База данных: Статьи
Страница 1, Результатов: 8
Отмеченные записи: 0
1.
Подробнее
24
С 28
Сейлханова, Г. А.
Электрохимическое поведение таллия в различных электролитах [Текст] / Г. А. Сейлханова, Е. Ж. Усипбекова, А. Березовский, А. П. Курбатов // Әл-Фараби атындағы Қазақ Ұлттық Университеті ҚазҰУ Хабаршысы=Казахский Национальный Университет имени Аль-Фараби Вестник КазНУ. - 2014. - №2. - С. 47-52.-(серия химическая).
ББК 24
Рубрики: Химия
Кл.слова (ненормированные):
электрохимическое поведение -- таллий -- различные электролиты -- стеклоуглерод -- разряд-ионизация -- электродный процесс -- ток -- стеклоуглеродный электрод
Аннотация: Изучено электрохимическое поведение таллия на стеклоуглеродном электроде в сульфатных, нитратных и ацетатных растворах.
Держатели документа:
ЗКГУ им.М.Утемисова
Доп.точки доступа:
Усипбекова, Е.Ж.
Березовский, А.
Курбатов, А.П.
С 28
Сейлханова, Г. А.
Электрохимическое поведение таллия в различных электролитах [Текст] / Г. А. Сейлханова, Е. Ж. Усипбекова, А. Березовский, А. П. Курбатов // Әл-Фараби атындағы Қазақ Ұлттық Университеті ҚазҰУ Хабаршысы=Казахский Национальный Университет имени Аль-Фараби Вестник КазНУ. - 2014. - №2. - С. 47-52.-(серия химическая).
Рубрики: Химия
Кл.слова (ненормированные):
электрохимическое поведение -- таллий -- различные электролиты -- стеклоуглерод -- разряд-ионизация -- электродный процесс -- ток -- стеклоуглеродный электрод
Аннотация: Изучено электрохимическое поведение таллия на стеклоуглеродном электроде в сульфатных, нитратных и ацетатных растворах.
Держатели документа:
ЗКГУ им.М.Утемисова
Доп.точки доступа:
Усипбекова, Е.Ж.
Березовский, А.
Курбатов, А.П.
2.
Подробнее
24
Ж 88
Жумагалиев, С. Ж.
Масс- спектры и особенности фрагментации некоторых 2- замещенных тиофенов [Текст] / С. Ж. Жумагалиев, А. Т. Сагинаев, А. И. Абилхайров, Т. П. Сериков // Қазақстан Республикасы Ұлттық Ғылым академиясының Хабарлары=Известия Национальной Академии наук РК. - 2015. - №3. - С. 17-26.-(серия химии и технологии).
ББК 24
Рубрики: Химия
Кл.слова (ненормированные):
масс- спектр -- фрагментация -- тоифен -- ион -- электрон -- ионизация -- элиминирование -- карбкатион
Аннотация: Изучены масс- спектры некоторых 2- замещенных тиофенов с различными заместителями.
Держатели документа:
ЗКГУ им.М.Утемисова
Доп.точки доступа:
Сагинаев, А.Т.
Абилхайров, А.И.
Сериков, Т.П.
Ж 88
Жумагалиев, С. Ж.
Масс- спектры и особенности фрагментации некоторых 2- замещенных тиофенов [Текст] / С. Ж. Жумагалиев, А. Т. Сагинаев, А. И. Абилхайров, Т. П. Сериков // Қазақстан Республикасы Ұлттық Ғылым академиясының Хабарлары=Известия Национальной Академии наук РК. - 2015. - №3. - С. 17-26.-(серия химии и технологии).
Рубрики: Химия
Кл.слова (ненормированные):
масс- спектр -- фрагментация -- тоифен -- ион -- электрон -- ионизация -- элиминирование -- карбкатион
Аннотация: Изучены масс- спектры некоторых 2- замещенных тиофенов с различными заместителями.
