Электронный каталог


 

База данных: Статьи

Страница 1, Результатов: 19

Отмеченные записи: 0

65
А 56

Альжанова , Н. Ш.
    Анализ проблем и рисков рынка системных услуг энергетики Казахстана [Текст] / Н. Ш. Альжанова // Вестник КазНУ. Серия экономическая. - 2013. - №5. - С. 27-32
ББК 65

Рубрики: Экономика

Кл.слова (ненормированные):
инновация -- системные услуги -- стратегия -- предприятие -- Казахстан -- производство -- предприятие -- сетевое резервирование -- баланс -- конкуренция -- экономика -- государство -- политика -- риск -- бизнес -- инфраструктура -- финансы -- макроэкономика -- проект -- электроснабжение -- либеральный рынок -- электроэнергетика -- рынок -- затраты -- прибыль
Аннотация: В статье рассматривается особенности рынка электроэнергетики является неэластичность спроса на электричество и непрерывность всех процессов.
Держатели документа:
ЗКГУ

Альжанова , Н.Ш. Анализ проблем и рисков рынка системных услуг энергетики Казахстана [Текст] / Н. Ш. Альжанова // Вестник КазНУ. Серия экономическая. - 2013. - №5.- С.27-32

1.

Альжанова , Н.Ш. Анализ проблем и рисков рынка системных услуг энергетики Казахстана [Текст] / Н. Ш. Альжанова // Вестник КазНУ. Серия экономическая. - 2013. - №5.- С.27-32


65
А 56

Альжанова , Н. Ш.
    Анализ проблем и рисков рынка системных услуг энергетики Казахстана [Текст] / Н. Ш. Альжанова // Вестник КазНУ. Серия экономическая. - 2013. - №5. - С. 27-32
ББК 65

Рубрики: Экономика

Кл.слова (ненормированные):
инновация -- системные услуги -- стратегия -- предприятие -- Казахстан -- производство -- предприятие -- сетевое резервирование -- баланс -- конкуренция -- экономика -- государство -- политика -- риск -- бизнес -- инфраструктура -- финансы -- макроэкономика -- проект -- электроснабжение -- либеральный рынок -- электроэнергетика -- рынок -- затраты -- прибыль
Аннотация: В статье рассматривается особенности рынка электроэнергетики является неэластичность спроса на электричество и непрерывность всех процессов.
Держатели документа:
ЗКГУ

22.33
Б 18

Байдрахманов, Е. Б
    Электр тізбегін құрастыру.Электротехникалық материалдармен жұмыс [Текст] / Е.Б Байдрахманов // №3. - Б. 28-29
ББК 22.33

Рубрики: электричество

Кл.слова (ненормированные):
электротехникалық -- құралдар -- электр -- қауіпсіздік -- электр шам -- сым
Аннотация: Электротехникалық материалдар түрлерімен жұмыстану, электр құралдарымен істеу ретін меңгерту, электр тізбегін құрастыру жолдарын үйрету.
Держатели документа:
БҚМУ

Байдрахманов, Е.Б Электр тізбегін құрастыру.Электротехникалық материалдармен жұмыс [Текст] / Е.Б Байдрахманов // . - Алматы : Нұр. - №3.- Б.28-29

2.

Байдрахманов, Е.Б Электр тізбегін құрастыру.Электротехникалық материалдармен жұмыс [Текст] / Е.Б Байдрахманов // . - Алматы : Нұр. - №3.- Б.28-29


22.33
Б 18

Байдрахманов, Е. Б
    Электр тізбегін құрастыру.Электротехникалық материалдармен жұмыс [Текст] / Е.Б Байдрахманов // №3. - Б. 28-29
ББК 22.33

Рубрики: электричество

Кл.слова (ненормированные):
электротехникалық -- құралдар -- электр -- қауіпсіздік -- электр шам -- сым
Аннотация: Электротехникалық материалдар түрлерімен жұмыстану, электр құралдарымен істеу ретін меңгерту, электр тізбегін құрастыру жолдарын үйрету.
Держатели документа:
БҚМУ

22.33
Б 19

Байкушикова, Г. С.
    Еуропалық одақтың энергетикалық саясатындағы жаңартылған энергия көздерінің орны мен рөлі [Текст] / Г. С. Байкушикова // КазНУ им Аль-Фараби. - 2014. - № 1. - Б. 70-74 (Халықаралық қатынастар және халықаралық құқық сериясы)
ББК 22.33

