Электронный каталог


 

База данных: Статьи

Страница 4, Результатов: 127

Отмеченные записи: 0

88.4
З-12

Забара, И. В.
    Предикторы эмоционального выгорания программистов с потребностно- технологическим отношением к профессиональной деятельности [Текст] / И. В. Забара // Высшее образование сегодня
ББК 88.4

Рубрики: Отраслевая психология

Кл.слова (ненормированные):
отношение к профессиональной деятельности -- программисты -- эмоциональное выгорание -- предикторы -- профессиональная деятельность -- Резистенция -- переживание психотравмирующих обстоятельств -- расширение сферы экономии эмоций -- эмоциональный дефицит -- истощение -- загнанность в клетку -- личностная отстраненность -- фазы -- напряжение -- удовлетворенность семейной жизни -- сохранение здоровья -- материальная обеспеченность
Аннотация: Рассматриваются особенности различных типов отношения программистов к профессио- нальной деятельности: как к ценности, как к цели, как к средству. Выделена структура отношения к профессиональной деятельности, состоящая из когнитивного, мотиваци- онного, эмоционального и поведенческого компонентов. Определено содержание ког- нитивного, мотивационного, эмоционального и поведенческого компонентов отноше- ния программистов к профессиональной деятельности. Описано ведущее содержание компонентов потребностно-технологического отношения программистов. Выявлена взаимосвязь содержания компонентов потребностно-технологического отношения с выраженностью фаз эмоционального выгорания. Показано, что у программистов с потребностно-технологическим отношением фаза «Резистенция» наиболее выражена. Определены доминирующие симптомы эмоционального выгорания программистов с потребностно-технологическим отношением. Показано, что усиление того или иного содержания когнитивного и мотивационного компонентов потребностно-технологиче- ского отношения программистов к профессиональной деятельности оказывает увели- чивающее/уменьшающее влияние на выраженность фаз эмоционального выгорания. Определены предикторы эмоционального выгорания у программистов с потребностно- технологическим отношением со стороны компонентов отношения
Держатели документа:
ЗКГУ

Забара, И. В. Предикторы эмоционального выгорания программистов с потребностно- технологическим отношением к профессиональной деятельности [Текст] / И. В. Забара // Высшее образование сегодня

31.

Забара, И. В. Предикторы эмоционального выгорания программистов с потребностно- технологическим отношением к профессиональной деятельности [Текст] / И. В. Забара // Высшее образование сегодня


88.4
З-12

Забара, И. В.
    Предикторы эмоционального выгорания программистов с потребностно- технологическим отношением к профессиональной деятельности [Текст] / И. В. Забара // Высшее образование сегодня
ББК 88.4

Рубрики: Отраслевая психология

Кл.слова (ненормированные):
отношение к профессиональной деятельности -- программисты -- эмоциональное выгорание -- предикторы -- профессиональная деятельность -- Резистенция -- переживание психотравмирующих обстоятельств -- расширение сферы экономии эмоций -- эмоциональный дефицит -- истощение -- загнанность в клетку -- личностная отстраненность -- фазы -- напряжение -- удовлетворенность семейной жизни -- сохранение здоровья -- материальная обеспеченность
Аннотация: Рассматриваются особенности различных типов отношения программистов к профессио- нальной деятельности: как к ценности, как к цели, как к средству. Выделена структура отношения к профессиональной деятельности, состоящая из когнитивного, мотиваци- онного, эмоционального и поведенческого компонентов. Определено содержание ког- нитивного, мотивационного, эмоционального и поведенческого компонентов отноше- ния программистов к профессиональной деятельности. Описано ведущее содержание компонентов потребностно-технологического отношения программистов. Выявлена взаимосвязь содержания компонентов потребностно-технологического отношения с выраженностью фаз эмоционального выгорания. Показано, что у программистов с потребностно-технологическим отношением фаза «Резистенция» наиболее выражена. Определены доминирующие симптомы эмоционального выгорания программистов с потребностно-технологическим отношением. Показано, что усиление того или иного содержания когнитивного и мотивационного компонентов потребностно-технологиче- ского отношения программистов к профессиональной деятельности оказывает увели- чивающее/уменьшающее влияние на выраженность фаз эмоционального выгорания. Определены предикторы эмоционального выгорания у программистов с потребностно- технологическим отношением со стороны компонентов отношения
Держатели документа:
ЗКГУ

22.251
А 23

Агафанов, А. В.
    Низкотемпературный синтез титаната бария в водном растворе [Текст] / А. В. Агафанов, К. В. Иванов, О. В. Алексеева // Известия высших учебных заведений. - Иваново, 2018. - №12. - С. 56-62. - (Серия химия и химическая технология)
ББК 22.251

Рубрики: Механика твердых деформируемых тел (сред)

Кл.слова (ненормированные):
титанат бария -- низкотемпературный синтез -- исследования -- суспензия -- термическая обработка -- карбонаты -- удельная площадь поверхности -- Метод сканирующей электронной микроскопии -- адсорбция -- Метод рентгенофазового анализа -- термическая обработка
Аннотация: Низкотемпературным синтезом был получен порошок титаната бария со средним размером частиц порядка 300 нм в диаметре. Методом сканирующей электронной микроскопии установлено, что в процессе обжига с ростом температуры происходит последовательное уменьшение частиц с формированием полидисперсных агрегатов. На основании данных термогравиметрического анализа синтезированного порошка, выдержанного на воздухе в течение 4 мес., показано, что наряду с низкотемпературной фазой образец содержит высокотемпературную фазу карбонатов, удаление которой происходит при ~900 °C. Сорбционные характеристики термически обработанного при различных температурах титаната бария были получены по результатам адсорбции и десорбции паров азота. Удельная площадь поверхности порошка BaTiO3 составила 76 м2/г. Обнаружено, что дальнейшая термическая обработка приводит к уменьшению удельной площади поверхности. Методом рентгенофазового анализа гидроксотитанила бария, отожженного при температурах от 120 °C до 800 °C, показано, что термическая обработка образца приводит к образованию полностью сформированной фазы титаната бария
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Иванов, К.В.
Алексеева, О.В.

