Электронный каталог

24.5
А 39
Акишев, Ю. С.
    Низкотемпературная плазма при атмосферном давлении и ее возможности для приложений / Ю. С. Акишев // Известия высших учебных заведений. - Иваново, 2019. - Т.62. №8. - С. 26-60. - (Серия химия и химическая технология)
ББК 24.5

Рубрики: Физическая химия. Химическая физика

Кл.слова (ненормированные):
низкотемпературная плазма -- неравновесная плазма -- плазменная обработка -- физическая химия -- химическая физика -- плазмохимия -- холодная плазма -- плазмообразующий газ -- сильная неравновестность -- электронные пучки -- биомедицина -- плазмохимические модели
Аннотация: Объектом данного обзора является низкотемпературная (или «холодная») слабоионизованная сильно неравновесная плазма, создаваемая при атмосферном давлении в газах разного состава и непосредственно в атмосферном воздухе. Холодная плазма является сравнительно новым, но весьма перспективным объектом. Сильная неравновесность слабоионизованной плазмы приводит к тому, что энергичные электроны, несмотря на их малое количество, весьма эффективно возбуждают и диссоциируют содержащиеся в окружающем газе нейтральные частицы, например, молекулы кислорода и воды. Указанное свойство холодной плазмы ценно с практической точки зрения, поскольку позволяет создавать в плазмообразующем газе достаточно интенсивное ультрафиолетовое излучение, а также высокую концентрацию физически и биохимически активных частиц (метастабильные атомы и молекулы, радикалы, озон и другие реакционные соединения) сравнительно малыми удельными энергозатратами. В настоящее время с помощью холодной плазмы при атмосферном давлении удается решать многие практические задачи, ранее казавшиеся неразрешимыми. Можно даже утверждать, что именно подходы, основанные на использовании холодной плазмы в плотных газах, определяют современный прогресс во многих областях науки, техники, биомедицине и, в частности, в области химической технологии. В статье дан обзор современных методов создания неравновесной холодной плазмы при атмосферном давлении. Рассмотрены физические и химические особенности холодной плазмы в плотных газах. Особое внимание уделено зарядовой и колебательной кинетике в неравновесной плазме, кинетике электронно-возбужденных и метастабильных состояний, которые в итоге определяют биохимическую активность низкотемпературной плазмы. Много места уделено конкретным примерам современного практического применения такой плазмы в экологии для разрушения низкоконцентрированных вредных органических и неорганических примесей в загрязненных потоках воздуха при атмосферном давлении.
Держатели документа:
ЗКГУ

24.5
C73

    Conformational behavior of hydrazone derived from pyridoxal 5’-phosphate and isoniazid [Текст] / A. Е. Pogonin [et al.] // Известия высших учебных заведений. - Иваново, 2018. - №12. - Р. 101-107. - (Серия химия и химическая технология)
ББК 24.5

Рубрики: Физическая химия. Химическая физика

Кл.слова (ненормированные):
пиридоксаль-5-фосфат -- изониазид -- гидразон -- конформер -- активационный барьер -- молекулы -- стабильный конформер -- депротонированный гидразон -- квантовая химия -- Количественный QTAIM анализ -- ионы металла -- гидразон PLP-INH3 -- молекулярный докинг -- G-белок
Аннотация: Гидразоны, производные пиридоксаля либо пиридоксаль-5-фосфата или гетероциклических гидразидов, представляют интерес, благодаря своей потенциальной биологической активности и возможности использования в качестве сенсоров на ионы металлов. Эти свойства гидразонов могут зависеть от конформационных равновесий молекулы, поскольку наиболее стабильный конформер может отличаться от формы с наибольшим сродством к биомолекуле либо иону металла. В настоящей работе депротонированный гидразон, производный пиридоксаль-5-фосфата и изониазида (PLP-INH3-), исследован методами квантовой химии. Для этого гидразона возможны 3 различных вращения, приводящих к 8 конформерам, однако 4 из них, полученные при вращении пиридинового кольца остатка изониазида, являются вырожденными. С использованием теории функционала плотности (B3LYP/6-311++G(d,p)) были оптимизированы геометрические характеристики различных невырожденных конформеров вращения данного гидразона (различающихся взаимной ориентацией карбонильной группы остатка изониазида и атома кислорода в положении 3 остатка PLP), а также оценены активационные барьеры переходов между ними. Обсуждаются изменения в энергии и строении конформеров, а также переходных состояний. Количественный QTAIM (Quantum Theory of Atoms in Molecules) анализ был проведен с целью проверки наличия внутримолекулярных водородных связей. Формы гидразона, способные образовывать комплекс с ионами металлов, отличаются от наиболее устойчивых (по величинам полной энергии) конформеров. Была проведена предварительная оценка биологической активности гидразона PLP-INH3-, а также молекулярный докинг для гидразона и киназы G-белок сопряженного рецептора. Определена предпочтительная конформация для связывания лиганда с активным сайтом киназы.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Pogonin, A.Е.
Gamov , G.A.
Zavalishin , M.N.
Sharnin , V.A.