Держатели документа:
ЗКГУ им.М.Утемисова
Доп.точки доступа:
Сагинаев, А.Т.
Абилхайров, А.И.
Сериков, Т.П.
3.
Подробнее
24.123
В 58
Влияние набухшего гидрогеля полиметакриловой кислоты и поли-4винилпиридина на сорбционную способность к ионам лантана [Текст] / Т. К. Джумадилов [и др.] // Вестник Национальной инженерной академии Республики Казахстан. - Алматы, 2018. - №1(67). - С. 31-38
ББК 24.123
Рубрики: Химия
Кл.слова (ненормированные):
интергелевая система -- сорбция -- исходное состояние -- гидрогель -- полиметакриловая кислота -- ионизация -- ионы -- полимеры -- лантан -- гидратация -- диссоциация -- ассоциация -- удельная электропроводность -- Оптическая плотность -- поликислота
Аннотация: Процесс дистанционного взаимодействия предварительно набухших гидрогелей полиметакриловой кислоты (гПМАК) и поли-4-винилпиридина (гП4ВП) исследован различными методами. Установлено, что наибольшая степень ионизации гПМАК наблюдается при соотношении гПМАК:гП4ВП=1:5, а гП4ВП – при соотношении 5:1. Установлено, что наибольшая сорбция ионов лантана происходит при соотношении гПМАК:гП4ВП=1:5 при 4 ч дистанционного взаимодействия полимеров (извлекается 86% лантана)
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Джумадилов, Т.К.
Кондауров, Р.Г.
Хакимжанов, С.А.
Химерсен, Х.
Ескалиева, Г.К.
В 58
Влияние набухшего гидрогеля полиметакриловой кислоты и поли-4винилпиридина на сорбционную способность к ионам лантана [Текст] / Т. К. Джумадилов [и др.] // Вестник Национальной инженерной академии Республики Казахстан. - Алматы, 2018. - №1(67). - С. 31-38
Рубрики: Химия
Кл.слова (ненормированные):
интергелевая система -- сорбция -- исходное состояние -- гидрогель -- полиметакриловая кислота -- ионизация -- ионы -- полимеры -- лантан -- гидратация -- диссоциация -- ассоциация -- удельная электропроводность -- Оптическая плотность -- поликислота
Аннотация: Процесс дистанционного взаимодействия предварительно набухших гидрогелей полиметакриловой кислоты (гПМАК) и поли-4-винилпиридина (гП4ВП) исследован различными методами. Установлено, что наибольшая степень ионизации гПМАК наблюдается при соотношении гПМАК:гП4ВП=1:5, а гП4ВП – при соотношении 5:1. Установлено, что наибольшая сорбция ионов лантана происходит при соотношении гПМАК:гП4ВП=1:5 при 4 ч дистанционного взаимодействия полимеров (извлекается 86% лантана)
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Джумадилов, Т.К.
Кондауров, Р.Г.
Хакимжанов, С.А.
Химерсен, Х.
Ескалиева, Г.К.
4.
Подробнее
24.6
Н 50
Немцова, М. П.
