Электронный каталог


 

База данных: Статьи

Страница 2, Результатов: 34

Отмеченные записи: 0

24.5
Ф 16


    Фазовые равновесия в системе (LiF)2 – Li2CO3 – Li2SO4 [Текст] / З. Н. Вердиева [и др.] // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62(1). - С. 20-25. - (статья на английском языке)
ББК 24.5

Рубрики: Физическая химия. Химическая физика

Кл.слова (ненормированные):
эвтектика -- диаграмма составов -- диаграмма состояния -- трехкомпонентная система -- ограняющие элементы -- теплота плавления -- теплоаккумулирующие материалы -- фазовые равновесия -- химия
Аннотация: Расчетным и дифференциальным термическим методом физико-химического анализа изучена поверхность ликвидуса системы (LiF)2 – Li2SO4 – Li2CO3. Анализ систем низшей мерности ограняющих исследуемого объекта показал, что наиболее информативными, для экспериментального исследования являются разрезы, расположенные в поле кристаллизации фторида лития. Изучением ДТА ряда составов расположенных на первоначально выбранном политермическом сечении в поле кристаллизации фторида лития, определены соотношения сульфата и карбоната лития в эвтектике. Состав тройной эвтектики выявлен изучением нонвариантного разреза проведенного из вершины треугольника (LiF), через точку, показывающей постоянное соотношение сульфата и карбоната лития в эвтектике, до слияния термоэффектов первичной и третичной кристаллизаций. Сложность исследования заключалась в том, что карбонат лития является самым легкоплавким компонентом в системе, а по данным литературы, после плавления карбоната лития начинается процесс разложения, что значительно затрудняет интерпретацию результатов исследований. Во избежание разложения карбоната лития, каждый экспериментально исследованный состав нагревался до температуры плавления карбоната лития и выдерживался в изотермическом режиме, при температуре ниже его плавления. Таким образом, проведенными теоретическими расчетами вывялена примерная температура плавления и область расположения нонвариантного состава, позволившие ограничить число экспериментально исследуемых образцов, и последующим экспериментальным исследованием ДТА двух политермических разрезов выявлен эвтектический состав кристаллизующийся при 476 °С и содержащий LiF – 20 экв.%, Li2SO4 – 51 экв.%, Li2CO3 – 29 экв.%. Расхождения теоретических расчетов и экспериментальных исследований составляют по температуре –8,3%, по составу – 5,05%.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Вердиева, З.Н.
Алхасов, А.Б.
Вердиев , Н.Н.
Рабаданов, Г.А.
Арбуханова, П.А.
Искендеров, Э.Г.

Фазовые равновесия в системе (LiF)2 – Li2CO3 – Li2SO4 [Текст] / З. Н. Вердиева [и др.] // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62(1).- С.20-25

11.

Фазовые равновесия в системе (LiF)2 – Li2CO3 – Li2SO4 [Текст] / З. Н. Вердиева [и др.] // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62(1).- С.20-25


24.5
Ф 16


    Фазовые равновесия в системе (LiF)2 – Li2CO3 – Li2SO4 [Текст] / З. Н. Вердиева [и др.] // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62(1). - С. 20-25. - (статья на английском языке)
ББК 24.5

Рубрики: Физическая химия. Химическая физика

Кл.слова (ненормированные):
эвтектика -- диаграмма составов -- диаграмма состояния -- трехкомпонентная система -- ограняющие элементы -- теплота плавления -- теплоаккумулирующие материалы -- фазовые равновесия -- химия
Аннотация: Расчетным и дифференциальным термическим методом физико-химического анализа изучена поверхность ликвидуса системы (LiF)2 – Li2SO4 – Li2CO3. Анализ систем низшей мерности ограняющих исследуемого объекта показал, что наиболее информативными, для экспериментального исследования являются разрезы, расположенные в поле кристаллизации фторида лития. Изучением ДТА ряда составов расположенных на первоначально выбранном политермическом сечении в поле кристаллизации фторида лития, определены соотношения сульфата и карбоната лития в эвтектике. Состав тройной эвтектики выявлен изучением нонвариантного разреза проведенного из вершины треугольника (LiF), через точку, показывающей постоянное соотношение сульфата и карбоната лития в эвтектике, до слияния термоэффектов первичной и третичной кристаллизаций. Сложность исследования заключалась в том, что карбонат лития является самым легкоплавким компонентом в системе, а по данным литературы, после плавления карбоната лития начинается процесс разложения, что значительно затрудняет интерпретацию результатов исследований. Во избежание разложения карбоната лития, каждый экспериментально исследованный состав нагревался до температуры плавления карбоната лития и выдерживался в изотермическом режиме, при температуре ниже его плавления. Таким образом, проведенными теоретическими расчетами вывялена примерная температура плавления и область расположения нонвариантного состава, позволившие ограничить число экспериментально исследуемых образцов, и последующим экспериментальным исследованием ДТА двух политермических разрезов выявлен эвтектический состав кристаллизующийся при 476 °С и содержащий LiF – 20 экв.%, Li2SO4 – 51 экв.%, Li2CO3 – 29 экв.%. Расхождения теоретических расчетов и экспериментальных исследований составляют по температуре –8,3%, по составу – 5,05%.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Вердиева, З.Н.
Алхасов, А.Б.
Вердиев , Н.Н.
Рабаданов, Г.А.
Арбуханова, П.А.
Искендеров, Э.Г.