Рубрики: электричество

Кл.слова (ненормированные):
еуропалық одақ -- энергетикалық саясат -- энергияның балама көздері
Аннотация: Бұл мақалада еуропалық одақ мысалында жаңаратын энеригия көздерін игеру, оларды пайдалануды ұйымдастыру және болашақ үдерісіне ғылыми талдау жасаланды.
Держатели документа:
БҚМУ

Байкушикова, Г.С. Еуропалық одақтың энергетикалық саясатындағы жаңартылған энергия көздерінің орны мен рөлі [Текст] / Г. С. Байкушикова // КазНУ им Аль-Фараби. - 2014. - № 1.- Б.70-74 (Халықаралық қатынастар және халықаралық құқық сериясы)

3.

Байкушикова, Г.С. Еуропалық одақтың энергетикалық саясатындағы жаңартылған энергия көздерінің орны мен рөлі [Текст] / Г. С. Байкушикова // КазНУ им Аль-Фараби. - 2014. - № 1.- Б.70-74 (Халықаралық қатынастар және халықаралық құқық сериясы)


22.33
Б 19

Байкушикова, Г. С.
    Еуропалық одақтың энергетикалық саясатындағы жаңартылған энергия көздерінің орны мен рөлі [Текст] / Г. С. Байкушикова // КазНУ им Аль-Фараби. - 2014. - № 1. - Б. 70-74 (Халықаралық қатынастар және халықаралық құқық сериясы)
ББК 22.33

Рубрики: электричество

Кл.слова (ненормированные):
еуропалық одақ -- энергетикалық саясат -- энергияның балама көздері
Аннотация: Бұл мақалада еуропалық одақ мысалында жаңаратын энеригия көздерін игеру, оларды пайдалануды ұйымдастыру және болашақ үдерісіне ғылыми талдау жасаланды.
Держатели документа:
БҚМУ

22.3.
А 66

Андрусенко, Н. А.
    Тестовые задания по биофизике "Электричество" [Текст] / Н. А. Андрусенко // Ашық сабақ.Факультативті сабақтар=Открытый урок. Факультативные работы. - 2018. - №8,9. - С. 43-44.
ББК 22.3.

Рубрики: Физика.

Кл.слова (ненормированные):
тестовые задания -- биофизика -- электричество -- электрофизиология -- напряжение -- электрическое сопротивление -- электрический разряд
Аннотация: В статье представлены тестовые задания по биофизике на тему: "Электричество".
Держатели документа:
ЗКГУ им.М.Утемисова.

Андрусенко, Н.А. Тестовые задания по биофизике "Электричество" [Текст] / Н. А. Андрусенко // Ашық сабақ.Факультативті сабақтар=Открытый урок. Факультативные работы. - 2018. - №8,9.- С.43-44.

4.

Андрусенко, Н.А. Тестовые задания по биофизике "Электричество" [Текст] / Н. А. Андрусенко // Ашық сабақ.Факультативті сабақтар=Открытый урок. Факультативные работы. - 2018. - №8,9.- С.43-44.


22.3.
А 66

Андрусенко, Н. А.
    Тестовые задания по биофизике "Электричество" [Текст] / Н. А. Андрусенко // Ашық сабақ.Факультативті сабақтар=Открытый урок. Факультативные работы. - 2018. - №8,9. - С. 43-44.
ББК 22.3.

Рубрики: Физика.

Кл.слова (ненормированные):
тестовые задания -- биофизика -- электричество -- электрофизиология -- напряжение -- электрическое сопротивление -- электрический разряд
Аннотация: В статье представлены тестовые задания по биофизике на тему: "Электричество".
Держатели документа:
ЗКГУ им.М.Утемисова.