Взаимосвязь скорости каталического восстановления и растворимости изомеров нитробензойной кислоты [Текст] / М. П. Немцова, Н. Ю. Шаронов // Известия высших учебных заведений. - Иваново, 2019. - №6. - С. 53-59. - (Серия химия и химическая технология)
ББК 24.6
Рубрики: Коллоидная химия
Кл.слова (ненормированные):
изомеры нитробензойной кислоты -- растворимость -- каталитическая гидрогенизация -- скелетный никель -- скорость -- коллоидная химия -- жидкая фаза -- линейные корреляции -- внутримолекулярная водородная связь -- ионизация -- каталическое восстановление
Аннотация: Определены величины растворимости изомеров нитробензойной кислоты по концентрации раствора, находящегося в равновесии с твердой фазой, при температуре 303 К в водном растворе 2-пропанола азеотропного состава, в том числе с добавками уксусной кислоты или гидроксида натрия, с погрешностью не более 5%. Показано, что наименьшая величина растворимости во всех указанных средах наблюдается для пара-нитробензойной кислоты, а максимальная характерна для мета-изомера. Введение в состав жидкой фазы добавок кислоты или основания способствует росту растворимости для всех изомеров нитробензойной кислоты. Наиболее значительные изменения растворимости происходят в случае присутствия гидроксида натрия в составе водно-спиртового растворителя. Проведено сопоставление смещения максимумов в спектрах поглощения с изменением величины растворимости. Установлено, что с ростом растворимости скорость жидкофазной каталитической гидрогенизации изомеров нитробензойной кислоты на скелетном никелевом катализаторе снижается. Выявлены линейные корреляции между растворимостью реагентов и скоростью их восстановления. Обнаруженная взаимосвязь для пара- и мета-изомеров в нейтральной и кислой водно-спиртовых средах в первую очередь обусловлена влиянием растворимости на величину адсорбции гидрируемого соединения на поверхности никелевого катализатора. Отклонения от указанной зависимости в присутствии гидроксида натрия можно объяснить ионизацией молекул изомеров нитробензойной кислоты и перераспределением форм адсорбированного на поверхности никелевого катализатора водорода. Причина отличия подобной корреляции для изомеров, имеющих заместитель в орто-положении к нитрогруппе, заключается в возможности образования внутримолекулярной водородной связи во всех используемых средах.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Шаронов, Н.Ю.
Н 50
Немцова, М. П.
Взаимосвязь скорости каталического восстановления и растворимости изомеров нитробензойной кислоты [Текст] / М. П. Немцова, Н. Ю. Шаронов // Известия высших учебных заведений. - Иваново, 2019. - №6. - С. 53-59. - (Серия химия и химическая технология)
Рубрики: Коллоидная химия
Кл.слова (ненормированные):
изомеры нитробензойной кислоты -- растворимость -- каталитическая гидрогенизация -- скелетный никель -- скорость -- коллоидная химия -- жидкая фаза -- линейные корреляции -- внутримолекулярная водородная связь -- ионизация -- каталическое восстановление
Аннотация: Определены величины растворимости изомеров нитробензойной кислоты по концентрации раствора, находящегося в равновесии с твердой фазой, при температуре 303 К в водном растворе 2-пропанола азеотропного состава, в том числе с добавками уксусной кислоты или гидроксида натрия, с погрешностью не более 5%. Показано, что наименьшая величина растворимости во всех указанных средах наблюдается для пара-нитробензойной кислоты, а максимальная характерна для мета-изомера. Введение в состав жидкой фазы добавок кислоты или основания способствует росту растворимости для всех изомеров нитробензойной кислоты. Наиболее значительные изменения растворимости происходят в случае присутствия гидроксида натрия в составе водно-спиртового растворителя. Проведено сопоставление смещения максимумов в спектрах поглощения с изменением величины растворимости. Установлено, что с ростом растворимости скорость жидкофазной каталитической гидрогенизации изомеров нитробензойной кислоты на скелетном никелевом катализаторе снижается. Выявлены линейные корреляции между растворимостью реагентов и скоростью их восстановления. Обнаруженная взаимосвязь для пара- и мета-изомеров в нейтральной и кислой водно-спиртовых средах в первую очередь обусловлена влиянием растворимости на величину адсорбции гидрируемого соединения на поверхности никелевого катализатора. Отклонения от указанной зависимости в присутствии гидроксида натрия можно объяснить ионизацией молекул изомеров нитробензойной кислоты и перераспределением форм адсорбированного на поверхности никелевого катализатора водорода. Причина отличия подобной корреляции для изомеров, имеющих заместитель в орто-положении к нитрогруппе, заключается в возможности образования внутримолекулярной водородной связи во всех используемых средах.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Шаронов, Н.Ю.
5.