24.5
Э 45


    Электронные параметры 1,1,1-трифторалканов [Текст] / А. В. Котомкин [и др.] // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62(1). - С. 31-37
ББК 24.5

Рубрики: Физическая химия. Химическая физика

Кл.слова (ненормированные):
индуктивный эффект -- электроотрицательность -- квантовая теория атомов в молекуле -- электронная плотность -- трифторалканы -- электронные параметры -- химия
Аннотация: На основании квантово-химических расчетов рассмотрены свойства групп гомологического ряда молекул третичных фторзамещенных углеводородов CnH2n+1-CF3 (n ≤ 9), полученные из распределения их электронной плотности. Проведена оптимизация геометрии десяти исследуемых структур, определены поверхности нулевого потока градиента электронной плотности и найдены бассейны атомных групп и атомов фтора. Для молекул трифторалканов получены и проанализированы групповые электронные интегральные характеристики: заряд q(R), энергия E(R) и объем V(R). Выявлена связь между длиной углеводородной цепи и переносимостью свойств выбранных групп СF3, СН3, СН2, что нашло отражение в их переносимых параметрах. Построена качественная шкала групповых электроотрицательностей изучаемого ряда и рассмотрен индуктивный эффект (I-эффект) фторсодержащего концевого фрагмента. Выявлено затухание I-эффекта в CnH2n+1-CF3 (n ≥ 6) на молекулярных фрагментах CF3-(CH2)4 и CH3-CH2, в связи с чем, начиная с n > 6, отмечено появление «стандартной» группы CH2. Описан выбор «стандартного» («переносимого») значения полной электронной энергии групп E(R) и вычисление относительной групповой энергии ΔE(R). Показано вызванное перетеканием электронной плотности уменьшение объемов двух групп СН2, расположенных рядом с СF3. Проведен сравнительный анализ зарядов всех выделенных в CnH2n+1-CF3 (n ≤ 9) групп с соответствующими q(R) в монофторзамещенных алканах, монофторалкильных радикалах, дифторзамещенных алканах, дифторалкильных радикалах. Данные по сравнению зарядовых характеристик идентичных групп и фторсодержащего фрагмента нонильных замещенных фтора и их радикалов изображены в виде графической зависимости, рассмотрение которой дает представление о затухании индуктивного эффекта от СF3.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Котомкин, А.В.
Русакова, Н.П.
Туровцев, В.В.
Орлов, Ю.Д.

Электронные параметры 1,1,1-трифторалканов [Текст] / А. В. Котомкин [и др.] // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2019. Т.62(1).- С.31-37

12.

Электронные параметры 1,1,1-трифторалканов [Текст] / А. В. Котомкин [и др.] // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2019. Т.62(1).- С.31-37


24.5
Э 45


    Электронные параметры 1,1,1-трифторалканов [Текст] / А. В. Котомкин [и др.] // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62(1). - С. 31-37
ББК 24.5

Рубрики: Физическая химия. Химическая физика

Кл.слова (ненормированные):
индуктивный эффект -- электроотрицательность -- квантовая теория атомов в молекуле -- электронная плотность -- трифторалканы -- электронные параметры -- химия
Аннотация: На основании квантово-химических расчетов рассмотрены свойства групп гомологического ряда молекул третичных фторзамещенных углеводородов CnH2n+1-CF3 (n ≤ 9), полученные из распределения их электронной плотности. Проведена оптимизация геометрии десяти исследуемых структур, определены поверхности нулевого потока градиента электронной плотности и найдены бассейны атомных групп и атомов фтора. Для молекул трифторалканов получены и проанализированы групповые электронные интегральные характеристики: заряд q(R), энергия E(R) и объем V(R). Выявлена связь между длиной углеводородной цепи и переносимостью свойств выбранных групп СF3, СН3, СН2, что нашло отражение в их переносимых параметрах. Построена качественная шкала групповых электроотрицательностей изучаемого ряда и рассмотрен индуктивный эффект (I-эффект) фторсодержащего концевого фрагмента. Выявлено затухание I-эффекта в CnH2n+1-CF3 (n ≥ 6) на молекулярных фрагментах CF3-(CH2)4 и CH3-CH2, в связи с чем, начиная с n > 6, отмечено появление «стандартной» группы CH2. Описан выбор «стандартного» («переносимого») значения полной электронной энергии групп E(R) и вычисление относительной групповой энергии ΔE(R). Показано вызванное перетеканием электронной плотности уменьшение объемов двух групп СН2, расположенных рядом с СF3. Проведен сравнительный анализ зарядов всех выделенных в CnH2n+1-CF3 (n ≤ 9) групп с соответствующими q(R) в монофторзамещенных алканах, монофторалкильных радикалах, дифторзамещенных алканах, дифторалкильных радикалах. Данные по сравнению зарядовых характеристик идентичных групп и фторсодержащего фрагмента нонильных замещенных фтора и их радикалов изображены в виде графической зависимости, рассмотрение которой дает представление о затухании индуктивного эффекта от СF3.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Котомкин, А.В.
Русакова, Н.П.
Туровцев, В.В.
Орлов, Ю.Д.

24.5
Е 92

Ефремов, А.М.
    Параметры плазмы, концентрации активных частиц и кинетика травления в смеси C4F8+Ar [Текст] / А.М. Ефремов, Д.Б. Мурин, К.Х. Квон // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62(2). - С. 31-37
ББК 24.5

Рубрики: Физическая химия. Химическая физика

Кл.слова (ненормированные):
C4F8 -- скорость реакции -- энергия ионов -- концентрация -- поток -- травление -- полимеризация -- химия -- параметры плазмы -- активные частицы
Аннотация: В данной работе представлены результаты комбинированных (экспериментальных и модельных) исследований характеристик газовой фазы и кинетики травления Si и SiO2 в плазме смеси C4F8 + Ar. Эксперименты проводились при постоянном общем давлении смеси (p = 6 мтор), вкладываемой мощности (W = 900 Вт) и мощности смещения (Wdc = 200 Вт), при этом соотношение компонентов C4F8/Ar варьировалось в диапазоне 0–75% Ar. Данные по внутренним параметрам плазмы, кинетике плазмохимических процессов и стационарным концентрациям частиц в газовой фазе получали при совместном использовании диагностики плазмы зондами Лангмюра и 0-мерного моделирования плазмы. Механизмы травления идентифицировали через анализ корреляций между измеренными скоростями травления и расчетными значениями плотностей потоков активных частиц (атомов F, полимеробразующих радикалов CFx и положительных ионов). Было найдено, что в исследованном диапазоне условий процессы травления Si и SiO2 в плазме смеси C4F8 + Ar 1) протекают в стационарной области; 2) имеют характерные черты ионно-стимулированной химической реакции в режиме травления, лимитируемом потоком нейтральных частиц; 3) не свободны от влияния толщины фторуглеродной полимерной пленки. Было показано, что влияние условий проведения процесса травления на величину эффективной вероятности взаимодействия атомов фтора с Si и SiO2 адекватно характеризуется отношениями плотность потока полимеробразующих радикалов / плотность потока атомов фтора и плотность потока полимеробразующих радикалов / плотность потока энергии ионов.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Мурин, Д.Б.
Квон, К.Х.

