База данных: Статьи
Страница 100, Результатов: 1154
Сортировка недоступна
Кол-во результатов более 1000
Отмеченные записи: 0
991.
Подробнее
24
Р 69
Романова, С. М.
Исследование реакций взаимодействия азотнокислых эфиров целлюлозы с хлорангидридами карбоновых кислот. [Текст] / С. М. Романова, Л. А. Фатыхова // Известия высших учебных заведений . - 2021. - Т.64. Вып.5. - С. 30-34
ББК 24
Рубрики: Химия
Кл.слова (ненормированные):
нитрат целлюлозы -- хлорангидрид -- электрофильное замещение -- химическая модификация
Аннотация: Установлены преимущественные направления протекания химического взаимодействия нитрата целлюлозы с хлорангидридами карбоновых кислот: О-ацилирование нитратных и гидроксильных групп; О-ацилирование глюкопиранозного кольца;
Держатели документа:
ЗКУ
Доп.точки доступа:
Фатыхова, Л.А.
Р 69
Романова, С. М.
Исследование реакций взаимодействия азотнокислых эфиров целлюлозы с хлорангидридами карбоновых кислот. [Текст] / С. М. Романова, Л. А. Фатыхова // Известия высших учебных заведений . - 2021. - Т.64. Вып.5. - С. 30-34
Рубрики: Химия
Кл.слова (ненормированные):
нитрат целлюлозы -- хлорангидрид -- электрофильное замещение -- химическая модификация
Аннотация: Установлены преимущественные направления протекания химического взаимодействия нитрата целлюлозы с хлорангидридами карбоновых кислот: О-ацилирование нитратных и гидроксильных групп; О-ацилирование глюкопиранозного кольца;
Держатели документа:
ЗКУ
Доп.точки доступа:
Фатыхова, Л.А.
992.
Подробнее
24
С 59
Соколов, И. Е.
Синтез сверхкритическом флюиде СО2 наноразмерных диоксида циркония, оксида кобальта и фаз на их основе . [Текст] / И. Е. Соколов, Р. М. Закалюкин, Е. В. Копылова, А. С. Кумсков [и др.] // Известия высших учебных заведений . - 2021. - Т.64. Вып.5. - С. 35-43
ББК 24
Рубрики: Химия
Кл.слова (ненормированные):
наночастицы -- метод сверхкритического антисольвентного осаждения -- оксид кобальта -- диоксид цирокния -- просвечивающая электронная микроскопия
Аннотация: Данное исследование посвящено получению методом SAS в сверхкритическом диоксиде углерода наноразмерных диоксида циркония, оксида кобальта и фаз на их основе.
Держатели документа:
ЗКУ
Доп.точки доступа:
Закалюкин, Р.М.
Копылова, Е.В.
Кумсков, А.С.
Можчиль, Р.Н.
Ионов, А.М.
Фомичев, В.В.
С 59
Соколов, И. Е.
Синтез сверхкритическом флюиде СО2 наноразмерных диоксида циркония, оксида кобальта и фаз на их основе . [Текст] / И. Е. Соколов, Р. М. Закалюкин, Е. В. Копылова, А. С. Кумсков [и др.] // Известия высших учебных заведений . - 2021. - Т.64. Вып.5. - С. 35-43
Рубрики: Химия
Кл.слова (ненормированные):
наночастицы -- метод сверхкритического антисольвентного осаждения -- оксид кобальта -- диоксид цирокния -- просвечивающая электронная микроскопия
Аннотация: Данное исследование посвящено получению методом SAS в сверхкритическом диоксиде углерода наноразмерных диоксида циркония, оксида кобальта и фаз на их основе.
Держатели документа:
ЗКУ
Доп.точки доступа:
Закалюкин, Р.М.
Копылова, Е.В.
Кумсков, А.С.
Можчиль, Р.Н.
Ионов, А.М.
Фомичев, В.В.
993.
Подробнее
24
П 17
Папкова, М. В.
Определение характеристик пироуглеродной матрицы в углерод -углеродных композиционных материалах. [Текст] / М. В. Папкова, И. В. Магнитский, С. В. Тащилов, А. Э. Дворецкий // Известия высших учебных заведений . - 2021. - Т.64. Вып.5. - С. 44-49
ББК 24
Рубрики: Химия
Кл.слова (ненормированные):
пироуглерод -- угол экстинкции -- структурные характеристики матрицы -- углерод-углеродный композиционный материал -- УУКМ -- ПУ
Аннотация: В данной работе были исследованы оптическим и рентгенофазовым методами три образца углерод-углеродных композиционных материалов, ранее полученных при различных параметрах термоградиентным методом. Так, исследуемые образцы отличались типом текстуры и структурными характеристиками пироуглеродной матрицы. Для образца 1 угол экстинкции составил 5°, для образца 2 и образца 3 – 19° и 41° соответственно.