24.5
О-11

    О синтезе полифениленсульфида и сополимеров на его основе реакцией неравновесной поликонденсации [Текст] / Ж.И. Курданова [и др.] // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62(3). - С. 4-14
ББК 24.5

Рубрики: Физическая химия. Химическая физика

Кл.слова (ненормированные):
полифениленсульфид -- высокотемпературная поликонденсация -- сополимер -- суперкострукционный полимер -- химия -- поликонденсация -- реакция
Аннотация: Полифениленсульфид –полукристаллический инженерный термопласт, на мировом рынке суперконструкционных материалов представлен в двух модификациях: первая–сшитый полимер, вторая–линейный полимер с высокоупорядоченной надмолекулярной структурой. Полифениленсульфиды, синтезированные по классической методике в N-ме-тил-2-пирролидоне, характеризуются низкими значениями молекулярно-массовых характеристик из-за протекания побочных реакций. Основной выход целевого продукта не превышает 45 % даже при увеличении времени синтеза до 120 ч. Полимеры с более высокими вязкостными характеристиками возможно получить путем термообработки синтезированного полифениленсульфида при 240-260 °С. Синтезированы сополимеры с новымимономерными фрагментами, такими как сульфоновые, кетоновые, амидные, имидные и т.д., которые приводят к получению аморфных полимеров. Полученные полимеры хорошо растворимы в апротонных растворителях при комнатной температуре и имеют более высокие выход и молекулярную массу. Введение циклических групп в макромолекулу полифе-ниленсульфида приводит к увеличению теплостойкости (до 500 °С) и растворимости. За последние 10-15 лет особое внимание было уделено синтезу макроциклических олигомеров, используемых в дальнейшем для получения высокомолекулярных сополимеров реакцией полимеризации с раскрытием цикла. Такая методика позволяет получать полимеры за короткое время и без образования побочных продуктов.В процессе изучения синтеза сополимеров были получены обширные знания о влиянии химического строения на эксплуатационные свойства материалов, а также разработаны новые методы, уменьшающие возможность протекания побочных реакций. В настоящее время большое внимание уделено синтезу новых полигетероариленов. В обзоре отражены результаты исследований за последние несколько лет по разработке на их основе материалов с уникальными ценными свойствами.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Курданова, Ж.И.
Шахмурзова, К.Т.
Байказиев, А.Э.
Мамхегов, Р.М.
Жанситов, А.А.
Хаширова, С.Ю.

24.5
О-93

    Оценка антиоксидантных свойств 5, 10, 15, 20-тетракис (4-гидрокси-фенил) порфина на основе электрохимических и биологических исследований [Текст] / С.С. Клетиков [и др.] // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62(3). - С. 57-63
ББК 24.5