22.33
Ш 87

Штурман, В. И.
    ЧАСТОТНЫЕ ЭЛЕКТРОМАГНИТНЫЕ ПОЛЯ В ГОРОДСКОЙ СРЕДЕ КАК ОБЪЕКТ ЭКОЛОГО [Текст] / В. И. Штурман // География и природные ресурсы . - 2019. - №1. - С. 21-28
ББК 22.33

Рубрики: Электричество

Кл.слова (ненормированные):
электрические поля -- напряженность -- магнитные поля -- магнитная индукция -- высоковольтные линии -- мониторинг -- картирование
Аннотация: Изучено пространственное распределение и временная динамика частотных электрических и магнитных полей в Санкт-Петербурге, Казани, Белгороде и Петрозаводске. Установлено, что электрические поля значительной напряженности возникают только вблизи высоковольтных линий электропередачи (ВЛ). Установлено, что санитарно-защитные и запретные зоны стандартного размера не всегда обеспечивают снижение напряженности электрического поля до максимально допустимых уровней на своих границах. Таким образом, напряженность электрического поля четырех 4-х ВЛ в ​​Санкт-Петербурге увеличивается за счет массового строительства многоэтажного жилья, что приводит к увеличению энергопотребления. Была также определена зависимость напряженности электрического поля от метеорологических факторов, прежде всего от влажности воздуха (прямая зависимость) и от атмосферного давления (косвенная обратная зависимость). Магнитное поле промышленной частоты создает переменный общегородской фон, вызванный набором источников. Чем интенсивнее техногенная нагрузка, тем выше магнитная индукция, что делает его удобным геоиндикатором для картирования. Также показатели магнитной индукции отражают характеристики силовых сетей. Аномально высокие значения магнитной индукции были зафиксированы во всех городах, что объясняется влиянием электрических кабелей. Превышений допустимых уровней магнитной индукции в жилых районах не наблюдалось. Показатели магнитной индукции отражают характеристики силовых сетей. Аномально высокие значения магнитной индукции были зафиксированы во всех городах, что объясняется влиянием электрических кабелей. Превышений допустимых уровней магнитной индукции в жилых районах не наблюдалось. Показатели магнитной индукции отражают характеристики силовых сетей. Аномально высокие значения магнитной индукции были зафиксированы во всех городах, что объясняется влиянием электрических кабелей. Превышений допустимых уровней магнитной индукции в жилых районах не наблюдалось.
Держатели документа:
ЗКГУ

Штурман, В.И. ЧАСТОТНЫЕ ЭЛЕКТРОМАГНИТНЫЕ ПОЛЯ В ГОРОДСКОЙ СРЕДЕ КАК ОБЪЕКТ ЭКОЛОГО [Текст] / В. И. Штурман // География и природные ресурсы . - 2019. - №1.- С.21-28

5.

Штурман, В.И. ЧАСТОТНЫЕ ЭЛЕКТРОМАГНИТНЫЕ ПОЛЯ В ГОРОДСКОЙ СРЕДЕ КАК ОБЪЕКТ ЭКОЛОГО [Текст] / В. И. Штурман // География и природные ресурсы . - 2019. - №1.- С.21-28


22.33
Ш 87

Штурман, В. И.
    ЧАСТОТНЫЕ ЭЛЕКТРОМАГНИТНЫЕ ПОЛЯ В ГОРОДСКОЙ СРЕДЕ КАК ОБЪЕКТ ЭКОЛОГО [Текст] / В. И. Штурман // География и природные ресурсы . - 2019. - №1. - С. 21-28
ББК 22.33

Рубрики: Электричество

Кл.слова (ненормированные):
электрические поля -- напряженность -- магнитные поля -- магнитная индукция -- высоковольтные линии -- мониторинг -- картирование
Аннотация: Изучено пространственное распределение и временная динамика частотных электрических и магнитных полей в Санкт-Петербурге, Казани, Белгороде и Петрозаводске. Установлено, что электрические поля значительной напряженности возникают только вблизи высоковольтных линий электропередачи (ВЛ). Установлено, что санитарно-защитные и запретные зоны стандартного размера не всегда обеспечивают снижение напряженности электрического поля до максимально допустимых уровней на своих границах. Таким образом, напряженность электрического поля четырех 4-х ВЛ в ​​Санкт-Петербурге увеличивается за счет массового строительства многоэтажного жилья, что приводит к увеличению энергопотребления. Была также определена зависимость напряженности электрического поля от метеорологических факторов, прежде всего от влажности воздуха (прямая зависимость) и от атмосферного давления (косвенная обратная зависимость). Магнитное поле промышленной частоты создает переменный общегородской фон, вызванный набором источников. Чем интенсивнее техногенная нагрузка, тем выше магнитная индукция, что делает его удобным геоиндикатором для картирования. Также показатели магнитной индукции отражают характеристики силовых сетей. Аномально высокие значения магнитной индукции были зафиксированы во всех городах, что объясняется влиянием электрических кабелей. Превышений допустимых уровней магнитной индукции в жилых районах не наблюдалось. Показатели магнитной индукции отражают характеристики силовых сетей. Аномально высокие значения магнитной индукции были зафиксированы во всех городах, что объясняется влиянием электрических кабелей. Превышений допустимых уровней магнитной индукции в жилых районах не наблюдалось. Показатели магнитной индукции отражают характеристики силовых сетей. Аномально высокие значения магнитной индукции были зафиксированы во всех городах, что объясняется влиянием электрических кабелей. Превышений допустимых уровней магнитной индукции в жилых районах не наблюдалось.
Держатели документа:
ЗКГУ