Подробнее
22.33
Е 92
Ефремов , А. М.
О механизмах влияния кислорода на параметры газовой фазы и кинетику реактивно-ионного травления кремния в плазме НВr+Ch+O3 [Текст] / А. М. Ефремов // Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62. - №10. - С. 76-83
ББК 22.33
Рубрики: Электричество
Кл.слова (ненормированные):
ионизация -- диссоциация -- поток атомов галогенов -- поток атомов кислорода -- поток энергии ионов -- скорость травления -- эффективная вероятность взаимодействия
Аннотация: Проведено исследование влияния соотношений компонентов HBr/O2 и Cl2/O2 в плазмообразующей смеси HBr+Cl2+O2 на параметры плазмы, стационарные концентрации активных частиц и кинетику травления Si в условиях, характерных для процессов реактивно-ионного травления: давление плазмообразующего газа (p = 10 мтор), вкладываемая мощность (W = 500 Вт) и мощность смещения (Wdc = 200 Вт). Данные по внутренним параметрам плазмы и кинетике плазмохимических процессов были получены при совместном использовании диагностики плазмы зондами Лангмюра и 0-мерной (глобальной) модели плазмы. Было найдено, что варьирование соотношения HBr/O2 при постоянном содержании Cl2 в газовой смеси характеризуется более сильным влиянием на стационарный состав плазмы через реакции под действием электронного удара и процессы атомно-молекулярного взаимодействия, а также обеспечивает более широкое изменение суммарной концентрации атомов галогенов в газовой фазе. Было показано также, что варьирование соотношений HBr/O2 и Cl2/O2 в сторону увеличения концентрации кислорода сопровождается снижением скорости травления кремния, которое не коррелирует с изменениями плотностей потоков атомов галогенов и энергии ионов. Модельный анализ кинетики травления позволил заключить, что эффективная вероятность гетерогенной реакции Si + Cl/Br зависит от плотности потока окислительных частиц – атомов кислорода и радикалов OH. Причинами такой зависимости могут являть : 1) окисление кремния, приводящее к увеличению пороговой энергии взаимодействия; и 2) окисление галогенидов кремния в менее летучие соединения вида SiBrxOy и SiClxOy, которое обуславливает снижение скорости ионно-стимулированной десорбции продуктов и доли свободных центров адсорбции для атомов Cl/Br.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Рыбкин , В.В.
Бетелин, В.Б.
Кwon, K.H.
Е 92
Ефремов , А. М.
О механизмах влияния кислорода на параметры газовой фазы и кинетику реактивно-ионного травления кремния в плазме НВr+Ch+O3 [Текст] / А. М. Ефремов // Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62. - №10. - С. 76-83
Рубрики: Электричество
Кл.слова (ненормированные):
ионизация -- диссоциация -- поток атомов галогенов -- поток атомов кислорода -- поток энергии ионов -- скорость травления -- эффективная вероятность взаимодействия
Аннотация: Проведено исследование влияния соотношений компонентов HBr/O2 и Cl2/O2 в плазмообразующей смеси HBr+Cl2+O2 на параметры плазмы, стационарные концентрации активных частиц и кинетику травления Si в условиях, характерных для процессов реактивно-ионного травления: давление плазмообразующего газа (p = 10 мтор), вкладываемая мощность (W = 500 Вт) и мощность смещения (Wdc = 200 Вт). Данные по внутренним параметрам плазмы и кинетике плазмохимических процессов были получены при совместном использовании диагностики плазмы зондами Лангмюра и 0-мерной (глобальной) модели плазмы. Было найдено, что варьирование соотношения HBr/O2 при постоянном содержании Cl2 в газовой смеси характеризуется более сильным влиянием на стационарный состав плазмы через реакции под действием электронного удара и процессы атомно-молекулярного взаимодействия, а также обеспечивает более широкое изменение суммарной концентрации атомов галогенов в газовой фазе. Было показано также, что варьирование соотношений HBr/O2 и Cl2/O2 в сторону увеличения концентрации кислорода сопровождается снижением скорости травления кремния, которое не коррелирует с изменениями плотностей потоков атомов галогенов и энергии ионов. Модельный анализ кинетики травления позволил заключить, что эффективная вероятность гетерогенной реакции Si + Cl/Br зависит от плотности потока окислительных частиц – атомов кислорода и радикалов OH. Причинами такой зависимости могут являть : 1) окисление кремния, приводящее к увеличению пороговой энергии взаимодействия; и 2) окисление галогенидов кремния в менее летучие соединения вида SiBrxOy и SiClxOy, которое обуславливает снижение скорости ионно-стимулированной десорбции продуктов и доли свободных центров адсорбции для атомов Cl/Br.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Рыбкин , В.В.