Рубрики: Физическая химия. Химическая физика

Кл.слова (ненормированные):
электрохимия -- антиоксиданты -- порфирин -- живые объекты -- биохимические показатели крови -- малоновый диальдегид -- церулоплазмин
Аннотация: Антиоксидантная активность 5,10,15,20-тетракис(4-гидроксифенил)порфина установлена по тестовой реакции взаимодействия со свободным радикалом 1,1-дифенил-2-пикрилгидразилом (DPPH). Для изучения реакции взаимодействия порфиринас DPPH использовали метод циклической вольтамперометрии. По результатам проведенных исследований установлено, что H2T(4-OHPh)P обладает наибольшей антиоксидантной активностью из всех изученных нами соединений порфиринового ряда. Результаты электрохимического эксперимента послужили основанием для проверки антиоксидантных свойств порфирина на живых объектах —на курах породы «черная-московская». Куры были разделены на 5 групп: контрольной группе давали основной рацион, первой -основной рацион + 1% раствор аскорбиновой кислоты, второй -основной рацион + водный раствор Твин-80, третей -основной рацион + водный раствор Твин-80 с порфирином (10-3моль/л), четвертой -основной рацион + водный раствор Твин-80 с порфириом (10-4моль/л). В ходе проведения эксперимента курам вводили перорально исследуемые растворы однократно по 2 мл в течение 14 дней. При том не зафиксировано нарушений физиологического состояния кур, а также не установлено существенных изменений массы тела и гибели подопытных животных. Введение курам раствора Твин-80 не ухудшает показатели крови. Во всех четырех опытных группах наблюдается снижение концентрации малонового диальдегида (МДА) по сравнению с контрольной: наилучший результат –снижение МДА на 56% наблюдается в четвертой группе. В трех группах наблюдалось повышение церулоплазмина в сыворотке крови, наибольшее увеличение концентрации ЦП также происходит в четвертой группе кур. При введении курам аскорбиновой кислоты снижения ЦП относительно контрольной группы не наблюдается. Установлено, что5,10,15,20-тетракис(4-гидроксифенил) порфин с концентрацией 10-4моль/л сни-жает содержание малонового диальдегида и повышает содержание церулоплазмина в крови, что приводит к снижению активности окислительных процессов в живом организме, а также усиливает белок синтетическую функцию печени.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Клетиков, С.С.
Тесакова, М.В.
Кулагин, В.Р.
Парфенюк, В.И.

24.5
К 32

    Квантово-химическое моделирование взаимодействия тетрагидридоборат-иона с 5,7-динитро-8-гидроксихинолином и его анионом [Текст] / И. И. Устинов [и др.] // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62(1). - С. 11-19
ББК 24.5

Рубрики: Физическая химия. Химическая физика

Кл.слова (ненормированные):
метод DFT -- 5,7-динитро-8-гидроксихинолин -- таутомерия -- тетрагидридоборат-ион -- гидридный аддукт -- переходное состояние -- механизм гидридного переноса -- химия -- анион -- квантово-химическое моделирование
Аннотация: Проведено квантово-химическое моделирование методоми DFT/B3LYP/aug-cc-pVDZ и aug-cc-pVTZ реакции 5,7-динитро-8-гидроксихинолина и его аниона с тетрагидридоборат-ионом в газовой фазе и воде. Установлена геометрия субстратов, переходных состояний и продуктов реакции – гидридных σ-аддуктов. Показано, что в газовой фазе наименьшее значение полной энергии имеет структура исходного вещества, в которой атом водорода гидроксигруппы образует водородную связь с атомом кислорода соседней нитрогруппы, а в водной среде – биполярный ион, образующийся при присоединении протона к атому азота гетероцикла. Расчет зарядов на атомах позволил установить, что наиболее вероятными реакционными центрами для атаки нуклеофила в молекуле и анионе 5,7-динитро-8-гидроксихинолина являются атомы углерода в положении 6 и 8. Расчет полных энергий гидридных σ-аддуктов показывает, что наиболее устойчивыми в газовой фазе являются продукты присоединения гидрид-иона к атомам углерода C6 и C8, а в воде – в положение C6 молекулы 5,7-динитро-8-гидроксихинолина. Более высокая стабильность структуры, образующиеся при атаке нуклеофила в положение С6, объясняется сохранением планарности системы и стабилизацией за счет водородной связи с атомом кислорода нитрогруппы. Продукты присоединения гидрид-иона к аниону изучаемого субстрата имеют значительно более высокие значения полной энергии. Установлены структуры переходных состояний, образующихся по механизму гидридного переноса, при атаке тетрагидридоборат иона в положение C6 5,7-динитро-8-гидроксихинолина и его аниона в водной среде, что позволяет судить об аксиальной атаке тетрагидридоборат-иона. Установлено, что в случае нейтрального субстрата энергии активации имеют значительно более низкие значения, чем в случае аниона. Все реакции являются экзотермическими.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Устинов, И.И.
Блохин, И.В.
Атрощенко, Ю.М.
Шахкельдян, И.В.
Кобраков, К.И.