Агафанов, А.В. Низкотемпературный синтез титаната бария в водном растворе [Текст] / А. В. Агафанов, К. В. Иванов, О. В. Алексеева // Известия высших учебных заведений. - Иваново, 2018. - №12.- С.56-62

32.

Агафанов, А.В. Низкотемпературный синтез титаната бария в водном растворе [Текст] / А. В. Агафанов, К. В. Иванов, О. В. Алексеева // Известия высших учебных заведений. - Иваново, 2018. - №12.- С.56-62


22.251
А 23

Агафанов, А. В.
    Низкотемпературный синтез титаната бария в водном растворе [Текст] / А. В. Агафанов, К. В. Иванов, О. В. Алексеева // Известия высших учебных заведений. - Иваново, 2018. - №12. - С. 56-62. - (Серия химия и химическая технология)
ББК 22.251

Рубрики: Механика твердых деформируемых тел (сред)

Кл.слова (ненормированные):
титанат бария -- низкотемпературный синтез -- исследования -- суспензия -- термическая обработка -- карбонаты -- удельная площадь поверхности -- Метод сканирующей электронной микроскопии -- адсорбция -- Метод рентгенофазового анализа -- термическая обработка
Аннотация: Низкотемпературным синтезом был получен порошок титаната бария со средним размером частиц порядка 300 нм в диаметре. Методом сканирующей электронной микроскопии установлено, что в процессе обжига с ростом температуры происходит последовательное уменьшение частиц с формированием полидисперсных агрегатов. На основании данных термогравиметрического анализа синтезированного порошка, выдержанного на воздухе в течение 4 мес., показано, что наряду с низкотемпературной фазой образец содержит высокотемпературную фазу карбонатов, удаление которой происходит при ~900 °C. Сорбционные характеристики термически обработанного при различных температурах титаната бария были получены по результатам адсорбции и десорбции паров азота. Удельная площадь поверхности порошка BaTiO3 составила 76 м2/г. Обнаружено, что дальнейшая термическая обработка приводит к уменьшению удельной площади поверхности. Методом рентгенофазового анализа гидроксотитанила бария, отожженного при температурах от 120 °C до 800 °C, показано, что термическая обработка образца приводит к образованию полностью сформированной фазы титаната бария
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Иванов, К.В.
Алексеева, О.В.

35.09
Л 22

Лановецкий, С. В.
    Исследование процесса обогащения отходов титанового производства [Текст] / С. В. Лановецкий, О.Г. Мелкомукова, С.Г. Худяков // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62(3). - С. 37-42
ББК 35.09

Рубрики: Отходы химических производств и их использование

Кл.слова (ненормированные):
механическая классификация -- магнитная сепарация -- титановый шла -- диоксид кремния -- диоксид титана -- химия -- исследование -- отход
Аннотация: В работе представлено исследование процесса обогащения отходов титанового производства (песчано-шлаковой смеси) методами механической и магнитной сепарации с целью уменьшения потерь полезного компонента в технологии переработки ильменитового концентрата. Состав исходной фракции исследуемой смеси и фракций, полученных в процессе механической и магнитной сепарации, оценивали при помощи рентгенофазового и рентгеноспектрального анализов. Оценку размера частиц анализируемой смеси выполняли с помощью сканирующего электронного микроскопа высокого разрешения «S-3400N» и оптического микроскопа «МБС-1» с цифровой фотокамерой Webbers MYscope 560MCCD. В результате разделения анализируемой смеси методом механической классификации показано, что фракция 0,16 –0,4 мм содержит значительную долю песка (до 94%) и может быть полностью удалена из технологии без дальнейшей переработки. Остальные фракции помимо диоксида титана, железа и его оксидов содержат значительную долю диоксида кремния, отделить которую методом ситовой классификации не представляется возможным. Исследования по разделению анализируемой смеси методом магнитной сепарации показали, что в немагнитную фракцию удается выделить фазы песка и диоксида титана без примесей железа. При этом в магнитной части остается практически все железо с его трехвалетным оксидом, а также большая доля частиц диоксида кремния и титана, вплавленная в более крупные куски магнитной фракции. Показано, что в процессе магнитной сепарации в магнитную фракцию уходит до 100% Fe+Fe2O3, 20% SiO2и 73% TiO2. При этом c немагнитной фракцией, в среднем, уходит до 80% SiO2и 27% TiO2.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Мелкомукова, О.Г.
Худяков, С.Г.

Лановецкий, С.В. Исследование процесса обогащения отходов титанового производства [Текст] / С. В. Лановецкий, О.Г. Мелкомукова, С.Г. Худяков // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2019. Т.62(3).- С.37-42

33.

Лановецкий, С.В. Исследование процесса обогащения отходов титанового производства [Текст] / С. В. Лановецкий, О.Г. Мелкомукова, С.Г. Худяков // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2019. Т.62(3).- С.37-42


35.09
Л 22

Лановецкий, С. В.
    Исследование процесса обогащения отходов титанового производства [Текст] / С. В. Лановецкий, О.Г. Мелкомукова, С.Г. Худяков // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62(3). - С. 37-42
ББК 35.09