74(5каз)
Ш 95

Шуиншина , Ш.М.
    Вопросы обеспечения преемственности в обучении на разных уровнях образования [Текст] / Ш.М. Шуиншина // Білім-Образование. - 2018. - №3. - С. 23-28
ББК 74(5каз)

Рубрики: Образование

Кл.слова (ненормированные):
преемственность -- непрерывность образования -- учебные программы -- обновление содержания образования -- естественнонаучные дисциплины -- образовательные учебные программы -- электричество и магнетизм -- силы и движение
Аннотация: В статье проанализированы нормативные требования по обеспечению преемственности в обучении на разных уровнях образования для повышения качества подготовки будущих педагогов высшей квалификации
Держатели документа:
ЗКГУ

Шуиншина , Ш.М. Вопросы обеспечения преемственности в обучении на разных уровнях образования [Текст] / Ш.М. Шуиншина // Білім-Образование. - 2018. - №3.- С.23-28

6.

Шуиншина , Ш.М. Вопросы обеспечения преемственности в обучении на разных уровнях образования [Текст] / Ш.М. Шуиншина // Білім-Образование. - 2018. - №3.- С.23-28


74(5каз)
Ш 95

Шуиншина , Ш.М.
    Вопросы обеспечения преемственности в обучении на разных уровнях образования [Текст] / Ш.М. Шуиншина // Білім-Образование. - 2018. - №3. - С. 23-28
ББК 74(5каз)

Рубрики: Образование

Кл.слова (ненормированные):
преемственность -- непрерывность образования -- учебные программы -- обновление содержания образования -- естественнонаучные дисциплины -- образовательные учебные программы -- электричество и магнетизм -- силы и движение
Аннотация: В статье проанализированы нормативные требования по обеспечению преемственности в обучении на разных уровнях образования для повышения качества подготовки будущих педагогов высшей квалификации
Держатели документа:
ЗКГУ

22.3
К 26

Карпушев, А. В.
    Изучаем гидростатический парадокс Паскаля [Текст] / А. В. Карпушев // Физика в школе. - 2020. - №3. - С. 52 - 57
ББК 22.3

Рубрики: Физика

Кл.слова (ненормированные):
физика -- гидростатический парадокс -- гидростатическое давление -- сила гидростатического давления -- нестандартное физическое оборудование -- механика -- электричество
Аннотация: В данной статье рассматривается проблема объяснения гидростатического парадокса на основе экспериментальной установки, собранной из нестандартного оборудования автором статьи. Описывается ее устройство и приемы работы. Приведено решение задачи на расчет силы гидростатического давления на боковые границы цилиндра.
Держатели документа:
ЗКУ

Карпушев, А.В. Изучаем гидростатический парадокс Паскаля [Текст] / А. В. Карпушев // Физика в школе. - 2020. - №3.- С.52 - 57

7.