Держатели документа:
ЗКУ
Доп.точки доступа:
Магнитский, И.В.
Тащилов, С.В.
Дворецкий, А.Э.
П 17
Папкова, М. В.
Определение характеристик пироуглеродной матрицы в углерод -углеродных композиционных материалах. [Текст] / М. В. Папкова, И. В. Магнитский, С. В. Тащилов, А. Э. Дворецкий // Известия высших учебных заведений . - 2021. - Т.64. Вып.5. - С. 44-49
Рубрики: Химия
Кл.слова (ненормированные):
пироуглерод -- угол экстинкции -- структурные характеристики матрицы -- углерод-углеродный композиционный материал -- УУКМ -- ПУ
Аннотация: В данной работе были исследованы оптическим и рентгенофазовым методами три образца углерод-углеродных композиционных материалов, ранее полученных при различных параметрах термоградиентным методом. Так, исследуемые образцы отличались типом текстуры и структурными характеристиками пироуглеродной матрицы. Для образца 1 угол экстинкции составил 5°, для образца 2 и образца 3 – 19° и 41° соответственно.
Держатели документа:
ЗКУ
Доп.точки доступа:
Магнитский, И.В.
Тащилов, С.В.
Дворецкий, А.Э.
994.
Подробнее
24
И 18
Иванова, Т. В.
Образование примесей в синтез -газе на стадии конверсии монооксида углерода в водород в производстве аммиака. [Текст] / Т. В. Иванова, А. А. Ильин, Р. Н. Румянцев, А. А. Курникова, А. П. Ильин // Известия высших учебных заведений . - 2021. - Т.64. Вып.5. - С. 50-56
ББК 24
Рубрики: Химия
Кл.слова (ненормированные):
конверсия монооксида углерода -- медьцинкалюминиевый катализатор -- активность -- селективность
Аннотация: В статье выполнен анализ работы отделения конверсии монооксида углерода водяным паром в водород в составе агрегата синтеза аммиака. Показано влияние температуры и продолжительности эксплуатации катализатора среднетемпературной конверсии на технических и технологических параметрах процесса.
Держатели документа:
ЗКУ
Доп.точки доступа:
Ильин, А.А.
Румянцев, Р.Н.
Курникова, А.А.
Ильин, А.П.
И 18
Иванова, Т. В.
Образование примесей в синтез -газе на стадии конверсии монооксида углерода в водород в производстве аммиака. [Текст] / Т. В. Иванова, А. А. Ильин, Р. Н. Румянцев, А. А. Курникова, А. П. Ильин // Известия высших учебных заведений . - 2021. - Т.64. Вып.5. - С. 50-56
Рубрики: Химия
Кл.слова (ненормированные):
конверсия монооксида углерода -- медьцинкалюминиевый катализатор -- активность -- селективность
Аннотация: В статье выполнен анализ работы отделения конверсии монооксида углерода водяным паром в водород в составе агрегата синтеза аммиака. Показано влияние температуры и продолжительности эксплуатации катализатора среднетемпературной конверсии на технических и технологических параметрах процесса.
Держатели документа:
ЗКУ
Доп.точки доступа:
Ильин, А.А.
Румянцев, Р.Н.
Курникова, А.А.
Ильин, А.П.
995.
Подробнее
24
Ч-93
Чурсин, В. И.
Синтез хромового дубителя в присутствии олиго- и полисахаридов. [Текст] / В. И. Чурсин, А. О. Зайцева // Известия высших учебных заведений . - 2021. - Т.64. Вып.5. - С. 63-70
ББК 24
Рубрики: Химия
Кл.слова (ненормированные):
яблочная кислота -- сложный эфир -- этиленгликоль -- 1,4-бутандиол -- биоразлагаемые полимеры -- полиэфиры
Аннотация: Получены четыре полиэфира на основе яблочной кислоты и ее дибутилового эфира. В качестве сомономеров использовали этиленгликоль и 1,4-бутандиол.
Держатели документа:
ЗКУ
Доп.точки доступа:
Зайцева, А.О.
Ч-93
Чурсин, В. И.