Ефремов, А.М. Параметры плазмы, концентрации активных частиц и кинетика травления в смеси C4F8+Ar [Текст] / А.М. Ефремов, Д.Б. Мурин, К.Х. Квон // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2019. Т.62(2).- С.31-37

13.

Ефремов, А.М. Параметры плазмы, концентрации активных частиц и кинетика травления в смеси C4F8+Ar [Текст] / А.М. Ефремов, Д.Б. Мурин, К.Х. Квон // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2019. Т.62(2).- С.31-37


24.5
Е 92

Ефремов, А.М.
    Параметры плазмы, концентрации активных частиц и кинетика травления в смеси C4F8+Ar [Текст] / А.М. Ефремов, Д.Б. Мурин, К.Х. Квон // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62(2). - С. 31-37
ББК 24.5

Рубрики: Физическая химия. Химическая физика

Кл.слова (ненормированные):
C4F8 -- скорость реакции -- энергия ионов -- концентрация -- поток -- травление -- полимеризация -- химия -- параметры плазмы -- активные частицы
Аннотация: В данной работе представлены результаты комбинированных (экспериментальных и модельных) исследований характеристик газовой фазы и кинетики травления Si и SiO2 в плазме смеси C4F8 + Ar. Эксперименты проводились при постоянном общем давлении смеси (p = 6 мтор), вкладываемой мощности (W = 900 Вт) и мощности смещения (Wdc = 200 Вт), при этом соотношение компонентов C4F8/Ar варьировалось в диапазоне 0–75% Ar. Данные по внутренним параметрам плазмы, кинетике плазмохимических процессов и стационарным концентрациям частиц в газовой фазе получали при совместном использовании диагностики плазмы зондами Лангмюра и 0-мерного моделирования плазмы. Механизмы травления идентифицировали через анализ корреляций между измеренными скоростями травления и расчетными значениями плотностей потоков активных частиц (атомов F, полимеробразующих радикалов CFx и положительных ионов). Было найдено, что в исследованном диапазоне условий процессы травления Si и SiO2 в плазме смеси C4F8 + Ar 1) протекают в стационарной области; 2) имеют характерные черты ионно-стимулированной химической реакции в режиме травления, лимитируемом потоком нейтральных частиц; 3) не свободны от влияния толщины фторуглеродной полимерной пленки. Было показано, что влияние условий проведения процесса травления на величину эффективной вероятности взаимодействия атомов фтора с Si и SiO2 адекватно характеризуется отношениями плотность потока полимеробразующих радикалов / плотность потока атомов фтора и плотность потока полимеробразующих радикалов / плотность потока энергии ионов.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Мурин, Д.Б.
Квон, К.Х.

24.23
С 78


    Статическая и динамическая сорбция нуклеиновых кислот и белков на поверхности сорбентов, модифицированных нанотолщинными слоями полимеров [Текст] / Д.-Дж. Льяо [и др.] // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология . - 2018. - Т.61(1). - С. 4-22
ББК 24.23

Рубрики: Органические соединения

Кл.слова (ненормированные):
полианилин -- полиарамиды -- композиционные сорбенты -- фторполимеры -- интерферометрия -- одностадийное выделение ДНК -- нуклеиновые кислоты -- белки -- жидкостная хроматография -- зондовая микроскопия -- рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия -- химия
Аннотация: В статье рассмотрены сорбционные свойства композиционных кремнеземных сорбентов, модифицированных нанослоями фторполимеров, полианилинов (ПАНИ) и полиарамидов, содержащих ароматический азот, фтор, а также донорные и акцепторные фрагменты, по отношению к нуклеиновым кислотам (ДНК и РНК) и белкам, различающимся молекулярной массой и pI. Применение исследованных сорбентов в пробоподготовке при молекулярной диагностике (в частности, при проведении ПЦР-анализа) не только обеспечивает одностадийное выделение нуклеиновых кислот, но также позволяет выделять белковые соединения. Впервые проведено сравнение свойств указанных материалов в режиме статической сорбции с применением компактных спин-колонок и в режиме динамической сорбции методом спектрально-корреляционной интерферометрии. Изучено влияние химического состава, морфологии и поверхностного заряда указанных полимерных покрытий на их сорбционные свойства. Обсуждены вероятные механизмы сорбции биополимеров на исследованных сорбентах. Использование разработанных подходов при анализе свойств сорбентов и полученных данных открывает новые возможности для синтеза композиционных сорбентов с комплексом заданных свойств. Показано, что ПАНИ и полиарамиды демонстрируют сходные сорбционные свойства при взаимодействии с нуклеиновыми кислотами, но в разной степени удерживают белки. В нейтральной водной среде, оптимальной для разделения смесей биополимеров, полиарамиды, хотя и не удерживали ДНК, имели меньшее сродство к белкам по сравнению с ПАНИ. Выход ДНК после пропускания образцов через слой частиц ПАНИ-модифици-рованного кремнезема оказался максимальным по сравнению с сорбентами, модифицированными полиарамидами. Таким ообразом, ПАНИ-содержащие композиты предпочтительны в качестве носителей для одностадийного выделения нуклеиновых кислот из сложных биологических смесей. В статье цитируются результаты систематических исследований авторов статьи по разработке сорбентов для одностадийного выделения биополимеров из сложных биологических смесей.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Льяо, Д.-Дж.
Зыбин, Д.И.
Простякова, А.И.
Ягудаева, Е.Ю.
Вихров, А.А.
Ищенко, А.А.
Зубов, В.П.
Капустин, Д.В.

Статическая и динамическая сорбция нуклеиновых кислот и белков на поверхности сорбентов, модифицированных нанотолщинными слоями полимеров [Текст] / Д.-Дж. Льяо [и др.] // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология . - 2018. Т.61(1).- С.4-22

14.