Рубрики: Отходы химических производств и их использование

Кл.слова (ненормированные):
механическая классификация -- магнитная сепарация -- титановый шла -- диоксид кремния -- диоксид титана -- химия -- исследование -- отход
Аннотация: В работе представлено исследование процесса обогащения отходов титанового производства (песчано-шлаковой смеси) методами механической и магнитной сепарации с целью уменьшения потерь полезного компонента в технологии переработки ильменитового концентрата. Состав исходной фракции исследуемой смеси и фракций, полученных в процессе механической и магнитной сепарации, оценивали при помощи рентгенофазового и рентгеноспектрального анализов. Оценку размера частиц анализируемой смеси выполняли с помощью сканирующего электронного микроскопа высокого разрешения «S-3400N» и оптического микроскопа «МБС-1» с цифровой фотокамерой Webbers MYscope 560MCCD. В результате разделения анализируемой смеси методом механической классификации показано, что фракция 0,16 –0,4 мм содержит значительную долю песка (до 94%) и может быть полностью удалена из технологии без дальнейшей переработки. Остальные фракции помимо диоксида титана, железа и его оксидов содержат значительную долю диоксида кремния, отделить которую методом ситовой классификации не представляется возможным. Исследования по разделению анализируемой смеси методом магнитной сепарации показали, что в немагнитную фракцию удается выделить фазы песка и диоксида титана без примесей железа. При этом в магнитной части остается практически все железо с его трехвалетным оксидом, а также большая доля частиц диоксида кремния и титана, вплавленная в более крупные куски магнитной фракции. Показано, что в процессе магнитной сепарации в магнитную фракцию уходит до 100% Fe+Fe2O3, 20% SiO2и 73% TiO2. При этом c немагнитной фракцией, в среднем, уходит до 80% SiO2и 27% TiO2.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Мелкомукова, О.Г.
Худяков, С.Г.

35.61
А 65

Андреев, С. В.
    Новый универсальный метод для определения антикоагулянтов второго поколения в родентицидах [Текст] / С. В. Андреев, Е. С. Беляев, А. А. Ищенко // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62(1). - С. 85-90
ББК 35.61

Рубрики: Основной органический синтез (тяжелый органический синтез)

Кл.слова (ненормированные):
бродифакум -- бромадиолон -- дифенакум -- родентициды -- ВЭЖХ -- антикоагулянты -- химия -- парафин
Аннотация: Твердые парафиновые брикеты являются одним из наиболее современных типов родентицидных приманок, поскольку предохраняют ее от воздействия окружающей среды и не снижают поедаемость грызунами. В данной работе предложен простой универсальный метод для определения бродифакума, бромадиолона и дифенакума в твердых брикетах, которые представляют собой смесь парафина, яда и наполнителя, в качестве которого могут быть использованы зерно, мука и тому подобное. Сложность в анализе приманок, содержащих парафин, заключается в том, чтобы от него избавиться. Для этого мы предлагаем использовать экстракцию в системе гексан-ацетонитрил. Парафин растворяется в гексане, в то время как бродифакум, бромадиолон и дифенакум – нет. Образующуюся двухфазную систему разделяли с помощью делительной воронки и собирали нижнюю фракцию. При наличии в пробе каких-либо наполнителей их отфильтровывали до разделения смеси, остаток промывали ацетонитрилом. Перед вводом пробы в хроматограф ее дважды фильтровали с помощью PTFE-фильтров пористостью 0,45 мкм. Наилучшее разделение компонентов смеси было достигнуто при использовании колонки Thermo Acclaim® Surfactant в качестве подвижной фазы был взят ацетонитрил и 0,1 М водный раствор ацетата аммония (рН 5,4) в режиме градиентного элюирования. Детектирование всех трех ядов проводили при длине волны 264 нм. Данный метод обладает чувствительностью 0,028 мг. Диапазон линейности от 0,00067 до 0,01 %. Коэффициент извлечения для бромадиолона составляет – 94 %, для бродифакума – 98 %, для дифенакума – 90 %.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Беляев, Е.С.
Ищенко, А.А.

Андреев, С.В. Новый универсальный метод для определения антикоагулянтов второго поколения в родентицидах [Текст] / С. В. Андреев, Е. С. Беляев, А. А. Ищенко // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2019. Т.62(1).- С.85-90

34.

Андреев, С.В. Новый универсальный метод для определения антикоагулянтов второго поколения в родентицидах [Текст] / С. В. Андреев, Е. С. Беляев, А. А. Ищенко // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2019. Т.62(1).- С.85-90


35.61
А 65

Андреев, С. В.
    Новый универсальный метод для определения антикоагулянтов второго поколения в родентицидах [Текст] / С. В. Андреев, Е. С. Беляев, А. А. Ищенко // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62(1). - С. 85-90
ББК 35.61

Рубрики: Основной органический синтез (тяжелый органический синтез)

Кл.слова (ненормированные):
бродифакум -- бромадиолон -- дифенакум -- родентициды -- ВЭЖХ -- антикоагулянты -- химия -- парафин
Аннотация: Твердые парафиновые брикеты являются одним из наиболее современных типов родентицидных приманок, поскольку предохраняют ее от воздействия окружающей среды и не снижают поедаемость грызунами. В данной работе предложен простой универсальный метод для определения бродифакума, бромадиолона и дифенакума в твердых брикетах, которые представляют собой смесь парафина, яда и наполнителя, в качестве которого могут быть использованы зерно, мука и тому подобное. Сложность в анализе приманок, содержащих парафин, заключается в том, чтобы от него избавиться. Для этого мы предлагаем использовать экстракцию в системе гексан-ацетонитрил. Парафин растворяется в гексане, в то время как бродифакум, бромадиолон и дифенакум – нет. Образующуюся двухфазную систему разделяли с помощью делительной воронки и собирали нижнюю фракцию. При наличии в пробе каких-либо наполнителей их отфильтровывали до разделения смеси, остаток промывали ацетонитрилом. Перед вводом пробы в хроматограф ее дважды фильтровали с помощью PTFE-фильтров пористостью 0,45 мкм. Наилучшее разделение компонентов смеси было достигнуто при использовании колонки Thermo Acclaim® Surfactant в качестве подвижной фазы был взят ацетонитрил и 0,1 М водный раствор ацетата аммония (рН 5,4) в режиме градиентного элюирования. Детектирование всех трех ядов проводили при длине волны 264 нм. Данный метод обладает чувствительностью 0,028 мг. Диапазон линейности от 0,00067 до 0,01 %. Коэффициент извлечения для бромадиолона составляет – 94 %, для бродифакума – 98 %, для дифенакума – 90 %.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Беляев, Е.С.
Ищенко, А.А.