Синтез хромового дубителя в присутствии олиго- и полисахаридов. [Текст] / В. И. Чурсин, А. О. Зайцева // Известия высших учебных заведений . - 2021. - Т.64. Вып.5. - С. 63-70
Рубрики: Химия
Кл.слова (ненормированные):
яблочная кислота -- сложный эфир -- этиленгликоль -- 1,4-бутандиол -- биоразлагаемые полимеры -- полиэфиры
Аннотация: Получены четыре полиэфира на основе яблочной кислоты и ее дибутилового эфира. В качестве сомономеров использовали этиленгликоль и 1,4-бутандиол.
Держатели документа:
ЗКУ
Доп.точки доступа:
Зайцева, А.О.
996.
Подробнее
24
К 89
Кузьмина, Н. С.
Анализ структуры полиэфиров на основе яблочной кислоты и ее сложного эфира. [Текст] / Н. С. Кузьмина, С. В. Портнова, Е. Л. Красных // Известия высших учебных заведений . - 2021. - Т.64. Вып.5. - С. 71-79
ББК 24
Рубрики: Химия
Кл.слова (ненормированные):
яблочная кислота -- сложный эфир -- этиленгликоль -- 1,4-бутандиол -- биоразлагаемые полимеры -- полиэфиры
Аннотация: Получены четыре полиэфира на основе яблочной кислоты и ее дибутилового эфира. В качестве сомономеров использовали этиленгликоль и 1,4-бутандиол. Реакцию поликонденсации кислоты гликолями осуществляли без катализатора, а переэтерификацию сложного эфира гликоля – в присутствии тетрабутоксититана в количестве 1% масс. При поликонденсации яблочную кислоту расплавляли и растворяли в гликолях при температуре 100 °С для предотвращения реакции внутримолекулярной дегидратации. Реакции осуществляли в течение 3 ч при перемешивании и постепенном нагревании реакционной массы. Процессы проводили в токе азота для удаления образующихся низкомолекулярных продуктов, которые конденсировали в приемнике и анализировали методом газо-жидкостной хроматографии. Контроль реакции поликонденсации осуществляли по молекулярной массе, определяемой методом вискозиметрии. Структуру полученных полиэфиров определяли с помощью ИК и (1Н, 13С) ЯМР спектроскопии. Полученные образцы полимеров представляют собой смолообразную массу от светло-желтого до светло-коричневого цвета со средними молекулярными массами от 2000 до 4000 г/моль. Анализ ИК спектров показал, что в образцах, полученных переэтерификацией сложного эфира, интенсивность полосы гидроксильной группы больше, чем у полимеров на основе кислоты и диола. Это отличие может объясняться протеканием реакции самоконденсации яблочной кислоты, что косвенно подтверждает наличие разветвлений полимерной цепи. Анализ (1Н, 13С) ЯМР спектров подтверждает, что в процессе поликонденсации яблочной кислоты с диолами проходит побочная реакция самополиконденсации кислоты с образованием разветвленных полимерных звеньев, а в случае применения в качестве мономера сложного эфира получается полиэфир линейной структуры. Во всех полученных образцах полиэфиров также наблюдали наличие в структуре непредельных связей. Это подтверждает, что в условиях синтеза проходила побочная реакция внутренней дегидратации яблочной кислоты. Для снижения непредельности полиэфиров процесс поликонденсации необходимо проводить при более низкой температуре.
Держатели документа:
ЗКУ
Доп.точки доступа:
Портнова, С.В.
Красных, Е.Л.
К 89
Кузьмина, Н. С.