Статическая и динамическая сорбция нуклеиновых кислот и белков на поверхности сорбентов, модифицированных нанотолщинными слоями полимеров [Текст] / Д.-Дж. Льяо [и др.] // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология . - 2018. Т.61(1).- С.4-22


24.23
С 78


    Статическая и динамическая сорбция нуклеиновых кислот и белков на поверхности сорбентов, модифицированных нанотолщинными слоями полимеров [Текст] / Д.-Дж. Льяо [и др.] // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология . - 2018. - Т.61(1). - С. 4-22
ББК 24.23

Рубрики: Органические соединения

Кл.слова (ненормированные):
полианилин -- полиарамиды -- композиционные сорбенты -- фторполимеры -- интерферометрия -- одностадийное выделение ДНК -- нуклеиновые кислоты -- белки -- жидкостная хроматография -- зондовая микроскопия -- рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия -- химия
Аннотация: В статье рассмотрены сорбционные свойства композиционных кремнеземных сорбентов, модифицированных нанослоями фторполимеров, полианилинов (ПАНИ) и полиарамидов, содержащих ароматический азот, фтор, а также донорные и акцепторные фрагменты, по отношению к нуклеиновым кислотам (ДНК и РНК) и белкам, различающимся молекулярной массой и pI. Применение исследованных сорбентов в пробоподготовке при молекулярной диагностике (в частности, при проведении ПЦР-анализа) не только обеспечивает одностадийное выделение нуклеиновых кислот, но также позволяет выделять белковые соединения. Впервые проведено сравнение свойств указанных материалов в режиме статической сорбции с применением компактных спин-колонок и в режиме динамической сорбции методом спектрально-корреляционной интерферометрии. Изучено влияние химического состава, морфологии и поверхностного заряда указанных полимерных покрытий на их сорбционные свойства. Обсуждены вероятные механизмы сорбции биополимеров на исследованных сорбентах. Использование разработанных подходов при анализе свойств сорбентов и полученных данных открывает новые возможности для синтеза композиционных сорбентов с комплексом заданных свойств. Показано, что ПАНИ и полиарамиды демонстрируют сходные сорбционные свойства при взаимодействии с нуклеиновыми кислотами, но в разной степени удерживают белки. В нейтральной водной среде, оптимальной для разделения смесей биополимеров, полиарамиды, хотя и не удерживали ДНК, имели меньшее сродство к белкам по сравнению с ПАНИ. Выход ДНК после пропускания образцов через слой частиц ПАНИ-модифици-рованного кремнезема оказался максимальным по сравнению с сорбентами, модифицированными полиарамидами. Таким ообразом, ПАНИ-содержащие композиты предпочтительны в качестве носителей для одностадийного выделения нуклеиновых кислот из сложных биологических смесей. В статье цитируются результаты систематических исследований авторов статьи по разработке сорбентов для одностадийного выделения биополимеров из сложных биологических смесей.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Льяо, Д.-Дж.
Зыбин, Д.И.
Простякова, А.И.
Ягудаева, Е.Ю.
Вихров, А.А.
Ищенко, А.А.
Зубов, В.П.
Капустин, Д.В.

24.5
Ф 16


    Фазовые равновесия в системе K,Са//SO4,HCO3,F-H2O при 25 °с [Текст] / И. Джабборов [и др.] // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2018. - Т.61(3). - С. 26-30
ББК 24.5

Рубрики: Физическая химия. Химическая физика

Кл.слова (ненормированные):
система -- метод трансляции -- фазовые равновесия -- компоненты -- диаграмма -- нонвариантные точки -- моновариантные кривые -- геометрические образы -- дивариантные поля -- химия
Аннотация: В статье рассмотрены результаты исследования по определению возможных фазовых равновесий на геометрических образах пятикомпонентной взаимной водно-солевой системе из сульфатов, гидрокарбонатов, фторидов калия и кальция при 25 °С с последующим построением её диаграммы фазового комплекса. Знание закономерностей, определяющих строение фазового комплекса данной системы, необходимо не только для получения новых научных данных как справочный материал, но и для того, чтобы способствовать созданию оптимальных условий для утилизации жидких отходов промышленного производства алюминия, содержащих составляющие данную систему соли. Для решения постановленной задачи нами использован метод трансляции, который основан на положении, согласно которому размерность геометрических образов диаграммы исходной (частной) системы при добавлении последующего компонента увеличивается на единицу, за счет его концентрации, т.е. трансформируются. Так как исследуемая пятикомпонентная система состоит из пяти частных четырёхкомпонентных систем, то добавление в любой из них пятого компонента сопровождается трансформаций геометрических образов всех пяти четырёхкомпонентных систем. Трансформированные геометрические образы согласно своим топологическим свойствам транслируются на уровень пятикомпонентного состава. На уровне пятикомпонентного состава трансформированные геометрические образы, с соблюдением правила фаз Гиббса, взаимно пересекаются, образуя при этом геометрические образы данного уровня компонентности. Исследование фазовых равновесий пятикомпонентной водно-солевой взаимной системы из сульфатов, гидрокарбонатов, фторидов калия и кальция и построение её диаграммы фазового комплекса методом трансляции (при 0 °С) показало, что она характеризуется наличием пятнадцати дивариантных полей, тринадцати моновариантных кривых и четырёх нонвариантных точек. На основании полученных данных впервые построена полная замкнутая фазовая диаграмма исследованной системы, и для удобства её чтения фрагментирована по областям дивариантных равновесий.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Джабборов , И.
Солиев , Л.
Низомов , И.
Мусоджонова , Д.

Фазовые равновесия в системе K,Са//SO4,HCO3,F-H2O при 25 °с [Текст] / И. Джабборов [и др.] // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2018. Т.61(3).- С.26-30

15.