Бетелин, В.Б.
Кwon, K.H.
6.
Подробнее
24
Е 92
Ефремов, А. М.
Параметры и состав плазмы CF4 + O2 + Ar И CHF3 + O2 +Ar в процессах реактивно-ионного травления [Текст] / А. М. Ефремов // Известия высших учебных заведений серия Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62 (12). - С. 108-118
ББК 24
Рубрики: Химические науки
Кл.слова (ненормированные):
реактивно-ионное травление -- плазма -- ионизациядиссоциация -- полимеризация -- кинетика -- механизм
Аннотация: Проведен сравнительный анализ плазменных систем CF4+O2+Ar и CHF3+O2+Ar в условиях, характерных для процессов реактивно-ионного травления кремния и его соединений. Данные по внутренним параметрам плазмы, кинетике плазмохимических процессов и стационарному составу газовой фазы были получены при анализе описания диагностики плазмы зондами Лангмюра и 0-мерной (глобальной) модели плазмы. Как описано в литературе, условия эксперимента и моделирования соответствовали постоянным значениям общего давления плазмообразующего газа, вкладываемой мощности и мощности смещения. В результате выполнения работы: 1) установлены механизмы влияния кислорода на стационарные концентрации активных частиц через кинетику процессов при электронном ударе и реакции атомно-молекулярного взаимодействия; 2) выявлены особенности кинетики атомов фтора и фторуглеродных радикалов, формирующих химическую активность и полимеризационную нагрузку плазмы на контактирующие с ней поверхности и 3) проведен модельный анализ кинетики гетерогенных процессов (травление, полимеризация, деструкция полимерной пленки), определяющих режим травления и его выходные характеристики. Установлено, что замещение аргона на кислород в обеих смесях: 1) приводит к монотонному росту концентрации атомов фтора; 2) сопровождается снижением полимеризационной нагрузки газовой фазы на контактирующие с ней поверхности и 3) вызывает резкое (до двух порядков величины при ~ 20% О2) уменьшение толщины фторуглеродной полимерной пленки при сохранении более высоких значений для системы CHF3+O2+Ar.
Держатели документа:
ЗКГУ
Е 92
Ефремов, А. М.