Анализ структуры полиэфиров на основе яблочной кислоты и ее сложного эфира. [Текст] / Н. С. Кузьмина, С. В. Портнова, Е. Л. Красных // Известия высших учебных заведений . - 2021. - Т.64. Вып.5. - С. 71-79
Рубрики: Химия
Кл.слова (ненормированные):
яблочная кислота -- сложный эфир -- этиленгликоль -- 1,4-бутандиол -- биоразлагаемые полимеры -- полиэфиры
Аннотация: Получены четыре полиэфира на основе яблочной кислоты и ее дибутилового эфира. В качестве сомономеров использовали этиленгликоль и 1,4-бутандиол. Реакцию поликонденсации кислоты гликолями осуществляли без катализатора, а переэтерификацию сложного эфира гликоля – в присутствии тетрабутоксититана в количестве 1% масс. При поликонденсации яблочную кислоту расплавляли и растворяли в гликолях при температуре 100 °С для предотвращения реакции внутримолекулярной дегидратации. Реакции осуществляли в течение 3 ч при перемешивании и постепенном нагревании реакционной массы. Процессы проводили в токе азота для удаления образующихся низкомолекулярных продуктов, которые конденсировали в приемнике и анализировали методом газо-жидкостной хроматографии. Контроль реакции поликонденсации осуществляли по молекулярной массе, определяемой методом вискозиметрии. Структуру полученных полиэфиров определяли с помощью ИК и (1Н, 13С) ЯМР спектроскопии. Полученные образцы полимеров представляют собой смолообразную массу от светло-желтого до светло-коричневого цвета со средними молекулярными массами от 2000 до 4000 г/моль. Анализ ИК спектров показал, что в образцах, полученных переэтерификацией сложного эфира, интенсивность полосы гидроксильной группы больше, чем у полимеров на основе кислоты и диола. Это отличие может объясняться протеканием реакции самоконденсации яблочной кислоты, что косвенно подтверждает наличие разветвлений полимерной цепи. Анализ (1Н, 13С) ЯМР спектров подтверждает, что в процессе поликонденсации яблочной кислоты с диолами проходит побочная реакция самополиконденсации кислоты с образованием разветвленных полимерных звеньев, а в случае применения в качестве мономера сложного эфира получается полиэфир линейной структуры. Во всех полученных образцах полиэфиров также наблюдали наличие в структуре непредельных связей. Это подтверждает, что в условиях синтеза проходила побочная реакция внутренней дегидратации яблочной кислоты. Для снижения непредельности полиэфиров процесс поликонденсации необходимо проводить при более низкой температуре.
Держатели документа:
ЗКУ
Доп.точки доступа:
Портнова, С.В.
Красных, Е.Л.
997.
Подробнее
24
М 92
Мухаметова, Г. М.
Многокритериальная оптимизация состава раствора комплексных соединений никеля с глицином и янтарной кислотой для химического осаждения сплава Ni-P. [Текст] / Г. М. Мухаметова, Е. Г. Винокуров, Т. Ф. Бурухина, В. В. Васильев, В. Д. Скопинцев // Известия высших учебных заведений . - 2021. - Т.64. Вып.5. - С. 88-97
ББК 24
Рубрики: Химия
Кл.слова (ненормированные):
химическое никелирование -- химическое осаждение -- планирование эксперимента -- сплав никель-фосфор -- оптимизация -- скорость осаждения -- микротвердость покрытий
Аннотация: Исследовано влияние аминоуксусной и янтарной кислот, рН в растворе химического никелирования на технологические параметры процесса осаждения покрытий сплавом никель-фосфор (скорость осаждения, удельное изменение рН в процессе осаждения), состав полученных покрытий и их свойства (микротвердость до и после термообработки).
Держатели документа:
ЗКУ
Доп.точки доступа:
Винокуров, Е.Г.
Бурухина, Т.Ф.
Васильев, В.В.
Скопинцев, В.Д.
М 92
Мухаметова, Г. М.
Многокритериальная оптимизация состава раствора комплексных соединений никеля с глицином и янтарной кислотой для химического осаждения сплава Ni-P. [Текст] / Г. М. Мухаметова, Е. Г. Винокуров, Т. Ф. Бурухина, В. В. Васильев, В. Д. Скопинцев // Известия высших учебных заведений . - 2021. - Т.64. Вып.5. - С. 88-97
Рубрики: Химия
Кл.слова (ненормированные):
химическое никелирование -- химическое осаждение -- планирование эксперимента -- сплав никель-фосфор -- оптимизация -- скорость осаждения -- микротвердость покрытий
Аннотация: Исследовано влияние аминоуксусной и янтарной кислот, рН в растворе химического никелирования на технологические параметры процесса осаждения покрытий сплавом никель-фосфор (скорость осаждения, удельное изменение рН в процессе осаждения), состав полученных покрытий и их свойства (микротвердость до и после термообработки).
Держатели документа:
ЗКУ
Доп.точки доступа:
Винокуров, Е.Г.
Бурухина, Т.Ф.
Васильев, В.В.
Скопинцев, В.Д.
998.
Подробнее
24
М 51
Меньшутина, Н. В.