Карпушев, А.В. Изучаем гидростатический парадокс Паскаля [Текст] / А. В. Карпушев // Физика в школе. - 2020. - №3.- С.52 - 57


22.3
К 26

Карпушев, А. В.
    Изучаем гидростатический парадокс Паскаля [Текст] / А. В. Карпушев // Физика в школе. - 2020. - №3. - С. 52 - 57
ББК 22.3

Рубрики: Физика

Кл.слова (ненормированные):
физика -- гидростатический парадокс -- гидростатическое давление -- сила гидростатического давления -- нестандартное физическое оборудование -- механика -- электричество
Аннотация: В данной статье рассматривается проблема объяснения гидростатического парадокса на основе экспериментальной установки, собранной из нестандартного оборудования автором статьи. Описывается ее устройство и приемы работы. Приведено решение задачи на расчет силы гидростатического давления на боковые границы цилиндра.
Держатели документа:
ЗКУ

74.58
И 85


    Исследование кинетических процессов плотной плазмы с учетом эффекта экранировки и квантово-механических эффектов дифракции [Текст] / Г. Л. Габдуллина [и др.] // Вестник Казахского национального университета имени Аль-Фараби. - Алматы, 2018. - №1(64). - С. 106-111. - ( Серия физическая)
ББК 74.58

Рубрики: Высшее образование--Педагогика

Кл.слова (ненормированные):
образование -- знание -- педагогика -- интерактивный метод -- мультимедиа -- физика -- электричество и магнетизм -- методы преподавания -- студенты -- эффективность -- инновационный метод обучения -- занятия -- Казахстан
Аннотация: ФИЗИКИМировые исследования показали, что традиционное стандартное преподавание не дает полного усвоения темы. В связи с этим появляется необходимость изменить подход к методам преподавания в данной области. В статье рассматриваются возможности использования интерактивного метода при разработке дополнительного учебного пособия в виде мультимедийных материалов для преподавания курса «Электричество и магнетизм». Интерактивная работа со студентами и изменение роли обучающегося от пассивной к активной, является основной идеей предложенного в данной работе метода. Метод также включает обратную связь учеников с лектором и дает представление о понимании предмета и возможность корректировки ошибок студентов. В работе представлены результаты эксперимента по применению предложенного инновационного метода обучения на занятиях курса «Электричество и магнетизм» в графическом формате; на основе сравнительного анализа данных разных лет показана эффективность данного метода
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Габдуллина, Г.Л.
Габдуллина, А.Т.
Хожаев, Д.А.
Муханова, А.Қ.

Исследование кинетических процессов плотной плазмы с учетом эффекта экранировки и квантово-механических эффектов дифракции [Текст] / Г. Л. Габдуллина [и др.] // Вестник Казахского национального университета имени Аль-Фараби. - Алматы, 2018. - №1(64).- С.106-111

8.

Исследование кинетических процессов плотной плазмы с учетом эффекта экранировки и квантово-механических эффектов дифракции [Текст] / Г. Л. Габдуллина [и др.] // Вестник Казахского национального университета имени Аль-Фараби. - Алматы, 2018. - №1(64).- С.106-111


74.58
И 85


    Исследование кинетических процессов плотной плазмы с учетом эффекта экранировки и квантово-механических эффектов дифракции [Текст] / Г. Л. Габдуллина [и др.] // Вестник Казахского национального университета имени Аль-Фараби. - Алматы, 2018. - №1(64). - С. 106-111. - ( Серия физическая)
ББК 74.58

Рубрики: Высшее образование--Педагогика

Кл.слова (ненормированные):
образование -- знание -- педагогика -- интерактивный метод -- мультимедиа -- физика -- электричество и магнетизм -- методы преподавания -- студенты -- эффективность -- инновационный метод обучения -- занятия -- Казахстан
Аннотация: ФИЗИКИМировые исследования показали, что традиционное стандартное преподавание не дает полного усвоения темы. В связи с этим появляется необходимость изменить подход к методам преподавания в данной области. В статье рассматриваются возможности использования интерактивного метода при разработке дополнительного учебного пособия в виде мультимедийных материалов для преподавания курса «Электричество и магнетизм». Интерактивная работа со студентами и изменение роли обучающегося от пассивной к активной, является основной идеей предложенного в данной работе метода. Метод также включает обратную связь учеников с лектором и дает представление о понимании предмета и возможность корректировки ошибок студентов. В работе представлены результаты эксперимента по применению предложенного инновационного метода обучения на занятиях курса «Электричество и магнетизм» в графическом формате; на основе сравнительного анализа данных разных лет показана эффективность данного метода
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Габдуллина, Г.Л.
Габдуллина, А.Т.
Хожаев, Д.А.
Муханова, А.Қ.

