Электронный каталог


 

База данных: Статьи

Страница 1, Результатов: 1

Отмеченные записи: 0

24
Е 92

Ефремов, А. М.
    Параметры и состав плазмы CF4 + O2 + Ar И CHF3 + O2 +Ar в процессах реактивно-ионного травления [Текст] / А. М. Ефремов // Известия высших учебных заведений серия Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62 (12). - С. 108-118
ББК 24

Рубрики: Химические науки

Кл.слова (ненормированные):
реактивно-ионное травление -- плазма -- ионизациядиссоциация -- полимеризация -- кинетика -- механизм
Аннотация: Проведен сравнительный анализ плазменных систем CF4+O2+Ar и CHF3+O2+Ar в условиях, характерных для процессов реактивно-ионного травления кремния и его соединений. Данные по внутренним параметрам плазмы, кинетике плазмохимических процессов и стационарному составу газовой фазы были получены при анализе описания диагностики плазмы зондами Лангмюра и 0-мерной (глобальной) модели плазмы. Как описано в литературе, условия эксперимента и моделирования соответствовали постоянным значениям общего давления плазмообразующего газа, вкладываемой мощности и мощности смещения. В результате выполнения работы: 1) установлены механизмы влияния кислорода на стационарные концентрации активных частиц через кинетику процессов при электронном ударе и реакции атомно-молекулярного взаимодействия; 2) выявлены особенности кинетики атомов фтора и фторуглеродных радикалов, формирующих химическую активность и полимеризационную нагрузку плазмы на контактирующие с ней поверхности и 3) проведен модельный анализ кинетики гетерогенных процессов (травление, полимеризация, деструкция полимерной пленки), определяющих режим травления и его выходные характеристики. Установлено, что замещение аргона на кислород в обеих смесях: 1) приводит к монотонному росту концентрации атомов фтора; 2) сопровождается снижением полимеризационной нагрузки газовой фазы на контактирующие с ней поверхности и 3) вызывает резкое (до двух порядков величины при ~ 20% О2) уменьшение толщины фторуглеродной полимерной пленки при сохранении более высоких значений для системы CHF3+O2+Ar.
Держатели документа:
ЗКГУ

Ефремов, А.М. Параметры и состав плазмы CF4 + O2 + Ar И CHF3 + O2 +Ar в процессах реактивно-ионного травления [Текст] / А. М. Ефремов // Известия высших учебных заведений серия Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62 (12).- С.108-118

1.

Ефремов, А.М. Параметры и состав плазмы CF4 + O2 + Ar И CHF3 + O2 +Ar в процессах реактивно-ионного травления [Текст] / А. М. Ефремов // Известия высших учебных заведений серия Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62 (12).- С.108-118


24
Е 92

Ефремов, А. М.
    Параметры и состав плазмы CF4 + O2 + Ar И CHF3 + O2 +Ar в процессах реактивно-ионного травления [Текст] / А. М. Ефремов // Известия высших учебных заведений серия Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62 (12). - С. 108-118
ББК 24

Рубрики: Химические науки

Кл.слова (ненормированные):
реактивно-ионное травление -- плазма -- ионизациядиссоциация -- полимеризация -- кинетика -- механизм
Аннотация: Проведен сравнительный анализ плазменных систем CF4+O2+Ar и CHF3+O2+Ar в условиях, характерных для процессов реактивно-ионного травления кремния и его соединений. Данные по внутренним параметрам плазмы, кинетике плазмохимических процессов и стационарному составу газовой фазы были получены при анализе описания диагностики плазмы зондами Лангмюра и 0-мерной (глобальной) модели плазмы. Как описано в литературе, условия эксперимента и моделирования соответствовали постоянным значениям общего давления плазмообразующего газа, вкладываемой мощности и мощности смещения. В результате выполнения работы: 1) установлены механизмы влияния кислорода на стационарные концентрации активных частиц через кинетику процессов при электронном ударе и реакции атомно-молекулярного взаимодействия; 2) выявлены особенности кинетики атомов фтора и фторуглеродных радикалов, формирующих химическую активность и полимеризационную нагрузку плазмы на контактирующие с ней поверхности и 3) проведен модельный анализ кинетики гетерогенных процессов (травление, полимеризация, деструкция полимерной пленки), определяющих режим травления и его выходные характеристики. Установлено, что замещение аргона на кислород в обеих смесях: 1) приводит к монотонному росту концентрации атомов фтора; 2) сопровождается снижением полимеризационной нагрузки газовой фазы на контактирующие с ней поверхности и 3) вызывает резкое (до двух порядков величины при ~ 20% О2) уменьшение толщины фторуглеродной полимерной пленки при сохранении более высоких значений для системы CHF3+O2+Ar.
Держатели документа:
ЗКГУ

Страница 1, Результатов: 1

 

Все поступления за 
Или выберите интересующий месяц