Применение сверхкритической экстракции для выделения химических соединений. [Текст] / Н. В. Меньшутина, И. В. Казеев, А. И. Артемьев, О. А. Бочарова, И. И. Худеев // Известия высших учебных заведений . - 2021. - Т.64. Вып.6. - С. 4-19
ББК 24
Рубрики: Химия
Кл.слова (ненормированные):
сверхкритическая экстракция -- зеленые технологии -- экстракция -- сверхкритические флюиды -- сверхкритический диоксид углерода
Аннотация: В данной работе приведен обзор научной литературы по исследованию процесса сверхкритической экстракции. Использование веществ в сверхкритическом состоянии в качестве экстрагента является основой процесса сверхкритической экстракции. В среде сверхкритического флюида имеет место высокая интенсивность массопереноса, что позволяет сверхкритическому флюиду легко проникать в сырье и эффективно извлекать целевые компоненты.
Держатели документа:
ЗКУ
Доп.точки доступа:
Казеев, И.В.
Артемьев, А.И.
Бочарова, О.А.
Худеев, И.И.
М 51
Меньшутина, Н. В.
Применение сверхкритической экстракции для выделения химических соединений. [Текст] / Н. В. Меньшутина, И. В. Казеев, А. И. Артемьев, О. А. Бочарова, И. И. Худеев // Известия высших учебных заведений . - 2021. - Т.64. Вып.6. - С. 4-19
Рубрики: Химия
Кл.слова (ненормированные):
сверхкритическая экстракция -- зеленые технологии -- экстракция -- сверхкритические флюиды -- сверхкритический диоксид углерода
Аннотация: В данной работе приведен обзор научной литературы по исследованию процесса сверхкритической экстракции. Использование веществ в сверхкритическом состоянии в качестве экстрагента является основой процесса сверхкритической экстракции. В среде сверхкритического флюида имеет место высокая интенсивность массопереноса, что позволяет сверхкритическому флюиду легко проникать в сырье и эффективно извлекать целевые компоненты.
Держатели документа:
ЗКУ
Доп.точки доступа:
Казеев, И.В.
Артемьев, А.И.
Бочарова, О.А.
Худеев, И.И.
999.
Подробнее
24
А 79
Арзямова, Е. М.
5-(R) бензилиден-2,2-диметил-1,3-диоксан-4,6-дионы в синтезе ароматических оксимов , тиосемикарбазонов и гидразонов. [Текст] / Е. М. Арзямова, Д. Н. Ибрагимова, О. В. Федотова, Н. В. Пчелинцева // Известия высших учебных заведений . - 2021. - Т.64. Вып.6. - С. 20-24
ББК 24
Рубрики: Химия
Кл.слова (ненормированные):
бензилиден-2,2-диметил-1,3-диоксан-4,6-дион -- кислота Мельдрума -- оксим -- тиосемикарбазон -- гидразон
Аннотация: Исследовано поведение производных кислоты Мельдрума -5-(R)бензилиден-2,2-диме-тил-1,3-диоксан-4,6-дионов, широко известной синтетической платформы, с моно -и биаза-нуклеофилами (солянокислый гидроксиламин, тиосемикарбазид, гидразин-гидрат). Взаимодей-ствие реагентов проводили в уксусной кислоте в мольном соотношении 1:1 при температуре 75 °Св течение 6-8 ч, результатом чего явились ароматические оксимы, тиосемикарбазоны и гидра-зоны. Синтез (Е)-4-хлорбензальдоксима, (Е)-N-(4-нитробензилиден)гидроксиламмоний хлорида, (Е)-2-(4-хлор)-и (Е)-2-(4-нитробензилиден)гидразин-1-карботиоамидов,вероятно, сопровожда-ется возникновением β-аддукта Михаэля с последующим отщеплением кислоты Мельдрума. Взаимодействие нитробензилидендиоксандиона с гидразин-гидратом происходит с образовани-ем смеси (Е)-N-(4-нитробензилиден)ацетогидразида, (Е)-(4-нитробензилиден)гидразина и аце-тата последнего в соотношении 17:3:1, установленном по интегральной интенсивности сиг-налов в спектре 1Н ЯМР(для хлорбензилидендиоксандиона соотношение аналогичных продук-тов составило 6:2:1).
Держатели документа:
ЗКУ
Доп.точки доступа:
Ибрагимова, Д.Н.
Федотова, О.В.
Пчелинцева, Н.В.
А 79
Арзямова, Е. М.