74.58
Г 12

Габдуллина , Г. Л.
    Использование цифровые образовательных ресурсов в преподавании физики [Текст] / Г. Л. Габдуллина // Вестник КазНУ. - 2017. - №4. - С. 53-60. - (серия физическая)
ББК 74.58

Рубрики: Высшее образование. Педагогика высшей школы

Кл.слова (ненормированные):
образование -- знание -- цифровой образовательный ресурс -- информация -- педагогическая технология -- информированные технологии
Аннотация: В статье рассматривается роль цифровых образовательных ресурсов в образовании и их влияние на развитие общества в целом. Показаны пути и возможности оптимизации обучения физике на основе цифровых ресурсов. Показана значимость цифровых образовательных ресурсов для получения качественного образования. В данной работе было предложено использовать цифровые образовательные ресурсы для изучения раздела общего курса физики «Электричество и магнетизм» для студентов КазНУ. Цифровые образовательные ресурсы были разработаны с помощью программы Аdobe Flash Professional CS5.5. В работе учтены возможности осуществления контроля и проверки усвоения материала через контрольные и тестовые задания разного формата. В предложенных цифровых ресурсах модуль «тест» создан с помощью Аdobe flash professional CS5.5 и запрограммирован на языке Аctionscript. Показано, что цифровой образовательный ресурс может полноценно обеспечивать знание, усвоение и закрепление учебного материала и будет способствовать подготовке квалифицированных кадров в области естественных наук.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Габдуллина , А.Т.
Медетбекова, А.А.

Габдуллина , Г.Л. Использование цифровые образовательных ресурсов в преподавании физики [Текст] / Г. Л. Габдуллина // Вестник КазНУ. - 2017. - №4.- С.53-60

9.

Габдуллина , Г.Л. Использование цифровые образовательных ресурсов в преподавании физики [Текст] / Г. Л. Габдуллина // Вестник КазНУ. - 2017. - №4.- С.53-60


74.58
Г 12

Габдуллина , Г. Л.
    Использование цифровые образовательных ресурсов в преподавании физики [Текст] / Г. Л. Габдуллина // Вестник КазНУ. - 2017. - №4. - С. 53-60. - (серия физическая)
ББК 74.58

Рубрики: Высшее образование. Педагогика высшей школы

Кл.слова (ненормированные):
образование -- знание -- цифровой образовательный ресурс -- информация -- педагогическая технология -- информированные технологии
Аннотация: В статье рассматривается роль цифровых образовательных ресурсов в образовании и их влияние на развитие общества в целом. Показаны пути и возможности оптимизации обучения физике на основе цифровых ресурсов. Показана значимость цифровых образовательных ресурсов для получения качественного образования. В данной работе было предложено использовать цифровые образовательные ресурсы для изучения раздела общего курса физики «Электричество и магнетизм» для студентов КазНУ. Цифровые образовательные ресурсы были разработаны с помощью программы Аdobe Flash Professional CS5.5. В работе учтены возможности осуществления контроля и проверки усвоения материала через контрольные и тестовые задания разного формата. В предложенных цифровых ресурсах модуль «тест» создан с помощью Аdobe flash professional CS5.5 и запрограммирован на языке Аctionscript. Показано, что цифровой образовательный ресурс может полноценно обеспечивать знание, усвоение и закрепление учебного материала и будет способствовать подготовке квалифицированных кадров в области естественных наук.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Габдуллина , А.Т.
Медетбекова, А.А.

22.33
Е 92

Ефремов , А. М.
    О механизмах влияния кислорода на параметры газовой фазы и кинетику реактивно-ионного травления кремния в плазме НВr+Ch+O3 [Текст] / А. М. Ефремов // Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62. - №10. - С. 76-83
ББК 22.33