Фазовые равновесия в системе K,Са//SO4,HCO3,F-H2O при 25 °с [Текст] / И. Джабборов [и др.] // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2018. Т.61(3).- С.26-30


24.5
Ф 16


    Фазовые равновесия в системе K,Са//SO4,HCO3,F-H2O при 25 °с [Текст] / И. Джабборов [и др.] // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2018. - Т.61(3). - С. 26-30
ББК 24.5

Рубрики: Физическая химия. Химическая физика

Кл.слова (ненормированные):
система -- метод трансляции -- фазовые равновесия -- компоненты -- диаграмма -- нонвариантные точки -- моновариантные кривые -- геометрические образы -- дивариантные поля -- химия
Аннотация: В статье рассмотрены результаты исследования по определению возможных фазовых равновесий на геометрических образах пятикомпонентной взаимной водно-солевой системе из сульфатов, гидрокарбонатов, фторидов калия и кальция при 25 °С с последующим построением её диаграммы фазового комплекса. Знание закономерностей, определяющих строение фазового комплекса данной системы, необходимо не только для получения новых научных данных как справочный материал, но и для того, чтобы способствовать созданию оптимальных условий для утилизации жидких отходов промышленного производства алюминия, содержащих составляющие данную систему соли. Для решения постановленной задачи нами использован метод трансляции, который основан на положении, согласно которому размерность геометрических образов диаграммы исходной (частной) системы при добавлении последующего компонента увеличивается на единицу, за счет его концентрации, т.е. трансформируются. Так как исследуемая пятикомпонентная система состоит из пяти частных четырёхкомпонентных систем, то добавление в любой из них пятого компонента сопровождается трансформаций геометрических образов всех пяти четырёхкомпонентных систем. Трансформированные геометрические образы согласно своим топологическим свойствам транслируются на уровень пятикомпонентного состава. На уровне пятикомпонентного состава трансформированные геометрические образы, с соблюдением правила фаз Гиббса, взаимно пересекаются, образуя при этом геометрические образы данного уровня компонентности. Исследование фазовых равновесий пятикомпонентной водно-солевой взаимной системы из сульфатов, гидрокарбонатов, фторидов калия и кальция и построение её диаграммы фазового комплекса методом трансляции (при 0 °С) показало, что она характеризуется наличием пятнадцати дивариантных полей, тринадцати моновариантных кривых и четырёх нонвариантных точек. На основании полученных данных впервые построена полная замкнутая фазовая диаграмма исследованной системы, и для удобства её чтения фрагментирована по областям дивариантных равновесий.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Джабборов , И.
Солиев , Л.
Низомов , И.
Мусоджонова , Д.

24.5
Е 92

Ефремов , А. М.
    Параметры плазмы и кинетика активных частиц в смеси CF4+C4F8+Ar [Текст] / А. М. Ефремов , Д. Б. Мурин, К. Х. Квон // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2018. - Т.61(4-5). - С. 31-36
ББК 24.5

Рубрики: Физическая химия. Химическая физика

Кл.слова (ненормированные):
CF4 -- C4F8 -- скорость реакции -- энергия ионов -- концентрация -- поток -- травление -- полимеризация
Аннотация: В данной работе обсуждаются взаимосвязи между начальным составом смеси CF4 + C4F8 + Ar, характеристиками газовой фазы и кинетикой гетерогенных процессов в условиях плазмы индукционного разряда пониженного давления. Целью работы являлось исследование зависимостей внутренних параметров плазмы (температура электронов, концентрация электронов, энергия ионной бомбардировки) и кинетики активных частиц от соотношения компонентов CF4/C4F8 в плазмообразующей смеси, а также выявление механизмов влияния указанных параметров на такие характеристики «сухого» травления, как скорость травления и селективность. Исследования проводились методами диагностики плазмы двойным зондом Лангмюра и моделирования плазмы в условиях планарного индукционного плазмохимического реактора. Эксперименты и расчеты проводились при постоянном давлении газа (10 мтор), вкладываемой мощности (800 Вт) и мощности смещения (150 Вт), при этом отношение CF4/C4F8 варьировалось изменением парциальных скоростей потока этих газов. Было найдено, что замещение CF4 на C4F8 в плазмообразующем газе CF4 + C4F8 + Ar приводит к снижению скорости генерации атомов фтора и плотности их потока на обрабатываемую поверхность из-за снижения концентрации в объеме плазмы. Предположено, что рост концентрации и плотности потока ненасыщенных радикалов CFx (x=1,2) в смесях с большим содержанием C4F8 при близких к постоянным значениях плотности потока энергии ионов (т.е. близкой к постоянной эффективности ионной бомбардировки) способствует снижению эффективной вероятности взаимодействия атомов фтора за счет увеличения толщины фторуглеродной полимерной пленки на обрабатываемой поверхности.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Мурин, Д.Б.
Квон , К.Х.

Ефремов , А.М. Параметры плазмы и кинетика активных частиц в смеси CF4+C4F8+Ar [Текст] / А. М. Ефремов , Д. Б. Мурин, К. Х. Квон // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2018. Т.61(4-5).- С.31-36

16.

Ефремов , А.М. Параметры плазмы и кинетика активных частиц в смеси CF4+C4F8+Ar [Текст] / А. М. Ефремов , Д. Б. Мурин, К. Х. Квон // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2018. Т.61(4-5).- С.31-36


24.5
Е 92

Ефремов , А. М.
    Параметры плазмы и кинетика активных частиц в смеси CF4+C4F8+Ar [Текст] / А. М. Ефремов , Д. Б. Мурин, К. Х. Квон // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2018. - Т.61(4-5). - С. 31-36
ББК 24.5