24.5
Ф 16

    Фазовые равновесия в системе (LiF)2 – Li2CO3 – Li2SO4 [Текст] / З. Н. Вердиева [и др.] // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62(1). - С. 20-25. - (статья на английском языке)
ББК 24.5

Рубрики: Физическая химия. Химическая физика

Кл.слова (ненормированные):
эвтектика -- диаграмма составов -- диаграмма состояния -- трехкомпонентная система -- ограняющие элементы -- теплота плавления -- теплоаккумулирующие материалы -- фазовые равновесия -- химия
Аннотация: Расчетным и дифференциальным термическим методом физико-химического анализа изучена поверхность ликвидуса системы (LiF)2 – Li2SO4 – Li2CO3. Анализ систем низшей мерности ограняющих исследуемого объекта показал, что наиболее информативными, для экспериментального исследования являются разрезы, расположенные в поле кристаллизации фторида лития. Изучением ДТА ряда составов расположенных на первоначально выбранном политермическом сечении в поле кристаллизации фторида лития, определены соотношения сульфата и карбоната лития в эвтектике. Состав тройной эвтектики выявлен изучением нонвариантного разреза проведенного из вершины треугольника (LiF), через точку, показывающей постоянное соотношение сульфата и карбоната лития в эвтектике, до слияния термоэффектов первичной и третичной кристаллизаций. Сложность исследования заключалась в том, что карбонат лития является самым легкоплавким компонентом в системе, а по данным литературы, после плавления карбоната лития начинается процесс разложения, что значительно затрудняет интерпретацию результатов исследований. Во избежание разложения карбоната лития, каждый экспериментально исследованный состав нагревался до температуры плавления карбоната лития и выдерживался в изотермическом режиме, при температуре ниже его плавления. Таким образом, проведенными теоретическими расчетами вывялена примерная температура плавления и область расположения нонвариантного состава, позволившие ограничить число экспериментально исследуемых образцов, и последующим экспериментальным исследованием ДТА двух политермических разрезов выявлен эвтектический состав кристаллизующийся при 476 °С и содержащий LiF – 20 экв.%, Li2SO4 – 51 экв.%, Li2CO3 – 29 экв.%. Расхождения теоретических расчетов и экспериментальных исследований составляют по температуре –8,3%, по составу – 5,05%.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Вердиева, З.Н.
Алхасов, А.Б.
Вердиев , Н.Н.
Рабаданов, Г.А.
Арбуханова, П.А.
Искендеров, Э.Г.

24.5
Э 45

    Элементарные акты фотореакций 2,6-дифенил-1,4-бензохинона в различных растворителях [Текст] / Д. Н. Гурулев [и др.] // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62(1). - С. 26-30
ББК 24.5

Рубрики: Физическая химия. Химическая физика

Кл.слова (ненормированные):
замещенные парабензохиноны -- фотореакции хинонов -- флеш-фотолиз -- химия -- элементарные акты -- растворители
Аннотация: С целью выяснения влияния полярности растворителей на реакционную способность и ход течения реакций семихинонных радикалов, их комплексов, проведено настоящее исследование 2,6-дифенил-1,4-бензохинона (класс замещенных бензохинонов) и его димера Д. Установлено, что в спектре ПМР раствора димера при увеличении температуры линии уширяются, и наблюдается одна широкая линия, близкая по химическому сдвигу к протонам мета-групп хинона. Спектр ПМР раствора Д в дейтерохлороформе при отрицательных температурах содержит линии, соответствующие ароматической части протонов в мета-положении соответственно (7,05 м.д, 6,89 м.д.). Т.е. процесс обмена между неэквивалентными частями диамагнитной молекулы димера предшествующей диссоциации проходит с константой скорости k-1, совпадающей по порядку величины обратной времени спин-спиновой релаксации. Величина k-1 с ростом полярности растворителя возрастает более чем на порядок. Этот эффект обусловлен более сильной сольватаций растворителя активированного комплекса в переходном состоянии по сравнению с молекулой D. Реакция димеризации семихинонных радикалов является диффузионно контролируемой, так как величины ∆Н1≠ во всех растворителях отличаются от энергии активации вязкости не более чем на 1 ккал/М, и величины константы скорости в 5 - 8 раз отличаются от диффузионной константы скорости, рассчитанной по Дебаю. Сольватация радикалов приводит к уменьшению коэффициентов диффузии радикалов и, возможно, к экранированию реакционного центра, что вызывает уменьшение k1. С уменьшением константы в указанном ряду растворителей возрастает стабильность радикала, что проявляется в симбатном увеличении константы равновесия К. Объяснена причина увеличения прямой константы k1 в растворителях с высокой диэлектрической проницаемостью.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Гурулев, Д.Н.
Палаткина, Л.В.
Кузнецова, Н.А.
Порхун, В.И.