Параметры и состав плазмы CF4 + O2 + Ar И CHF3 + O2 +Ar в процессах реактивно-ионного травления [Текст] / А. М. Ефремов // Известия высших учебных заведений серия Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62 (12). - С. 108-118
Рубрики: Химические науки
Кл.слова (ненормированные):
реактивно-ионное травление -- плазма -- ионизациядиссоциация -- полимеризация -- кинетика -- механизм
Аннотация: Проведен сравнительный анализ плазменных систем CF4+O2+Ar и CHF3+O2+Ar в условиях, характерных для процессов реактивно-ионного травления кремния и его соединений. Данные по внутренним параметрам плазмы, кинетике плазмохимических процессов и стационарному составу газовой фазы были получены при анализе описания диагностики плазмы зондами Лангмюра и 0-мерной (глобальной) модели плазмы. Как описано в литературе, условия эксперимента и моделирования соответствовали постоянным значениям общего давления плазмообразующего газа, вкладываемой мощности и мощности смещения. В результате выполнения работы: 1) установлены механизмы влияния кислорода на стационарные концентрации активных частиц через кинетику процессов при электронном ударе и реакции атомно-молекулярного взаимодействия; 2) выявлены особенности кинетики атомов фтора и фторуглеродных радикалов, формирующих химическую активность и полимеризационную нагрузку плазмы на контактирующие с ней поверхности и 3) проведен модельный анализ кинетики гетерогенных процессов (травление, полимеризация, деструкция полимерной пленки), определяющих режим травления и его выходные характеристики. Установлено, что замещение аргона на кислород в обеих смесях: 1) приводит к монотонному росту концентрации атомов фтора; 2) сопровождается снижением полимеризационной нагрузки газовой фазы на контактирующие с ней поверхности и 3) вызывает резкое (до двух порядков величины при ~ 20% О2) уменьшение толщины фторуглеродной полимерной пленки при сохранении более высоких значений для системы CHF3+O2+Ar.
Держатели документа:
ЗКГУ
7.
Подробнее
24
С 50
Смирнов, А. Н.
Спектроскопические и термохимические свойства соединенийиактиноидов из первых принципов: молекулы моноксидов тория и америция [Текст] / А. Н. Смирнов, В. Г. Соломоник // Известия высших учебных заведений. - Иваново, 2020. - №2. - С. 4-13. - (Серия химия и химическая технология)
ББК 24
Рубрики: Химия
Кл.слова (ненормированные):
соеденения актиноидов -- метод связанных кластеров -- спин-орбитальное взаимодействие -- спектроскопические постоянные -- термохимические свойства -- химия -- ионизация молекулы -- электронная плотность -- актиноиды
Аннотация: Разработан релятивистский вариант составного (композиционного) ab initio вычисления спектроскопических и термохимических свойств молекул, предназначенный для высокоточного описания характеристик соединений актиноидов.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Соломоник , В.Г.
С 50
Смирнов, А. Н.
Спектроскопические и термохимические свойства соединенийиактиноидов из первых принципов: молекулы моноксидов тория и америция [Текст] / А. Н. Смирнов, В. Г. Соломоник // Известия высших учебных заведений. - Иваново, 2020. - №2. - С. 4-13. - (Серия химия и химическая технология)
Рубрики: Химия
Кл.слова (ненормированные):
соеденения актиноидов -- метод связанных кластеров -- спин-орбитальное взаимодействие -- спектроскопические постоянные -- термохимические свойства -- химия -- ионизация молекулы -- электронная плотность -- актиноиды
Аннотация: Разработан релятивистский вариант составного (композиционного) ab initio вычисления спектроскопических и термохимических свойств молекул, предназначенный для высокоточного описания характеристик соединений актиноидов.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Соломоник , В.Г.
8.
Подробнее
24
Е 92
Ефремов, А. М.
