доступа:
Радин, А.С.
Малышева, Ю.А.
Крылов, А.А.
Никольская, В.М.

24
Е 92

Ефремов, А. М.
    Параметры плазмы и концентрации активных частиц в смесях фторуглеродных газов с аргоном и кислородом. [Текст] / А. М. Ефремов, В. Б. Бетелин, К. А. Медников, К. Н. Kwon // Известия высших учебных заведений . - 2021. - Т.64. Вып.7. - С. 46-53
ББК 24

Рубрики: Химия

Кл.слова (ненормированные):
фторуглеродные газы -- плазма -- параметры -- активные частицы -- ионизация -- диссоциация -- травление -- полимеризация
Аннотация: Проведено сравнительное исследование электрофизических параметров плазмы и стационарного состава газовой фазы в плазме индукционного ВЧ 13б56 МГц разряда в смесях CF4 + O2 + Ar, CHF3 + O2 + Ar и C4F8 + O2 + Ar. В качестве постоянных внешних параметров выступали доля фторуглеродного компонента (50%), общее давление газа (6 мтор), вкладываемая мощность (700 Вт) и мощность смещения (200 Вт). Схема исследования включала диагностику плазмы зондами Лангмюра и 0-мерное (глобальное) моделирование кинетики плазмохимических процессов. Найдено, что полимеризационная способность бескислородных (50% Ar) и кислородсодержащих (50% O2) смесей согласуется с отношением z/x в исходной молекуле CxHyFz. Замещение аргона на кислород приводит к однотипным изменениям параметров электронной и ионной компонент плазмы (температуры электронов, концентраций заряженных частиц и энергии ионной бомбардировки), всегда снижает концентрации полимеробразующих радикалов и толщину полимерной пленки, но оказывает различное влияние на кинетику атомов фтора. Увеличение доли кислорода в смесях 50% CF4 + O2 + Ar и 50% CHF3 + O2 + Ar приводит к монотонному росту концентрации атомов фтора. Механизмы этих явлений связаны с увеличением скорости генерации атомов и снижением частоты их гибели, соответственно. Добавление кислорода в системе 50% C4F8 + O2 + Ar снижает скорость генерации атомов фтора, но не приводит к заметным изменениям частот их гибели. Это соответствует монотонному снижению концентрации атомов фтора при увеличении содержания кислорода в смеси. В результате, стационарная концентрация атомов фтора в условиях 50% O2 увеличивается в ряду C4F8 - CHF3 - CF4.
Держатели документа:
ЗКУ
Доп.точки доступа:
Бетелин, В.Б.
Медников, К.А.
Kwon, К.Н.

Ефремов, А.М. Параметры плазмы и концентрации активных частиц в смесях фторуглеродных газов с аргоном и кислородом. [Текст] / А. М. Ефремов, В. Б. Бетелин, К. А. Медников, К. Н. Kwon // Известия высших учебных заведений . - 2021. Т.64. Вып.7.- С.46-53

39.

Ефремов, А.М. Параметры плазмы и концентрации активных частиц в смесях фторуглеродных газов с аргоном и кислородом. [Текст] / А. М. Ефремов, В. Б. Бетелин, К. А. Медников, К. Н. Kwon // Известия высших учебных заведений . - 2021. Т.64. Вып.7.- С.46-53


24
Е 92

Ефремов, А. М.
    Параметры плазмы и концентрации активных частиц в смесях фторуглеродных газов с аргоном и кислородом. [Текст] / А. М. Ефремов, В. Б. Бетелин, К. А. Медников, К. Н. Kwon // Известия высших учебных заведений . - 2021. - Т.64. Вып.7. - С. 46-53
ББК 24

Рубрики: Химия

Кл.слова (ненормированные):
фторуглеродные газы -- плазма -- параметры -- активные частицы -- ионизация -- диссоциация -- травление -- полимеризация
Аннотация: Проведено сравнительное исследование электрофизических параметров плазмы и стационарного состава газовой фазы в плазме индукционного ВЧ 13б56 МГц разряда в смесях CF4 + O2 + Ar, CHF3 + O2 + Ar и C4F8 + O2 + Ar. В качестве постоянных внешних параметров выступали доля фторуглеродного компонента (50%), общее давление газа (6 мтор), вкладываемая мощность (700 Вт) и мощность смещения (200 Вт). Схема исследования включала диагностику плазмы зондами Лангмюра и 0-мерное (глобальное) моделирование кинетики плазмохимических процессов. Найдено, что полимеризационная способность бескислородных (50% Ar) и кислородсодержащих (50% O2) смесей согласуется с отношением z/x в исходной молекуле CxHyFz. Замещение аргона на кислород приводит к однотипным изменениям параметров электронной и ионной компонент плазмы (температуры электронов, концентраций заряженных частиц и энергии ионной бомбардировки), всегда снижает концентрации полимеробразующих радикалов и толщину полимерной пленки, но оказывает различное влияние на кинетику атомов фтора. Увеличение доли кислорода в смесях 50% CF4 + O2 + Ar и 50% CHF3 + O2 + Ar приводит к монотонному росту концентрации атомов фтора. Механизмы этих явлений связаны с увеличением скорости генерации атомов и снижением частоты их гибели, соответственно. Добавление кислорода в системе 50% C4F8 + O2 + Ar снижает скорость генерации атомов фтора, но не приводит к заметным изменениям частот их гибели. Это соответствует монотонному снижению концентрации атомов фтора при увеличении содержания кислорода в смеси. В результате, стационарная концентрация атомов фтора в условиях 50% O2 увеличивается в ряду C4F8 - CHF3 - CF4.
Держатели документа:
ЗКУ
Доп.точки доступа:
Бетелин, В.Б.
Медников, К.А.
Kwon, К.Н.

Страница 4, Результатов: 39

 

Все поступления за 
Или выберите интересующий месяц