24.5
Э 45

    Электронные параметры 1,1,1-трифторалканов [Текст] / А. В. Котомкин [и др.] // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62(1). - С. 31-37
ББК 24.5

Рубрики: Физическая химия. Химическая физика

Кл.слова (ненормированные):
индуктивный эффект -- электроотрицательность -- квантовая теория атомов в молекуле -- электронная плотность -- трифторалканы -- электронные параметры -- химия
Аннотация: На основании квантово-химических расчетов рассмотрены свойства групп гомологического ряда молекул третичных фторзамещенных углеводородов CnH2n+1-CF3 (n ≤ 9), полученные из распределения их электронной плотности. Проведена оптимизация геометрии десяти исследуемых структур, определены поверхности нулевого потока градиента электронной плотности и найдены бассейны атомных групп и атомов фтора. Для молекул трифторалканов получены и проанализированы групповые электронные интегральные характеристики: заряд q(R), энергия E(R) и объем V(R). Выявлена связь между длиной углеводородной цепи и переносимостью свойств выбранных групп СF3, СН3, СН2, что нашло отражение в их переносимых параметрах. Построена качественная шкала групповых электроотрицательностей изучаемого ряда и рассмотрен индуктивный эффект (I-эффект) фторсодержащего концевого фрагмента. Выявлено затухание I-эффекта в CnH2n+1-CF3 (n ≥ 6) на молекулярных фрагментах CF3-(CH2)4 и CH3-CH2, в связи с чем, начиная с n > 6, отмечено появление «стандартной» группы CH2. Описан выбор «стандартного» («переносимого») значения полной электронной энергии групп E(R) и вычисление относительной групповой энергии ΔE(R). Показано вызванное перетеканием электронной плотности уменьшение объемов двух групп СН2, расположенных рядом с СF3. Проведен сравнительный анализ зарядов всех выделенных в CnH2n+1-CF3 (n ≤ 9) групп с соответствующими q(R) в монофторзамещенных алканах, монофторалкильных радикалах, дифторзамещенных алканах, дифторалкильных радикалах. Данные по сравнению зарядовых характеристик идентичных групп и фторсодержащего фрагмента нонильных замещенных фтора и их радикалов изображены в виде графической зависимости, рассмотрение которой дает представление о затухании индуктивного эффекта от СF3.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Котомкин, А.В.
Русакова, Н.П.
Туровцев, В.В.
Орлов, Ю.Д.

24.5
И 93
Иттиев, А. Б.
    Получение новых полиэфирфталимидов на основе производных хлораля с использованием реакции нуклеофильного полинитрозамещения [Текст] / А. Б. Иттиев, Р. М. Кумыков // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62(1). - С. 78-84
ББК 24.5