24.58
И 75


    Ионный обмен на волокнистом ионите в емкостном аппарате проточного типа [Текст] / С. В. Натареев [и др.] // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62(1). - С. 107-113
ББК 24.58

Рубрики: Физическая химия поверхностных явлений

Кл.слова (ненормированные):
ионный обмен -- аппарат идеального смешения проточного типа -- математическая модель -- волокнистый ионит -- химия
Аннотация: Целью данной работы является дальнейшее развитие аналитической теории ионного обмена в области решения краевых задач нестационарного переноса вещества в телах канонической формы c учетом изменения концентрации раствора и характера движения фаз в аппарате проточного типа. Предложено математическое описание процесса ионообменной очистки раствора на частицах ионита цилиндрической формы в аппарате проточного типа. При разработке математического описания использовались следующие допущения: ионит является монодисперсным, начальное распределение вещества в ионите равномерное, равновесие ионообменного процесса описывается уравнением изотермы адсорбции Генри, скорость процесса лимитируется как внутренней, так и внешней диффузией, структура потока жидкой фазы в аппарате описывается моделью идеального перемешивания, в аппарат поступает раствор с постоянным объемным расходом и постоянной концентрацией вещества, кинетические и гидродинамические параметры процесса являются постоянными величинами. Математическое описание включает следующие уравнения: уравнение диффузии целевого компонента в зерне ионита, уравнение изотермы ионного обмена, уравнение для определения средней концентрации вещества в частице ионита, уравнение материального баланса аппарата идеального смешения проточного типа, начальные и граничные условия. Для решения поставленной задачи был использован метод интегральных преобразований Лапласа. Полученное уравнение позволяет проанализировать влияние объемного расхода раствора, подаваемого в аппарат, соотношения объемов твердой и жидкой фаз в аппарате, диаметра частицы и других параметров процесса на распределение концентрации вещества по внутренней координате твердого тела. Разработанная математическая модель используется для исследования десорбции ионов меди из модифицированного поликапроамидного волокна раствором серной кислоты.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Натареев, С.В.
Захаров, Д.Е.
Сироткин, А.А.
Беляев, С.В.

Ионный обмен на волокнистом ионите в емкостном аппарате проточного типа [Текст] / С. В. Натареев [и др.] // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2019. Т.62(1).- С.107-113

35.

Ионный обмен на волокнистом ионите в емкостном аппарате проточного типа [Текст] / С. В. Натареев [и др.] // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2019. Т.62(1).- С.107-113


24.58
И 75


    Ионный обмен на волокнистом ионите в емкостном аппарате проточного типа [Текст] / С. В. Натареев [и др.] // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62(1). - С. 107-113
ББК 24.58

Рубрики: Физическая химия поверхностных явлений

Кл.слова (ненормированные):
ионный обмен -- аппарат идеального смешения проточного типа -- математическая модель -- волокнистый ионит -- химия
Аннотация: Целью данной работы является дальнейшее развитие аналитической теории ионного обмена в области решения краевых задач нестационарного переноса вещества в телах канонической формы c учетом изменения концентрации раствора и характера движения фаз в аппарате проточного типа. Предложено математическое описание процесса ионообменной очистки раствора на частицах ионита цилиндрической формы в аппарате проточного типа. При разработке математического описания использовались следующие допущения: ионит является монодисперсным, начальное распределение вещества в ионите равномерное, равновесие ионообменного процесса описывается уравнением изотермы адсорбции Генри, скорость процесса лимитируется как внутренней, так и внешней диффузией, структура потока жидкой фазы в аппарате описывается моделью идеального перемешивания, в аппарат поступает раствор с постоянным объемным расходом и постоянной концентрацией вещества, кинетические и гидродинамические параметры процесса являются постоянными величинами. Математическое описание включает следующие уравнения: уравнение диффузии целевого компонента в зерне ионита, уравнение изотермы ионного обмена, уравнение для определения средней концентрации вещества в частице ионита, уравнение материального баланса аппарата идеального смешения проточного типа, начальные и граничные условия. Для решения поставленной задачи был использован метод интегральных преобразований Лапласа. Полученное уравнение позволяет проанализировать влияние объемного расхода раствора, подаваемого в аппарат, соотношения объемов твердой и жидкой фаз в аппарате, диаметра частицы и других параметров процесса на распределение концентрации вещества по внутренней координате твердого тела. Разработанная математическая модель используется для исследования десорбции ионов меди из модифицированного поликапроамидного волокна раствором серной кислоты.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Натареев, С.В.
Захаров, Д.Е.
Сироткин, А.А.
Беляев, С.В.

24.5
Е 92

Ефремов, А.М.
    Параметры плазмы, концентрации активных частиц и кинетика травления в смеси C4F8+Ar [Текст] / А.М. Ефремов, Д.Б. Мурин, К.Х. Квон // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62(2). - С. 31-37
ББК 24.5

Рубрики: Физическая химия. Химическая физика

Кл.слова (ненормированные):
C4F8 -- скорость реакции -- энергия ионов -- концентрация -- поток -- травление -- полимеризация -- химия -- параметры плазмы -- активные частицы
Аннотация: В данной работе представлены результаты комбинированных (экспериментальных и модельных) исследований характеристик газовой фазы и кинетики травления Si и SiO2 в плазме смеси C4F8 + Ar. Эксперименты проводились при постоянном общем давлении смеси (p = 6 мтор), вкладываемой мощности (W = 900 Вт) и мощности смещения (Wdc = 200 Вт), при этом соотношение компонентов C4F8/Ar варьировалось в диапазоне 0–75% Ar. Данные по внутренним параметрам плазмы, кинетике плазмохимических процессов и стационарным концентрациям частиц в газовой фазе получали при совместном использовании диагностики плазмы зондами Лангмюра и 0-мерного моделирования плазмы. Механизмы травления идентифицировали через анализ корреляций между измеренными скоростями травления и расчетными значениями плотностей потоков активных частиц (атомов F, полимеробразующих радикалов CFx и положительных ионов). Было найдено, что в исследованном диапазоне условий процессы травления Si и SiO2 в плазме смеси C4F8 + Ar 1) протекают в стационарной области; 2) имеют характерные черты ионно-стимулированной химической реакции в режиме травления, лимитируемом потоком нейтральных частиц; 3) не свободны от влияния толщины фторуглеродной полимерной пленки. Было показано, что влияние условий проведения процесса травления на величину эффективной вероятности взаимодействия атомов фтора с Si и SiO2 адекватно характеризуется отношениями плотность потока полимеробразующих радикалов / плотность потока атомов фтора и плотность потока полимеробразующих радикалов / плотность потока энергии ионов.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Мурин, Д.Б.
Квон, К.Х.

