QR-код документа
В 58
Влияние изотермического отжига на оптические и электрические свойства тонких пленок SNO2, легированных фтором [Текст] / Е. А. Дмитриева [и др.] // Вестник Казахского национального университета имени Аль-Фараби. - Алматы, 2018. - №2(65). - С. 68-75. - (Серия физическая)
Рубрики: Физика
Кл.слова (ненормированные):
тонкие пленки SnO2 -- изотермический отжиг -- легирование фтором -- золь гель метод -- прозрачность -- поверхностное сопротивление -- адсорбционная чувствительность -- пары этанола -- этанол -- физика
Аннотация: В данной статье проведен сравнительный анализ влияния изотермического отжига (400°С) на оптические спектры пропускания, поверхностное сопротивление и адсорбционную чувствительность к парам этанола пленок оксида олова легированных ионами фтора и пленок, полученных без добавления фторирующего агента. Показано увеличение прозрачности пленок при отжиге в течение 3-х часов. Дальнейший отжиг приводит к существенному снижению прозрачности тонких пленок. Рассчитанная из спектров пропускания ширина запрещенной зоны изучаемых пленок соответствует значению ширины запрещенной зоны SnO2 при комнатной температуре (Eg = 3,6 эВ). Значение ширины запрещенной зоны пленок, полученных из золя с добавлением NH4F, с длительностью отжига менялась в пределах точности измерений. С увеличением длительности отжига пленок поверхностное сопротивление увеличивается. Пленки, полученные из золя с добавлением NH4F, обладают меньшим поверхностным сопротивлением, чем пленки, полученные из золя без добавок. Что подтверждает наличие в составе пленок ионов фтора в качестве дополнительных источников свободных носителей заряда. Показано, что увеличение длительности отжига при 400оС до трех часов приводит к увеличению поверхностного сопротивления и уменьшению чувствительности к парам этанола. Что, возможно, связано с уменьшением мелких дефектов и разрывам связей между отдельными частицами золя. Шестичасовой отжиг при 400оС приводит к еще большему увеличению поверхностного сопротивления и увеличению чувствительности к парам этанола. Возможно, это связано с появлением микротрещин и разрушением отдельных частиц золя.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Дмитриева, Е.А.
Мухамедшина, Д.М.
Мить, К.А.
Лебедев, И.А.
Грушевская, Е.А.
Похожие издания по классификации