Рубрики: Физическая химия. Химическая физика

Кл.слова (ненормированные):
CF4 -- C4F8 -- скорость реакции -- энергия ионов -- концентрация -- поток -- травление -- полимеризация
Аннотация: В данной работе обсуждаются взаимосвязи между начальным составом смеси CF4 + C4F8 + Ar, характеристиками газовой фазы и кинетикой гетерогенных процессов в условиях плазмы индукционного разряда пониженного давления. Целью работы являлось исследование зависимостей внутренних параметров плазмы (температура электронов, концентрация электронов, энергия ионной бомбардировки) и кинетики активных частиц от соотношения компонентов CF4/C4F8 в плазмообразующей смеси, а также выявление механизмов влияния указанных параметров на такие характеристики «сухого» травления, как скорость травления и селективность. Исследования проводились методами диагностики плазмы двойным зондом Лангмюра и моделирования плазмы в условиях планарного индукционного плазмохимического реактора. Эксперименты и расчеты проводились при постоянном давлении газа (10 мтор), вкладываемой мощности (800 Вт) и мощности смещения (150 Вт), при этом отношение CF4/C4F8 варьировалось изменением парциальных скоростей потока этих газов. Было найдено, что замещение CF4 на C4F8 в плазмообразующем газе CF4 + C4F8 + Ar приводит к снижению скорости генерации атомов фтора и плотности их потока на обрабатываемую поверхность из-за снижения концентрации в объеме плазмы. Предположено, что рост концентрации и плотности потока ненасыщенных радикалов CFx (x=1,2) в смесях с большим содержанием C4F8 при близких к постоянным значениях плотности потока энергии ионов (т.е. близкой к постоянной эффективности ионной бомбардировки) способствует снижению эффективной вероятности взаимодействия атомов фтора за счет увеличения толщины фторуглеродной полимерной пленки на обрабатываемой поверхности.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Мурин, Д.Б.
Квон , К.Х.

24
М 54


    Методы синтеза полиэфиримидов [Текст] / Ж. И. Курданова [и др.] // Известия высших учебных заведений. - Иваново, 2019. - №6. - С. 4-14. - (Серия химия и химическая технология)
ББК 24

Рубрики: Химия

Кл.слова (ненормированные):
полиэфиримид -- высокотемпературная поликонденсация -- сополимер -- химия -- полимерная цепь -- амидные растворители -- хлорированный углеводород -- ароматическое замещение -- поликонденсация
Аннотация: В обзоре обобщены и систематизированы известные к настоящему времени данные в области синтеза полиэфиримидов. Полиэфиримиды являются перспективным классом высококачественных полимерных материалов с ценным комплексом свойств, которые можно направленно менять соответствующим дизайном полимерной цепи. Так, для получения полиэфиримида с более низкой температурой стеклования в макромолекулу вводят как можно больше простых эфирных связей, а также м-фениленовые фрагменты, повышающие гибкость полимерной цепи. Полиэфиримиды такой структуры являются аморфными и растворимыми в ряде амидных растворителей и хлорированных углеводородах. Подробно рассмотрены три основных способа получения полиэфиримида: высокотемпературная поликонденсация методом нуклеофильного замещения в растворе, поликонденсация в расплаве и получение полиэфиримида непосредственно в процессе экструзии. Наиболее перспективным на сегодняшний день остается метод высокотемпературной поликонденсации в растворе реакцией нуклеофильного ароматического замещения. В качестве галогенсодержащего мономера в синтезе используются хлор- или фторфталевые ангидриды. Реакция взаимодействия диаминов с хлорфталевым ангидридом протекает при более низких скоростях в сравнении с фторсодержащим аналогом. Однако использование фторфталевого ангидрида оказалось нецелесообразным с экономической точки зрения. Экономическая доступность соответствующих нитрозамещенных фталевых производных и высокие скорости смещения нитрогрупп с помощью арилоксидных ионов позволяют получать коммерчески доступные полимеры. В качестве растворителей возможно применение апротонных диполярных (диметилсульфоксид, N,N-диметилформамид, N,N-диметилацетамид, N-метилпирролидон и т.д.), неполярных органических (о-дихлорбензол, хлористый метилен и т.д.) и фенольных растворителей. Однако все большее внимание исследователей привлекает синтез в среде о-дихлорбензола.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Курданова, Ж.И.
Шахмурзова, К.Т.
Жанситов, А.А.
Байкзиев, А.Э.
Теонова, К.Х.
Хаширова, С.Ю.

Методы синтеза полиэфиримидов [Текст] / Ж. И. Курданова [и др.] // Известия высших учебных заведений. - Иваново, 2019. - №6.- С.4-14

17.

Методы синтеза полиэфиримидов [Текст] / Ж. И. Курданова [и др.] // Известия высших учебных заведений. - Иваново, 2019. - №6.- С.4-14


24
М 54


    Методы синтеза полиэфиримидов [Текст] / Ж. И. Курданова [и др.] // Известия высших учебных заведений. - Иваново, 2019. - №6. - С. 4-14. - (Серия химия и химическая технология)
ББК 24

Рубрики: Химия

Кл.слова (ненормированные):
полиэфиримид -- высокотемпературная поликонденсация -- сополимер -- химия -- полимерная цепь -- амидные растворители -- хлорированный углеводород -- ароматическое замещение -- поликонденсация
Аннотация: В обзоре обобщены и систематизированы известные к настоящему времени данные в области синтеза полиэфиримидов. Полиэфиримиды являются перспективным классом высококачественных полимерных материалов с ценным комплексом свойств, которые можно направленно менять соответствующим дизайном полимерной цепи. Так, для получения полиэфиримида с более низкой температурой стеклования в макромолекулу вводят как можно больше простых эфирных связей, а также м-фениленовые фрагменты, повышающие гибкость полимерной цепи. Полиэфиримиды такой структуры являются аморфными и растворимыми в ряде амидных растворителей и хлорированных углеводородах. Подробно рассмотрены три основных способа получения полиэфиримида: высокотемпературная поликонденсация методом нуклеофильного замещения в растворе, поликонденсация в расплаве и получение полиэфиримида непосредственно в процессе экструзии. Наиболее перспективным на сегодняшний день остается метод высокотемпературной поликонденсации в растворе реакцией нуклеофильного ароматического замещения. В качестве галогенсодержащего мономера в синтезе используются хлор- или фторфталевые ангидриды. Реакция взаимодействия диаминов с хлорфталевым ангидридом протекает при более низких скоростях в сравнении с фторсодержащим аналогом. Однако использование фторфталевого ангидрида оказалось нецелесообразным с экономической точки зрения. Экономическая доступность соответствующих нитрозамещенных фталевых производных и высокие скорости смещения нитрогрупп с помощью арилоксидных ионов позволяют получать коммерчески доступные полимеры. В качестве растворителей возможно применение апротонных диполярных (диметилсульфоксид, N,N-диметилформамид, N,N-диметилацетамид, N-метилпирролидон и т.д.), неполярных органических (о-дихлорбензол, хлористый метилен и т.д.) и фенольных растворителей. Однако все большее внимание исследователей привлекает синтез в среде о-дихлорбензола.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Курданова, Ж.И.
Шахмурзова, К.Т.
Жанситов, А.А.
Байкзиев, А.Э.
Теонова, К.Х.
Хаширова, С.Ю.

