QR-код документа
В 58
Влияние технологических параметров получения углеродных пленочных наноструктур [Текст] / И. А. Цыганов [и др.] // Вестник Казахского национального университета имени Аль-Фараби. - Алматы, 2018. - №1(64). - С. 25-31. - ( Серия физическая)
Рубрики: Радиоэлектроника
Кл.слова (ненормированные):
углеродные пленочные наноструктуры -- наноалмазы -- магнетронное распыление -- рамановская спектроскопия -- сканирующая электронная микроскопия -- технологические параметры -- полупроводниковые подложки -- смесь газов -- температурные закономерности -- наноматериалы
Аннотация: Рассмотрено влияние технологических параметров пленочных углеродных наноструктур, полученных на металлических и полупроводниковых подложках методом магнетронного ионноплазменного распыления. Приведены результаты по влиянию смеси газов Ar+H2 и Ar+CH4 на структуру пленок, которые были исследованы с использованием сканирующей электронной микроскопии и спектроскопии комбинационного рассеяния. По данным спектров КР, представленным в статье, описаны особенности структур, полученных образцов, которые сильно отличаются в зависимости от использованной смеси газов. Из результатов микрофотографий СЭМ оценено распределение и средние размеры обнаруженных наноразмерных углеродных фрагментов. Проанализированные данные отражают свойства углеродных пленочных наноструктур в зависимости от технологических параметров и условий подготовки мишеней. Выявлены температурные закономерности и зависимость используемой смеси рабочего газа.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Цыганов, И.А.
Гусейнов, Н.Р.
Кожантаева, А.С.
Узакбаева, Н.Н.
Шадиярбекова, А.Н.
Ерболаев, А.А.
Исаев, А.С.
Жумагулов, М.М.
Толеуханова, А.К.
Похожие издания по классификации