5-(R) бензилиден-2,2-диметил-1,3-диоксан-4,6-дионы в синтезе ароматических оксимов , тиосемикарбазонов и гидразонов. [Текст] / Е. М. Арзямова, Д. Н. Ибрагимова, О. В. Федотова, Н. В. Пчелинцева // Известия высших учебных заведений . - 2021. - Т.64. Вып.6. - С. 20-24
Рубрики: Химия
Кл.слова (ненормированные):
бензилиден-2,2-диметил-1,3-диоксан-4,6-дион -- кислота Мельдрума -- оксим -- тиосемикарбазон -- гидразон
Аннотация: Исследовано поведение производных кислоты Мельдрума -5-(R)бензилиден-2,2-диме-тил-1,3-диоксан-4,6-дионов, широко известной синтетической платформы, с моно -и биаза-нуклеофилами (солянокислый гидроксиламин, тиосемикарбазид, гидразин-гидрат). Взаимодей-ствие реагентов проводили в уксусной кислоте в мольном соотношении 1:1 при температуре 75 °Св течение 6-8 ч, результатом чего явились ароматические оксимы, тиосемикарбазоны и гидра-зоны. Синтез (Е)-4-хлорбензальдоксима, (Е)-N-(4-нитробензилиден)гидроксиламмоний хлорида, (Е)-2-(4-хлор)-и (Е)-2-(4-нитробензилиден)гидразин-1-карботиоамидов,вероятно, сопровожда-ется возникновением β-аддукта Михаэля с последующим отщеплением кислоты Мельдрума. Взаимодействие нитробензилидендиоксандиона с гидразин-гидратом происходит с образовани-ем смеси (Е)-N-(4-нитробензилиден)ацетогидразида, (Е)-(4-нитробензилиден)гидразина и аце-тата последнего в соотношении 17:3:1, установленном по интегральной интенсивности сиг-налов в спектре 1Н ЯМР(для хлорбензилидендиоксандиона соотношение аналогичных продук-тов составило 6:2:1).
Держатели документа:
ЗКУ
Доп.точки доступа:
Ибрагимова, Д.Н.
Федотова, О.В.
Пчелинцева, Н.В.
1000.
Подробнее
24
Е 90
Ефремов, А. М.
Параметры газовой фазы и режимы реактивно -ионного травления Si И Sio2 в бинарных смесях Ar+CF4/C4F8. [Текст] / А. М. Ефремов, В. Б. Бетелин, К. А. Медников, К. Н. Kwon // Известия высших учебных заведений . - 2021. - Т.64. Вып.6. - С. 25-34
ББК 24
Рубрики: Химия
Кл.слова (ненормированные):
Si -- SiO2 -- травление -- полимеризация -- поток атомов фтора -- поток энергии ионов -- эффективная вероятность взаимодействия
Аннотация: Проведено сравнительное исследование электрофизических параметров плазмы, стационарного состава газовой фазы и закономерностей реактивно-ионного травления Si и SiO2 в плазме бинарных смесей CF4 + Ar и C4F8 + Ar в условиях индукционного ВЧ 13,56 МГц разряда. Фиксированными параметрами процесса являлись давление плазмообразующего газа (6 мтор) и уровни мощности, подводимой от источников возбуждения плазмы (700 Вт) и смещения (200 Вт).
Держатели документа:
ЗКУ
Доп.точки доступа:
Бетелин, В.Б.
Медников, К.А.
Kwon, К.Н.
Е 90
Ефремов, А. М.
Параметры газовой фазы и режимы реактивно -ионного травления Si И Sio2 в бинарных смесях Ar+CF4/C4F8. [Текст] / А. М. Ефремов, В. Б. Бетелин, К. А. Медников, К. Н. Kwon // Известия высших учебных заведений . - 2021. - Т.64. Вып.6. - С. 25-34
Рубрики: Химия
Кл.слова (ненормированные):
Si -- SiO2 -- травление -- полимеризация -- поток атомов фтора -- поток энергии ионов -- эффективная вероятность взаимодействия
Аннотация: Проведено сравнительное исследование электрофизических параметров плазмы, стационарного состава газовой фазы и закономерностей реактивно-ионного травления Si и SiO2 в плазме бинарных смесей CF4 + Ar и C4F8 + Ar в условиях индукционного ВЧ 13,56 МГц разряда. Фиксированными параметрами процесса являлись давление плазмообразующего газа (6 мтор) и уровни мощности, подводимой от источников возбуждения плазмы (700 Вт) и смещения (200 Вт).
Держатели документа:
ЗКУ
Доп.точки доступа:
Бетелин, В.Б.
Медников, К.А.
Kwon, К.Н.
Страница 100, Результатов: 1154