Ефремов, А.М. Параметры плазмы, концентрации активных частиц и кинетика травления в смеси C4F8+Ar [Текст] / А.М. Ефремов, Д.Б. Мурин, К.Х. Квон // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2019. Т.62(2).- С.31-37

36.

Ефремов, А.М. Параметры плазмы, концентрации активных частиц и кинетика травления в смеси C4F8+Ar [Текст] / А.М. Ефремов, Д.Б. Мурин, К.Х. Квон // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2019. Т.62(2).- С.31-37


24.5
Е 92

Ефремов, А.М.
    Параметры плазмы, концентрации активных частиц и кинетика травления в смеси C4F8+Ar [Текст] / А.М. Ефремов, Д.Б. Мурин, К.Х. Квон // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62(2). - С. 31-37
ББК 24.5

Рубрики: Физическая химия. Химическая физика

Кл.слова (ненормированные):
C4F8 -- скорость реакции -- энергия ионов -- концентрация -- поток -- травление -- полимеризация -- химия -- параметры плазмы -- активные частицы
Аннотация: В данной работе представлены результаты комбинированных (экспериментальных и модельных) исследований характеристик газовой фазы и кинетики травления Si и SiO2 в плазме смеси C4F8 + Ar. Эксперименты проводились при постоянном общем давлении смеси (p = 6 мтор), вкладываемой мощности (W = 900 Вт) и мощности смещения (Wdc = 200 Вт), при этом соотношение компонентов C4F8/Ar варьировалось в диапазоне 0–75% Ar. Данные по внутренним параметрам плазмы, кинетике плазмохимических процессов и стационарным концентрациям частиц в газовой фазе получали при совместном использовании диагностики плазмы зондами Лангмюра и 0-мерного моделирования плазмы. Механизмы травления идентифицировали через анализ корреляций между измеренными скоростями травления и расчетными значениями плотностей потоков активных частиц (атомов F, полимеробразующих радикалов CFx и положительных ионов). Было найдено, что в исследованном диапазоне условий процессы травления Si и SiO2 в плазме смеси C4F8 + Ar 1) протекают в стационарной области; 2) имеют характерные черты ионно-стимулированной химической реакции в режиме травления, лимитируемом потоком нейтральных частиц; 3) не свободны от влияния толщины фторуглеродной полимерной пленки. Было показано, что влияние условий проведения процесса травления на величину эффективной вероятности взаимодействия атомов фтора с Si и SiO2 адекватно характеризуется отношениями плотность потока полимеробразующих радикалов / плотность потока атомов фтора и плотность потока полимеробразующих радикалов / плотность потока энергии ионов.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Мурин, Д.Б.
Квон, К.Х.

35.11
Т 35


    Термическое поведение смеси на основе метакаолина для синтеза цеолита LTA. Влияние ультразвуковой обработки [Текст] / А.П. Храмцова [и др.] // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62(2). - С. 65-71
ББК 35.11

Рубрики: Основные процессы и аппараты химической технологии

Кл.слова (ненормированные):
цеолит -- изоконверсионный анализ -- термический анализ -- ультразвук -- химия -- синтез
Аннотация: Исследовано влияние ультразвуковой обработки на кинетику твердофазного взаимодействия метакаолина и гидроксида натрия. Согласно данным рентгенофазового анализа для образца без предварительной обработки до достижения 500 °Сна рентгенограмме наблюдаются исключительно рефлексы, отвечающие цеолиту LTA. При увеличении температуры до 700 °С отмечается появление новой фазы –алюмосиликата натрия (Na6Al4Si4O17). При достижении температуры 800 °С помимо рефлексов цеолита на дифрактограмме обнаружены характеристические рефлексы алюмосиликата натрия (Na8Al4Si4O18) и нефелина, полученные в результате рекристализации части цеолита. Также процесс сопровождается разложением метакаолина в оксид кремния и муллит. При достижении 900 °С рефлексов, отвечающих цеолиту, обнаружено не было. Опираясь на данные рентгенофазового анализа, было установлено, что ультразвуковая обработка не оказывает влияния на фазовый состав образцов. На основании этих данных был определен температурный диапазон (500-800 °С), в котором происходит рекристализация цеолита в алюмосиликаты. По данным термического анализа, опираясь на данные потерь массы в конкретном интервале, были установлены точные температурные диапазоны для каждой скорости нагрева образцов без предварительной обработки и образца после ультразвуковой обработки. В качестве метода изоконверсионного анализа был выбран метод Озава-Флинн-Уолла. Было установлено, что после ультразвуковой обработки кажущаяся энергия активации монотонно возрастает во всем диапазоне степеней превращения, что позволяет сгладить изменение переходного режима (до 200 кДж/моль) на кинетический. Без ультразвуковой обработки при достижении степени превращения 0,5-0,6 кажущаяся энергия активации выходит приблизительно на один уровень (350 кДж/моль).После ультразвуковой обработки кажущаяся энергия активации возрастает с 350 до 450 кДж/моль при достижении степени превращения выше 0,9.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Храмцова, А.П.
Прокофьев, В.Ю.
Гордина, Н.Е.
Чередников, Д.С.
Константинова, Е.М.

Термическое поведение смеси на основе метакаолина для синтеза цеолита LTA. Влияние ультразвуковой обработки [Текст] / А.П. Храмцова [и др.] // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2019. Т.62(2).- С.65-71

37.