Параметры плазмы и концентрации активных частиц в смесях фторуглеродных газов с аргоном и кислородом. [Текст] / А. М. Ефремов, В. Б. Бетелин, К. А. Медников, К. Н. Kwon // Известия высших учебных заведений . - 2021. - Т.64. Вып.7. - С. 46-53
ББК 24
Рубрики: Химия
Кл.слова (ненормированные):
фторуглеродные газы -- плазма -- параметры -- активные частицы -- ионизация -- диссоциация -- травление -- полимеризация
Аннотация: Проведено сравнительное исследование электрофизических параметров плазмы и стационарного состава газовой фазы в плазме индукционного ВЧ 13б56 МГц разряда в смесях CF4 + O2 + Ar, CHF3 + O2 + Ar и C4F8 + O2 + Ar. В качестве постоянных внешних параметров выступали доля фторуглеродного компонента (50%), общее давление газа (6 мтор), вкладываемая мощность (700 Вт) и мощность смещения (200 Вт). Схема исследования включала диагностику плазмы зондами Лангмюра и 0-мерное (глобальное) моделирование кинетики плазмохимических процессов. Найдено, что полимеризационная способность бескислородных (50% Ar) и кислородсодержащих (50% O2) смесей согласуется с отношением z/x в исходной молекуле CxHyFz. Замещение аргона на кислород приводит к однотипным изменениям параметров электронной и ионной компонент плазмы (температуры электронов, концентраций заряженных частиц и энергии ионной бомбардировки), всегда снижает концентрации полимеробразующих радикалов и толщину полимерной пленки, но оказывает различное влияние на кинетику атомов фтора. Увеличение доли кислорода в смесях 50% CF4 + O2 + Ar и 50% CHF3 + O2 + Ar приводит к монотонному росту концентрации атомов фтора. Механизмы этих явлений связаны с увеличением скорости генерации атомов и снижением частоты их гибели, соответственно. Добавление кислорода в системе 50% C4F8 + O2 + Ar снижает скорость генерации атомов фтора, но не приводит к заметным изменениям частот их гибели. Это соответствует монотонному снижению концентрации атомов фтора при увеличении содержания кислорода в смеси. В результате, стационарная концентрация атомов фтора в условиях 50% O2 увеличивается в ряду C4F8 - CHF3 - CF4.
Держатели документа:
ЗКУ
Доп.точки доступа:
Бетелин, В.Б.
Медников, К.А.
Kwon, К.Н.
Е 92
Ефремов, А. М.
Параметры плазмы и концентрации активных частиц в смесях фторуглеродных газов с аргоном и кислородом. [Текст] / А. М. Ефремов, В. Б. Бетелин, К. А. Медников, К. Н. Kwon // Известия высших учебных заведений . - 2021. - Т.64. Вып.7. - С. 46-53
Рубрики: Химия
Кл.слова (ненормированные):
фторуглеродные газы -- плазма -- параметры -- активные частицы -- ионизация -- диссоциация -- травление -- полимеризация
Аннотация: Проведено сравнительное исследование электрофизических параметров плазмы и стационарного состава газовой фазы в плазме индукционного ВЧ 13б56 МГц разряда в смесях CF4 + O2 + Ar, CHF3 + O2 + Ar и C4F8 + O2 + Ar. В качестве постоянных внешних параметров выступали доля фторуглеродного компонента (50%), общее давление газа (6 мтор), вкладываемая мощность (700 Вт) и мощность смещения (200 Вт). Схема исследования включала диагностику плазмы зондами Лангмюра и 0-мерное (глобальное) моделирование кинетики плазмохимических процессов. Найдено, что полимеризационная способность бескислородных (50% Ar) и кислородсодержащих (50% O2) смесей согласуется с отношением z/x в исходной молекуле CxHyFz. Замещение аргона на кислород приводит к однотипным изменениям параметров электронной и ионной компонент плазмы (температуры электронов, концентраций заряженных частиц и энергии ионной бомбардировки), всегда снижает концентрации полимеробразующих радикалов и толщину полимерной пленки, но оказывает различное влияние на кинетику атомов фтора. Увеличение доли кислорода в смесях 50% CF4 + O2 + Ar и 50% CHF3 + O2 + Ar приводит к монотонному росту концентрации атомов фтора. Механизмы этих явлений связаны с увеличением скорости генерации атомов и снижением частоты их гибели, соответственно. Добавление кислорода в системе 50% C4F8 + O2 + Ar снижает скорость генерации атомов фтора, но не приводит к заметным изменениям частот их гибели. Это соответствует монотонному снижению концентрации атомов фтора при увеличении содержания кислорода в смеси. В результате, стационарная концентрация атомов фтора в условиях 50% O2 увеличивается в ряду C4F8 - CHF3 - CF4.
Держатели документа:
ЗКУ
Доп.точки доступа:
Бетелин, В.Б.
Медников, К.А.
Kwon, К.Н.
Страница 1, Результатов: 8