22.3
Л 38


    Doping of fluorine of tin dioxide films synthesized by sol-gel methodd [Текст] = Легирование фтором пленок диоксида олова синтезированных золь-гель методом / E.A. Dmitriyeva [et al.] // Известия НАН РК. Серия геологии и технических наук. - 2019. - №1. - С. 73-79
ББК 22.3

Рубрики: Физика

Кл.слова (ненормированные):
легирование фтором -- золь-гель технология -- оксид олова -- структура -- тонкие пленки -- чувствительность к этанолу -- физика
Аннотация: В статье рассмотрены оптические свойства, поверхностное сопротивление, адсорбционная чувствительность к парам этанола и структура нанопленок SnO2, синтезированных золь-гель методом. Пленки, полученные из золя с добавлением NH4F, имеют на 4-5% более высокую прозрачность, чем пленки, полученные из золя без добавок. Обнаружено увеличение адгезии пленок, синтезированных с добавлением NH4F, к поверхности стеклянной подложки. Показано наличие ионов F- в матрице SnO2 в качестве дополнительных источников свободных носителей заряда. Пленки, полученные как из золя, так и с добавлением фторида аммония демонстрируют характерную для SnO2 нелинейную зависимость сопротивления от температуры. Пленка, полученная из золя, состоит из глобул, отдельно стоящих или сгруппированных. Добавление фторида аммония к золю привело к образованию дендритной структуры пленок. Пленки, полученные как из золя без добавок, так и с добавлением NH4F, могут быть использованы в качестве чувствительного элемента в газоанализаторах, для определения малых концентраций паров этанола. Получен важный технический результат – уменьшение времени отклика до 2 секунд к парам этанола как для пленок с добавлением NH4F, так и без добавок. Однако, для определения концентраций от 0,1 до 0,6 мг/л более предпочтительны пленки, синтезированные из золя с добавлением NH4F.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Dmitriyeva, E.A.
Mukhamedshina, D.M.
Mit, K.A.
Lebedev, I.А.
Girina, I.I.
Fedosimova, A.I.
Grushevskaja, E.A.

Doping of fluorine of tin dioxide films synthesized by sol-gel methodd [Текст] / E.A. Dmitriyeva [et al.] // Известия НАН РК. Серия геологии и технических наук. - 2019. - №1.- С.73-79

18.

Doping of fluorine of tin dioxide films synthesized by sol-gel methodd [Текст] / E.A. Dmitriyeva [et al.] // Известия НАН РК. Серия геологии и технических наук. - 2019. - №1.- С.73-79


22.3
Л 38


    Doping of fluorine of tin dioxide films synthesized by sol-gel methodd [Текст] = Легирование фтором пленок диоксида олова синтезированных золь-гель методом / E.A. Dmitriyeva [et al.] // Известия НАН РК. Серия геологии и технических наук. - 2019. - №1. - С. 73-79
ББК 22.3

Рубрики: Физика

Кл.слова (ненормированные):
легирование фтором -- золь-гель технология -- оксид олова -- структура -- тонкие пленки -- чувствительность к этанолу -- физика
Аннотация: В статье рассмотрены оптические свойства, поверхностное сопротивление, адсорбционная чувствительность к парам этанола и структура нанопленок SnO2, синтезированных золь-гель методом. Пленки, полученные из золя с добавлением NH4F, имеют на 4-5% более высокую прозрачность, чем пленки, полученные из золя без добавок. Обнаружено увеличение адгезии пленок, синтезированных с добавлением NH4F, к поверхности стеклянной подложки. Показано наличие ионов F- в матрице SnO2 в качестве дополнительных источников свободных носителей заряда. Пленки, полученные как из золя, так и с добавлением фторида аммония демонстрируют характерную для SnO2 нелинейную зависимость сопротивления от температуры. Пленка, полученная из золя, состоит из глобул, отдельно стоящих или сгруппированных. Добавление фторида аммония к золю привело к образованию дендритной структуры пленок. Пленки, полученные как из золя без добавок, так и с добавлением NH4F, могут быть использованы в качестве чувствительного элемента в газоанализаторах, для определения малых концентраций паров этанола. Получен важный технический результат – уменьшение времени отклика до 2 секунд к парам этанола как для пленок с добавлением NH4F, так и без добавок. Однако, для определения концентраций от 0,1 до 0,6 мг/л более предпочтительны пленки, синтезированные из золя с добавлением NH4F.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Dmitriyeva, E.A.
Mukhamedshina, D.M.
Mit, K.A.
Lebedev, I.А.
Girina, I.I.
Fedosimova, A.I.
Grushevskaja, E.A.

42.3
М 23

Манабай, М.
    Влияние и трансформация фтора и тяжелых металлов на почвы и виноградники [Текст] / М. Манабай, К. Г. Оразбеков, М. Д. Шыныбаев // Ізденіс = Поиск. - 2018. - №4. - С. 183-187. - (Серия естественных и технических наук: ISSN-1560-1730)
ББК 42.3

Рубрики: Садоводство

Кл.слова (ненормированные):
Виноград -- биология -- мелиорация -- фтор -- свинец -- кадмий -- биомелиоративные подходы -- деформирование листьев
Аннотация: Основной причиной снижения качества и продуктивности винограда признаны такие техногенные загрязнители как фтор, тяжелые металлы, изучены особенности поглощения и распределения этих веществ в различных органах одно и многолетних винограда, выявлена биогенная реакция почвы виноградников на техногенные загрязнители как среды, определяющий особенности минерального и других форм питания растений винограда и формирование качества ягод
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Оразбеков, К.Г.
Шыныбаев , М.Д.