Термическое поведение смеси на основе метакаолина для синтеза цеолита LTA. Влияние ультразвуковой обработки [Текст] / А.П. Храмцова [и др.] // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2019. Т.62(2).- С.65-71


35.11
Т 35


    Термическое поведение смеси на основе метакаолина для синтеза цеолита LTA. Влияние ультразвуковой обработки [Текст] / А.П. Храмцова [и др.] // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62(2). - С. 65-71
ББК 35.11

Рубрики: Основные процессы и аппараты химической технологии

Кл.слова (ненормированные):
цеолит -- изоконверсионный анализ -- термический анализ -- ультразвук -- химия -- синтез
Аннотация: Исследовано влияние ультразвуковой обработки на кинетику твердофазного взаимодействия метакаолина и гидроксида натрия. Согласно данным рентгенофазового анализа для образца без предварительной обработки до достижения 500 °Сна рентгенограмме наблюдаются исключительно рефлексы, отвечающие цеолиту LTA. При увеличении температуры до 700 °С отмечается появление новой фазы –алюмосиликата натрия (Na6Al4Si4O17). При достижении температуры 800 °С помимо рефлексов цеолита на дифрактограмме обнаружены характеристические рефлексы алюмосиликата натрия (Na8Al4Si4O18) и нефелина, полученные в результате рекристализации части цеолита. Также процесс сопровождается разложением метакаолина в оксид кремния и муллит. При достижении 900 °С рефлексов, отвечающих цеолиту, обнаружено не было. Опираясь на данные рентгенофазового анализа, было установлено, что ультразвуковая обработка не оказывает влияния на фазовый состав образцов. На основании этих данных был определен температурный диапазон (500-800 °С), в котором происходит рекристализация цеолита в алюмосиликаты. По данным термического анализа, опираясь на данные потерь массы в конкретном интервале, были установлены точные температурные диапазоны для каждой скорости нагрева образцов без предварительной обработки и образца после ультразвуковой обработки. В качестве метода изоконверсионного анализа был выбран метод Озава-Флинн-Уолла. Было установлено, что после ультразвуковой обработки кажущаяся энергия активации монотонно возрастает во всем диапазоне степеней превращения, что позволяет сгладить изменение переходного режима (до 200 кДж/моль) на кинетический. Без ультразвуковой обработки при достижении степени превращения 0,5-0,6 кажущаяся энергия активации выходит приблизительно на один уровень (350 кДж/моль).После ультразвуковой обработки кажущаяся энергия активации возрастает с 350 до 450 кДж/моль при достижении степени превращения выше 0,9.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Храмцова, А.П.
Прокофьев, В.Ю.
Гордина, Н.Е.
Чередников, Д.С.
Константинова, Е.М.

35.32
И 88


    Исследование продуктов термического разложения азотно-фосфорно-калийных удобрений на основе нитрата аммония методом рентгенофазового анализа [Текст] / К.Г. Горбовский [и др.] // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2018. - Т.61(1). - С. 72-77
ББК 35.32

Рубрики: Удобрения

Кл.слова (ненормированные):
комплексные удобрения -- нитрат аммония -- термическое разложение -- рентгенофазовый анализ -- химия
Аннотация: Комплексные минеральные удобрения на основе нитрата аммония являются сложными многокомпонентными солевыми системами, обладающими низкой термической устойчивостью и склонными к самоподдерживающемуся разложению. Это приводит к необходимости повышения требований пожаро- и взрывобезопасности при их производстве, хранении и транспортировке, вызванное тем, что нитрат аммония является твердым окислителем, способным поддерживать горение, а его нагревание в замкнутом пространстве может привести к детонации. Компоненты, входящие в состав таких удобрений, могут как снижать (фосфаты и сульфат аммония), так и ускорять (соединения хлора) разложение нитрата аммония. Таким образом, термическая устойчивость удобрений на основе нитрата аммония во многом зависит от соотношения компонентов, входящих в его состав или образованных в результате протекания химических реакции. Наиболее простым способом снижения содержания нитрата аммония и повышения термической устойчивости удобрения без изменения содержания основных питательных веществ является увеличение степени аммонизации фосфорной кислоты. В данной работе методом рентгенофазового анализа на примере азотно-фосфорно-калийного удобрения марки 22:11:11, полученного с различной степенью аммонизации, исследовано изменение фазового состава в процессе термического разложения. Для получения данного удобрения использована экстракционная фосфорная кислота, полученная в результате сернокислотного разложения хибинского апатитового концентрата полугидратным способом. Показано, что увеличение степени аммонизации оказывает значительное влияние на экзотермическое разложение нитрата аммония и на количество вещества, которое выделяется в газовую фазу. Определены фазы, образующиеся на каждой стадии разложения.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Горбовский, К.Г.
Рыжова, А.С.
Норов, А.М.
Пагалешкин, Д.А.
Калинина, В.Н.
Михайличенко, А.И.

Исследование продуктов термического разложения азотно-фосфорно-калийных удобрений на основе нитрата аммония методом рентгенофазового анализа [Текст] / К.Г. Горбовский [и др.] // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2018. Т.61(1).- С.72-77

38.

Исследование продуктов термического разложения азотно-фосфорно-калийных удобрений на основе нитрата аммония методом рентгенофазового анализа [Текст] / К.Г. Горбовский [и др.] // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2018. Т.61(1).- С.72-77


35.32
И 88


    Исследование продуктов термического разложения азотно-фосфорно-калийных удобрений на основе нитрата аммония методом рентгенофазового анализа [Текст] / К.Г. Горбовский [и др.] // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2018. - Т.61(1). - С. 72-77
ББК 35.32