Рубрики: Электричество

Кл.слова (ненормированные):
ионизация -- диссоциация -- поток атомов галогенов -- поток атомов кислорода -- поток энергии ионов -- скорость травления -- эффективная вероятность взаимодействия
Аннотация: Проведено исследование влияния соотношений компонентов HBr/O2 и Cl2/O2 в плазмообразующей смеси HBr+Cl2+O2 на параметры плазмы, стационарные концентрации активных частиц и кинетику травления Si в условиях, характерных для процессов реактивно-ионного травления: давление плазмообразующего газа (p = 10 мтор), вкладываемая мощность (W = 500 Вт) и мощность смещения (Wdc = 200 Вт). Данные по внутренним параметрам плазмы и кинетике плазмохимических процессов были получены при совместном использовании диагностики плазмы зондами Лангмюра и 0-мерной (глобальной) модели плазмы. Было найдено, что варьирование соотношения HBr/O2 при постоянном содержании Cl2 в газовой смеси характеризуется более сильным влиянием на стационарный состав плазмы через реакции под действием электронного удара и процессы атомно-молекулярного взаимодействия, а также обеспечивает более широкое изменение суммарной концентрации атомов галогенов в газовой фазе. Было показано также, что варьирование соотношений HBr/O2 и Cl2/O2 в сторону увеличения концентрации кислорода сопровождается снижением скорости травления кремния, которое не коррелирует с изменениями плотностей потоков атомов галогенов и энергии ионов. Модельный анализ кинетики травления позволил заключить, что эффективная вероятность гетерогенной реакции Si + Cl/Br зависит от плотности потока окислительных частиц – атомов кислорода и радикалов OH. Причинами такой зависимости могут являть : 1) окисление кремния, приводящее к увеличению пороговой энергии взаимодействия; и 2) окисление галогенидов кремния в менее летучие соединения вида SiBrxOy и SiClxOy, которое обуславливает снижение скорости ионно-стимулированной десорбции продуктов и доли свободных центров адсорбции для атомов Cl/Br.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Рыбкин , В.В.
Бетелин, В.Б.
Кwon, K.H.

Ефремов , А.М. О механизмах влияния кислорода на параметры газовой фазы и кинетику реактивно-ионного травления кремния в плазме НВr+Ch+O3 [Текст] / А. М. Ефремов // Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62. - №10.- С.76-83

10.

Ефремов , А.М. О механизмах влияния кислорода на параметры газовой фазы и кинетику реактивно-ионного травления кремния в плазме НВr+Ch+O3 [Текст] / А. М. Ефремов // Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62. - №10.- С.76-83


22.33
Е 92

Ефремов , А. М.
    О механизмах влияния кислорода на параметры газовой фазы и кинетику реактивно-ионного травления кремния в плазме НВr+Ch+O3 [Текст] / А. М. Ефремов // Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62. - №10. - С. 76-83
ББК 22.33

Рубрики: Электричество

Кл.слова (ненормированные):
ионизация -- диссоциация -- поток атомов галогенов -- поток атомов кислорода -- поток энергии ионов -- скорость травления -- эффективная вероятность взаимодействия
Аннотация: Проведено исследование влияния соотношений компонентов HBr/O2 и Cl2/O2 в плазмообразующей смеси HBr+Cl2+O2 на параметры плазмы, стационарные концентрации активных частиц и кинетику травления Si в условиях, характерных для процессов реактивно-ионного травления: давление плазмообразующего газа (p = 10 мтор), вкладываемая мощность (W = 500 Вт) и мощность смещения (Wdc = 200 Вт). Данные по внутренним параметрам плазмы и кинетике плазмохимических процессов были получены при совместном использовании диагностики плазмы зондами Лангмюра и 0-мерной (глобальной) модели плазмы. Было найдено, что варьирование соотношения HBr/O2 при постоянном содержании Cl2 в газовой смеси характеризуется более сильным влиянием на стационарный состав плазмы через реакции под действием электронного удара и процессы атомно-молекулярного взаимодействия, а также обеспечивает более широкое изменение суммарной концентрации атомов галогенов в газовой фазе. Было показано также, что варьирование соотношений HBr/O2 и Cl2/O2 в сторону увеличения концентрации кислорода сопровождается снижением скорости травления кремния, которое не коррелирует с изменениями плотностей потоков атомов галогенов и энергии ионов. Модельный анализ кинетики травления позволил заключить, что эффективная вероятность гетерогенной реакции Si + Cl/Br зависит от плотности потока окислительных частиц – атомов кислорода и радикалов OH. Причинами такой зависимости могут являть : 1) окисление кремния, приводящее к увеличению пороговой энергии взаимодействия; и 2) окисление галогенидов кремния в менее летучие соединения вида SiBrxOy и SiClxOy, которое обуславливает снижение скорости ионно-стимулированной десорбции продуктов и доли свободных центров адсорбции для атомов Cl/Br.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Рыбкин , В.В.
Бетелин, В.Б.
Кwon, K.H.

Страница 1, Результатов: 19

 

Все поступления за 
Или выберите интересующий месяц