Манабай, М. Влияние и трансформация фтора и тяжелых металлов на почвы и виноградники [Текст] / М. Манабай, К. Г. Оразбеков, М. Д. Шыныбаев // Ізденіс = Поиск. - 2018. - №4.- С.183-187

19.

Манабай, М. Влияние и трансформация фтора и тяжелых металлов на почвы и виноградники [Текст] / М. Манабай, К. Г. Оразбеков, М. Д. Шыныбаев // Ізденіс = Поиск. - 2018. - №4.- С.183-187


42.3
М 23

Манабай, М.
    Влияние и трансформация фтора и тяжелых металлов на почвы и виноградники [Текст] / М. Манабай, К. Г. Оразбеков, М. Д. Шыныбаев // Ізденіс = Поиск. - 2018. - №4. - С. 183-187. - (Серия естественных и технических наук: ISSN-1560-1730)
ББК 42.3

Рубрики: Садоводство

Кл.слова (ненормированные):
Виноград -- биология -- мелиорация -- фтор -- свинец -- кадмий -- биомелиоративные подходы -- деформирование листьев
Аннотация: Основной причиной снижения качества и продуктивности винограда признаны такие техногенные загрязнители как фтор, тяжелые металлы, изучены особенности поглощения и распределения этих веществ в различных органах одно и многолетних винограда, выявлена биогенная реакция почвы виноградников на техногенные загрязнители как среды, определяющий особенности минерального и других форм питания растений винограда и формирование качества ягод
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Оразбеков, К.Г.
Шыныбаев , М.Д.

24
Е 92

Ефремов, А. М.
    Параметры и состав плазмы CF4 + O2 + Ar И CHF3 + O2 +Ar в процессах реактивно-ионного травления [Текст] / А. М. Ефремов // Известия высших учебных заведений серия Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62 (12). - С. 108-118
ББК 24

Рубрики: Химические науки

Кл.слова (ненормированные):
реактивно-ионное травление -- плазма -- ионизациядиссоциация -- полимеризация -- кинетика -- механизм
Аннотация: Проведен сравнительный анализ плазменных систем CF4+O2+Ar и CHF3+O2+Ar в условиях, характерных для процессов реактивно-ионного травления кремния и его соединений. Данные по внутренним параметрам плазмы, кинетике плазмохимических процессов и стационарному составу газовой фазы были получены при анализе описания диагностики плазмы зондами Лангмюра и 0-мерной (глобальной) модели плазмы. Как описано в литературе, условия эксперимента и моделирования соответствовали постоянным значениям общего давления плазмообразующего газа, вкладываемой мощности и мощности смещения. В результате выполнения работы: 1) установлены механизмы влияния кислорода на стационарные концентрации активных частиц через кинетику процессов при электронном ударе и реакции атомно-молекулярного взаимодействия; 2) выявлены особенности кинетики атомов фтора и фторуглеродных радикалов, формирующих химическую активность и полимеризационную нагрузку плазмы на контактирующие с ней поверхности и 3) проведен модельный анализ кинетики гетерогенных процессов (травление, полимеризация, деструкция полимерной пленки), определяющих режим травления и его выходные характеристики. Установлено, что замещение аргона на кислород в обеих смесях: 1) приводит к монотонному росту концентрации атомов фтора; 2) сопровождается снижением полимеризационной нагрузки газовой фазы на контактирующие с ней поверхности и 3) вызывает резкое (до двух порядков величины при ~ 20% О2) уменьшение толщины фторуглеродной полимерной пленки при сохранении более высоких значений для системы CHF3+O2+Ar.
Держатели документа:
ЗКГУ

Ефремов, А.М. Параметры и состав плазмы CF4 + O2 + Ar И CHF3 + O2 +Ar в процессах реактивно-ионного травления [Текст] / А. М. Ефремов // Известия высших учебных заведений серия Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62 (12).- С.108-118

20.

Ефремов, А.М. Параметры и состав плазмы CF4 + O2 + Ar И CHF3 + O2 +Ar в процессах реактивно-ионного травления [Текст] / А. М. Ефремов // Известия высших учебных заведений серия Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62 (12).- С.108-118


24
Е 92

Ефремов, А. М.
    Параметры и состав плазмы CF4 + O2 + Ar И CHF3 + O2 +Ar в процессах реактивно-ионного травления [Текст] / А. М. Ефремов // Известия высших учебных заведений серия Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62 (12). - С. 108-118
ББК 24

Рубрики: Химические науки

Кл.слова (ненормированные):
реактивно-ионное травление -- плазма -- ионизациядиссоциация -- полимеризация -- кинетика -- механизм
Аннотация: Проведен сравнительный анализ плазменных систем CF4+O2+Ar и CHF3+O2+Ar в условиях, характерных для процессов реактивно-ионного травления кремния и его соединений. Данные по внутренним параметрам плазмы, кинетике плазмохимических процессов и стационарному составу газовой фазы были получены при анализе описания диагностики плазмы зондами Лангмюра и 0-мерной (глобальной) модели плазмы. Как описано в литературе, условия эксперимента и моделирования соответствовали постоянным значениям общего давления плазмообразующего газа, вкладываемой мощности и мощности смещения. В результате выполнения работы: 1) установлены механизмы влияния кислорода на стационарные концентрации активных частиц через кинетику процессов при электронном ударе и реакции атомно-молекулярного взаимодействия; 2) выявлены особенности кинетики атомов фтора и фторуглеродных радикалов, формирующих химическую активность и полимеризационную нагрузку плазмы на контактирующие с ней поверхности и 3) проведен модельный анализ кинетики гетерогенных процессов (травление, полимеризация, деструкция полимерной пленки), определяющих режим травления и его выходные характеристики. Установлено, что замещение аргона на кислород в обеих смесях: 1) приводит к монотонному росту концентрации атомов фтора; 2) сопровождается снижением полимеризационной нагрузки газовой фазы на контактирующие с ней поверхности и 3) вызывает резкое (до двух порядков величины при ~ 20% О2) уменьшение толщины фторуглеродной полимерной пленки при сохранении более высоких значений для системы CHF3+O2+Ar.
Держатели документа:
ЗКГУ

Страница 2, Результатов: 34

 

Все поступления за 
Или выберите интересующий месяц