Рубрики: Удобрения

Кл.слова (ненормированные):
комплексные удобрения -- нитрат аммония -- термическое разложение -- рентгенофазовый анализ -- химия
Аннотация: Комплексные минеральные удобрения на основе нитрата аммония являются сложными многокомпонентными солевыми системами, обладающими низкой термической устойчивостью и склонными к самоподдерживающемуся разложению. Это приводит к необходимости повышения требований пожаро- и взрывобезопасности при их производстве, хранении и транспортировке, вызванное тем, что нитрат аммония является твердым окислителем, способным поддерживать горение, а его нагревание в замкнутом пространстве может привести к детонации. Компоненты, входящие в состав таких удобрений, могут как снижать (фосфаты и сульфат аммония), так и ускорять (соединения хлора) разложение нитрата аммония. Таким образом, термическая устойчивость удобрений на основе нитрата аммония во многом зависит от соотношения компонентов, входящих в его состав или образованных в результате протекания химических реакции. Наиболее простым способом снижения содержания нитрата аммония и повышения термической устойчивости удобрения без изменения содержания основных питательных веществ является увеличение степени аммонизации фосфорной кислоты. В данной работе методом рентгенофазового анализа на примере азотно-фосфорно-калийного удобрения марки 22:11:11, полученного с различной степенью аммонизации, исследовано изменение фазового состава в процессе термического разложения. Для получения данного удобрения использована экстракционная фосфорная кислота, полученная в результате сернокислотного разложения хибинского апатитового концентрата полугидратным способом. Показано, что увеличение степени аммонизации оказывает значительное влияние на экзотермическое разложение нитрата аммония и на количество вещества, которое выделяется в газовую фазу. Определены фазы, образующиеся на каждой стадии разложения.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Горбовский, К.Г.
Рыжова, А.С.
Норов, А.М.
Пагалешкин, Д.А.
Калинина, В.Н.
Михайличенко, А.И.

24.5
П 42


    Поверхностные свойства сплава VT 6 после плазмо-электролитической обработки [Текст] / В. И. Парфенюк [и др.] // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2018. - Т.61(3). - С. 58-63
ББК 24.5

Рубрики: Физическая химия. Химическая физика

Кл.слова (ненормированные):
плазмо-электролитическая обработка -- титановый сплав -- поверхностная модификация -- фаза рутила -- химия
Аннотация: Методом плазменно-электролитической обработки проведена поверхностная модификация титанового сплава VT 6 в водном растворе, содержащем 5 мас. % гидрата аммония и 10 мас. % хлорида аммония в температурном интервале 650-900 °С. Характеристика поверхностных слоев сплава после плазменной электролитической обработки проводилась с помощью инфракрасной спектроскопии Фурье (FTIR) и порошковой рентгеновской дифракции (XRD). Спектры FTIR регистрировали на спектрометре BrukerVertex80 при комнатной температуре в диапазоне 7500-350 см-1. Спектры показывают наличие фазы рутила на поверхности сплава после плазменной электролитической обработки в растворе электролита указанного состава. Интенсивные пики при 654-643 см-1, слабые пики около 560 см-1 и пики при 425-416 см-1 могут быть отнесены к рутилу. Пики при 466-462 см-1 связаны с валентными колебаниями Ti-O-Ti. С ростом температуры относительная интенсивность пиков, относящихся к рутилу, возрастает. Плазменно-электролитическая обработка приводит к появлению пиков, свидетельствующих об обогащении поверхности сплава азотом: пики при 1634-1622 см-1 могут быть отнесены к асимметричной деформации NH4+; пики около 1539 см-1 относятся к деформации N-H или симметричной деформации NH4+. Пики около 1428-1426 см-1 также могут быть отнесены к деформационным колебаниям NH4+. Плазменно-электролитическая обработка в температурном диапазоне 650-750 ºС приводит к появлению пиков при 1069-1064 см-1. Согласно литературным данным, пики могут быть отнесены к колебаниям Ti-O-N. Рентгеноструктурный анализ позволил установить кристаллическую структуру и фазовую идентификацию титанового сплава VT 6 после плазменно-электролитической обработки. Измерения проводились с использованием дифрактометра Bruker D8 Advance с излучением Mo Kα (λ = 0,07107 нм). Анализ образцов XRD показал, что оксид титана в образцах присутствует как фаза хонгевита (γ-моноклинная сингония), и как магниевая фаза (гексагональная сингония). Кроме пиков TiO наблюдались пики, характерные для хамрабевита TiC в фазе галита (кубическая сингония) и Ti2O3 в фазе корунда (тригональная сингония).
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Парфенюк , В.И.
Тесакова , М.В.
Лутовац , М.
Кусманов , С.А.
Лутовац , Б.
Белкин , П.Н.
Парфенюк , Е.В.

Поверхностные свойства сплава VT 6 после плазмо-электролитической обработки [Текст] / В. И. Парфенюк [и др.] // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2018. Т.61(3).- С.58-63

39.

Поверхностные свойства сплава VT 6 после плазмо-электролитической обработки [Текст] / В. И. Парфенюк [и др.] // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2018. Т.61(3).- С.58-63


24.5
П 42


    Поверхностные свойства сплава VT 6 после плазмо-электролитической обработки [Текст] / В. И. Парфенюк [и др.] // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2018. - Т.61(3). - С. 58-63
ББК 24.5

Рубрики: Физическая химия. Химическая физика

Кл.слова (ненормированные):
плазмо-электролитическая обработка -- титановый сплав -- поверхностная модификация -- фаза рутила -- химия
Аннотация: Методом плазменно-электролитической обработки проведена поверхностная модификация титанового сплава VT 6 в водном растворе, содержащем 5 мас. % гидрата аммония и 10 мас. % хлорида аммония в температурном интервале 650-900 °С. Характеристика поверхностных слоев сплава после плазменной электролитической обработки проводилась с помощью инфракрасной спектроскопии Фурье (FTIR) и порошковой рентгеновской дифракции (XRD). Спектры FTIR регистрировали на спектрометре BrukerVertex80 при комнатной температуре в диапазоне 7500-350 см-1. Спектры показывают наличие фазы рутила на поверхности сплава после плазменной электролитической обработки в растворе электролита указанного состава. Интенсивные пики при 654-643 см-1, слабые пики около 560 см-1 и пики при 425-416 см-1 могут быть отнесены к рутилу. Пики при 466-462 см-1 связаны с валентными колебаниями Ti-O-Ti. С ростом температуры относительная интенсивность пиков, относящихся к рутилу, возрастает. Плазменно-электролитическая обработка приводит к появлению пиков, свидетельствующих об обогащении поверхности сплава азотом: пики при 1634-1622 см-1 могут быть отнесены к асимметричной деформации NH4+; пики около 1539 см-1 относятся к деформации N-H или симметричной деформации NH4+. Пики около 1428-1426 см-1 также могут быть отнесены к деформационным колебаниям NH4+. Плазменно-электролитическая обработка в температурном диапазоне 650-750 ºС приводит к появлению пиков при 1069-1064 см-1. Согласно литературным данным, пики могут быть отнесены к колебаниям Ti-O-N. Рентгеноструктурный анализ позволил установить кристаллическую структуру и фазовую идентификацию титанового сплава VT 6 после плазменно-электролитической обработки. Измерения проводились с использованием дифрактометра Bruker D8 Advance с излучением Mo Kα (λ = 0,07107 нм). Анализ образцов XRD показал, что оксид титана в образцах присутствует как фаза хонгевита (γ-моноклинная сингония), и как магниевая фаза (гексагональная сингония). Кроме пиков TiO наблюдались пики, характерные для хамрабевита TiC в фазе галита (кубическая сингония) и Ti2O3 в фазе корунда (тригональная сингония).
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Парфенюк , В.И.
Тесакова , М.В.
Лутовац , М.
Кусманов , С.А.
Лутовац , Б.
Белкин , П.Н.
Парфенюк , Е.В.