Рубрики: Физическая химия. Химическая физика

Кл.слова (ненормированные):
динитрофталимид -- полиэфирфталимид -- полинитрозамещение -- термостойкость -- огнестойкость -- растворимость -- химия -- производные хлораля
Аннотация: Получены не описанные ранее новые бис(3-нитрофталимид)арилены, активированные двумя карбонилами, в сочетании с гибкими «мостиковыми» группами, в частности, дихлорэтиленовые и кетонные, между фталимидными фрагментами динитросоединений. Реакционная способность используемых динитрофталимидов определяется, в первую очередь, положением (3 или 4) нитрогрупп, а не природой остатка Аr; мономеры, содержащие нитрогруппы в положении 3, более реакционноспособны по сравнению с системами, содержащими нитрогруппы в положении 4. Осуществлено взаимодействие синтезированных бис(нитрофталимид)ариленов с бис-фенолятами - производными хлораля с применением процесса полинитрозамещения в условиях полного отсутствия влаги. В целом реакции полинитрозамещения быстро протекают в сравнительно мягких условиях; при использовании диполярных апротонных растворителей или их смеси с толуолом. Установлено, что важным фактором, влияющим на скорость реакции, является скорость растворения мономеров; это определяет возможность образования полимеров с удовлетворительными вязкостными характеристиками даже при некотором отклонении от эквимолярности мономеров. В качестве общих условий синтеза полиэфирфталимидов на основе синтезированных бис(3-нитрофталимид)ариленов и бис-фенолов оптимальными условиями были выбраны: температура реакции 60 °С, продолжительность реакции 1 ч при эквимолярном соотношении мономеров и концентрации каждого из них 0,25 моль/л. Изучено влияние влаги на процесс синтеза полиэфиримидов с использованием реакции нуклеофильного полинитрозамещения. Показано, что проведение процесса в максимально сухой системе в среде ДМСО или (ДМСО/толуол) приводит к образованию полимеров с hприв не меньше 0,63 дл/г. Все полученные полимеры хорошо растворяются в диполярных и апротонных растворителях. Анализ первичных термических характеристик полученных полимеров показал, что они характеризуются сравнительно высокими и близкими температурами деструкции. Установлено, что наибольший кислородный индекс (КИ) у полимеров, где в макромолекулах содержится больше дихлорэтиленовых фрагментов, а наименьший КИ у полимеров с большим содержанием кислорода. Показано, что полученные полимеры обладают удовлетворительными деформационно - прочностными характеристикамти. Особенностью синтезированных полиэфирфталимидов является значительная разница между температурами интенсивной деструкции и температурами размягчения, что определяет возможность их переработки в изделия методом литья под давлением.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Кумыков, Р.М.

24.5
Е 92
Ефремов, А.М.
    Параметры плазмы, концентрации активных частиц и кинетика травления в смеси C4F8+Ar [Текст] / А.М. Ефремов, Д.Б. Мурин, К.Х. Квон // Известия высших учебных заведений. Серия: Химия и химическая технология. - 2019. - Т.62(2). - С. 31-37
ББК 24.5

Рубрики: Физическая химия. Химическая физика

Кл.слова (ненормированные):
C4F8 -- скорость реакции -- энергия ионов -- концентрация -- поток -- травление -- полимеризация -- химия -- параметры плазмы -- активные частицы
Аннотация: В данной работе представлены результаты комбинированных (экспериментальных и модельных) исследований характеристик газовой фазы и кинетики травления Si и SiO2 в плазме смеси C4F8 + Ar. Эксперименты проводились при постоянном общем давлении смеси (p = 6 мтор), вкладываемой мощности (W = 900 Вт) и мощности смещения (Wdc = 200 Вт), при этом соотношение компонентов C4F8/Ar варьировалось в диапазоне 0–75% Ar. Данные по внутренним параметрам плазмы, кинетике плазмохимических процессов и стационарным концентрациям частиц в газовой фазе получали при совместном использовании диагностики плазмы зондами Лангмюра и 0-мерного моделирования плазмы. Механизмы травления идентифицировали через анализ корреляций между измеренными скоростями травления и расчетными значениями плотностей потоков активных частиц (атомов F, полимеробразующих радикалов CFx и положительных ионов). Было найдено, что в исследованном диапазоне условий процессы травления Si и SiO2 в плазме смеси C4F8 + Ar 1) протекают в стационарной области; 2) имеют характерные черты ионно-стимулированной химической реакции в режиме травления, лимитируемом потоком нейтральных частиц; 3) не свободны от влияния толщины фторуглеродной полимерной пленки. Было показано, что влияние условий проведения процесса травления на величину эффективной вероятности взаимодействия атомов фтора с Si и SiO2 адекватно характеризуется отношениями плотность потока полимеробразующих радикалов / плотность потока атомов фтора и плотность потока полимеробразующих радикалов / плотность потока энергии ионов.
Держатели документа:
ЗКГУ
Доп.точки доступа:
Мурин, Д.Б.
Квон, К.Х.