24.5
Е 92

Ефремов , А. М.
    Параметры плазмы и кинетика активных частиц в смеси CF4+C4F8+Ar [Текст] / А. М. Ефремов , Д. Б. Мурин, К. Х. Квон // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2018. - Т.61(4-5). - С. 31-36
ББК 24.5

Рубрики: Физическая химия. Химическая физика

Кл.слова (ненормированные):
CF4 -- C4F8 -- скорость реакции -- энергия ионов -- концентрация -- поток -- травление -- полимеризация
Аннотация: В данной работе обсуждаются взаимосвязи между начальным составом смеси CF4 + C4F8 + Ar, характеристиками газовой фазы и кинетикой гетерогенных процессов в условиях плазмы индукционного разряда пониженного давления. Целью работы являлось исследование зависимостей внутренних параметров плазмы (температура электронов, концентрация электронов, энергия ионной бомбардировки) и кинетики активных частиц от соотношения компонентов CF4/C4F8 в плазмообразующей смеси, а также выявление механизмов влияния указанных параметров на такие характеристики «сухого» травления, как скорость травления и селективность. Исследования проводились методами диагностики плазмы двойным зондом Лангмюра и моделирования плазмы в условиях планарного индукционного плазмохимического реактора. Эксперименты и расчеты проводились при постоянном давлении газа (10 мтор), вкладываемой мощности (800 Вт) и мощности смещения (150 Вт), при этом отношение CF4/C4F8 варьировалось изменением парциальных скоростей потока этих газов. Было найдено, что замещение CF4 на C4F8 в плазмообразующем газе CF4 + C4F8 + Ar приводит к снижению скорости генерации атомов фтора и плотности их потока на обрабатываемую поверхность из-за снижения концентрации в объеме плазмы. Предположено, что рост концентрации и плотности потока ненасыщенных радикалов CFx (x=1,2) в смесях с большим содержанием C4F8 при близких к постоянным значениях плотности потока энергии ионов (т.е. близкой к постоянной эффективности ионной бомбардировки) способствует снижению эффективной вероятности взаимодействия атомов фтора за счет увеличения толщины фторуглеродной полимерной пленки на обрабатываемой поверхности.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Мурин, Д.Б.
Квон , К.Х.

Ефремов , А.М. Параметры плазмы и кинетика активных частиц в смеси CF4+C4F8+Ar [Текст] / А. М. Ефремов , Д. Б. Мурин, К. Х. Квон // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2018. Т.61(4-5).- С.31-36

40.

Ефремов , А.М. Параметры плазмы и кинетика активных частиц в смеси CF4+C4F8+Ar [Текст] / А. М. Ефремов , Д. Б. Мурин, К. Х. Квон // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2018. Т.61(4-5).- С.31-36


24.5
Е 92

Ефремов , А. М.
    Параметры плазмы и кинетика активных частиц в смеси CF4+C4F8+Ar [Текст] / А. М. Ефремов , Д. Б. Мурин, К. Х. Квон // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2018. - Т.61(4-5). - С. 31-36
ББК 24.5

Рубрики: Физическая химия. Химическая физика

Кл.слова (ненормированные):
CF4 -- C4F8 -- скорость реакции -- энергия ионов -- концентрация -- поток -- травление -- полимеризация
Аннотация: В данной работе обсуждаются взаимосвязи между начальным составом смеси CF4 + C4F8 + Ar, характеристиками газовой фазы и кинетикой гетерогенных процессов в условиях плазмы индукционного разряда пониженного давления. Целью работы являлось исследование зависимостей внутренних параметров плазмы (температура электронов, концентрация электронов, энергия ионной бомбардировки) и кинетики активных частиц от соотношения компонентов CF4/C4F8 в плазмообразующей смеси, а также выявление механизмов влияния указанных параметров на такие характеристики «сухого» травления, как скорость травления и селективность. Исследования проводились методами диагностики плазмы двойным зондом Лангмюра и моделирования плазмы в условиях планарного индукционного плазмохимического реактора. Эксперименты и расчеты проводились при постоянном давлении газа (10 мтор), вкладываемой мощности (800 Вт) и мощности смещения (150 Вт), при этом отношение CF4/C4F8 варьировалось изменением парциальных скоростей потока этих газов. Было найдено, что замещение CF4 на C4F8 в плазмообразующем газе CF4 + C4F8 + Ar приводит к снижению скорости генерации атомов фтора и плотности их потока на обрабатываемую поверхность из-за снижения концентрации в объеме плазмы. Предположено, что рост концентрации и плотности потока ненасыщенных радикалов CFx (x=1,2) в смесях с большим содержанием C4F8 при близких к постоянным значениях плотности потока энергии ионов (т.е. близкой к постоянной эффективности ионной бомбардировки) способствует снижению эффективной вероятности взаимодействия атомов фтора за счет увеличения толщины фторуглеродной полимерной пленки на обрабатываемой поверхности.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Мурин, Д.Б.
Квон , К.Х.

Страница 4, Результатов: 127

 

Все поступления за 
Или выберите интересующий месяц